【課題】パルスレーザビームの照射条件を最適化することでクラックの発生を制御し、優れた割断特性を実現するレーザダイシング方法を提供する。
【解決手段】被加工基板をステージに載置し、クロック信号を発生し、クロック信号に同期したパルスレーザビームを出射し、被加工基板へのパルスレーザビームの照射と非照射を、クロック信号に同期して、パルスピッカーを用いてパルスレーザビームを制御することで、光パルス単位で切り替え、第１の直線上にパルスレーザビームの第１の照射を行い、第１の照射の後に、第１の直線に略平行に隣接する第２の直線上に前記パルスレーザビームの第２の照射を行い、第１の照射および第２の照射によって、被加工基板に被加工基板表面に達するクラックを形成するレーザダイシング方法。 （もっと読む）

【課題】パルスレーザビームの照射条件を最適化することで改質領域、クラックの発生を制御し、優れた割断特性を実現するレーザダイシング方法を提供する。
【解決手段】被加工基板をステージに載置し、クロック信号を発生し、クロック信号に同期したパルスレーザビームを出射し、被加工基板とパルスレーザビームとを相対的に移動させ、被加工基板へのパルスレーザビームの照射と非照射を、クロック信号に同期して、パルスピッカーを用いてパルスレーザビームの通過と遮断を制御することで、光パルス単位で切り替え、被加工基板に基板表面に達するクラックを形成するレーザダイシング方法であって、パルスレーザビームの照射エネルギー、パルスレーザビームの加工点深さ、および、パルスレーザビームの照射非照射の間隔を制御することにより、クラックが被加工基板表面において連続するよう形成することを特徴とするレーザダイシング方法。 （もっと読む）

【課題】適応性の高いリニアモータ用コイルを提供する。
【解決手段】リニアモータ１の複数のコイル１９は、１対の平行部１９ａ及び１対の連結部１９ｂが同一平面上に位置する平コイル１９Ａと、１対の連結部１９ｂが１対の平行部１９ａに対してコイル軸方向（ｚ方向）の一方側に位置する曲げコイル１９Ｂと、を含む。曲げコイル１９Ｂは、平行部１９ａを平コイル１９Ａのコイル開口１９ｈに位置させるとともに連結部１９ｂを平コイル１９Ａの連結部１９ｂとｚ方向において重複させている。平コイル１９Ａ及び曲げコイル１９Ｂそれぞれは、断面矩形の線材２５が、矩形の２辺がコイル軸方向に平行に且つ矩形の他の２辺がコイル径方向に平行になるように、コイル軸方向において一列に且つコイル径方向において多層に巻かれることによって構成されている。 （もっと読む）

【課題】異なる幅の溝を加工できるアングルヘッド切削工具および工作機械を提供すること。
【解決手段】スピンドル２に装着されるシャンク１０と、シャンク１０からその回転軸線ＡＳに沿って延びるシャンク軸１３と、シャンク軸１３を回転自在に支持するケース２０と、ケース２０をヘッド３に接続するジョイント３０と、ケース２０に回転自在に支持されかつシャンク軸１３と交叉方向に配置された回転軸線ＡＲを有するロータ軸４３と、シャンク軸１３の回転をロータ軸４３に伝達する伝達機構６０と、ロータ軸４３に接続されてロータ軸４３と一体に回転するロータ４０と、ロータ４０に設置されてロータ軸４３の回転軸線に平行なカッタ軸ＡＣを有する複数のカッタ５０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】計量されたペレットを被供給部に供給できるペレット供給装置を提供する。
【解決手段】ペレット供給装置はペレット計量部３１を備えている。ペレット計量部３１は、ホッパ４０を有するペレット収容部４１と、筒部４２と、筒部４２内を上下方向に移動可能な昇降ユニット４３と、アクチュエータ４４とを含んでいる。昇降ユニット４３は、蓋部材５０と、メッシュからなる底板部材５１と、蓋部材５０に対する底板部材５１の相対距離Ｌを調整可能な調整機構７０とを有している。蓋部材５０と底板部材５１との間に計量室５５が形成されている。蓋部材５０と底板部材５１とが上昇位置に移動すると、ペレット収容部４１内のペレットＰが計量室５５内に落下することにより、所定量のペレットＰが計量室５５に充填される。蓋部材５０と底板部材５１が下降位置に移動した状態において、エア導入室８０に導入されたエアにより、計量室５５内のペレットＰがペレット移送管３２を経て被供給部に移送される。 （もっと読む）

