【課題】 成膜時に欠陥が少なくかつ過分な水素を含まない薄膜形成を行うことができ、更に成膜時に発生する欠陥を成膜後に補償して界面および薄膜中の欠陥を減少させることができ、それによって長いキャリア寿命を実現する。
【解決手段】 結晶シリコン基板５０上にシリコン薄膜５２を形成した構造を有する太陽電池の製造方法である。この製造方法は、誘導結合によってプラズマを生成する誘導結合型のプラズマＣＶＤ法によって、結晶シリコン基板５０上に、シリコン薄膜５２として、微小なシリコン結晶を含む微結晶シリコン薄膜を形成する薄膜形成工程と、この微結晶シリコン薄膜を形成したものに、５×１０⁵ Ｐａ以上の圧力の水蒸気雰囲気中で熱処理を施す水蒸気熱処理工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】所望のパターンに沿ってカーボンナノウォールを配向させることが可能なカーボンナノウォール配列体を提供する。
【解決手段】カーボンナノウォール配列体１０は、基板１と、カーボンナノウォール２〜９とを備える。基板１は、シリコンからなる。そして、基板１は、凸部１１と凹部１２とを含む。凸部１１および凹部１２は、方向ＤＲ１に沿って基板１の一方の表面に形成される。凸部１１および凹部１２は、方向ＤＲ１に垂直な方向ＤＲ２において、交互に形成される。凸部１１は、方向ＤＲ２において、０．１〜０．５μｍの長さを有し、凹部１２は、方向ＤＲ２において、０．６〜１．５μｍの長さを有する。また、凸部１１の高さは