【課題】パルスレーザビームの照射条件を最適化することで、表面に金属膜が形成される被加工基板について、優れた割断特性を実現するレーザダイシング方法を提供する。
【解決手段】表面に金属膜を備える被加工基板のレーザダイシング方法であって、被加工基板をステージに載置し、金属膜に対してデフォーカスされたパルスレーザビームを照射し、金属膜を剥離する金属膜剥離ステップと、被加工基板の金属膜が剥離された領域にパルスレーザビームを照射し、被加工基板にクラックを形成するクラック形成ステップを有
することを特徴とするレーザダイシング方法。 （もっと読む）

【課題】電気制御におけるロードセンシング制御方式を採用し、アクチュエータがハンチングせず、更に、微操作が必要なアクチュエータにおいても良好な操作性が得られ、省エネルギ性も考慮した油圧制御装置を提供する。
【解決手段】ロードセンシング式油圧制御装置の油圧回路を備える建設機械の油圧制御装置であって、容量調整用の流量調整部と接続される可変容量ポンプの出力がアンロード弁を介して接続される切換弁と、前記切換弁に接続されるアクチュエータと、これ等の切換弁を作動させるパイロット圧力を用いる油圧パイロットバルブと、ロードセンシングを算出するロードセンシング処理部とを備え、可変容量ポンプの出力の圧力を検出する可変容量ポンプ出力センサと、アンロード弁の差圧を検出するロードセンシングセンサと、油圧パイロットバルブのパイロット圧を検出するパイロット圧力センサと前記流量調整部と連結される出力部とを備える。 （もっと読む）

【課題】シリンダ装置と他の駆動装置とによって好適に射出を行うことができる成形機の射出装置を提供する。
【解決手段】射出装置１は、キャビティ１０５に溶湯を押し出すプランジャ５と、プランジャ５と連結された射出シリンダ装置７と、変換シリンダ装置２９と、射出ヘッド側室２１ｈと変換ヘッド側室３３ｈとを連通するヘッド側連通路５１と、変換ピストン３５により変換ヘッド側室３３ｈの作動液を射出ヘッド側室２１ｈへ押し出す方向へ変換ロッド３７を駆動可能な駆動装置３１と、射出ヘッド側室２１ｈに作動液を供給可能なアキュムレータ１１と、射出ヘッド側室２１ｈから変換ヘッド側室３３ｈへの作動液の流れを禁止可能なヘッド側逆止弁５５とを有している。 （もっと読む）

【課題】油圧ショベル等の建設機械における上部旋回体を旋回させる旋回駆動装置及び建設機械に係り、特に油圧モータと電動機を有する油電ハイブリッド型の油電ハイブリッド駆動装置において、制動時に発電する際に発生する油圧モータによる機械的損失を低減することのできる油電ハイブリッド駆動装置及び建設機械を提供する。
【解決手段】電動モータと油圧モータがその両者の出力を連結して形成する油電ハイブリッド駆動装置において、油圧モータの出力にクラッチを備える。また、そのようなクラッチを備えた油電ハイブリッド駆動装置を建設機械に搭載する。 （もっと読む）

【課題】環境温度が低温になっても、スピンドルが回転不能に陥るのを防止できる空気静圧軸受スピンドル装置、これを用いた回転霧化装置および塗装装置を提供する。
【解決手段】軸部２２およびフランジ部２３を有するスピンドル２１、軸受本体３１、軸部２２との間にラジアル隙間４３を有するラジアル軸受部材４１Ａ，４２Ａ、および、フランジ部２３との間にスラスト隙間４５を有するスラスト軸受部材４１Ｂ，４２Ｂを備えた空気静圧軸受スピンドル装置２０において、環境温度が２０℃の状態においてスラスト隙間が４０μｍ以下に形成され、環境温度が０℃の状態においてスラスト隙間が１０μｍ以上確保されるように、軸受本体３１およびスラスト軸受部材４１Ｂ，４２Ｂに用いる材料の線膨張係数が選択されている。 （もっと読む）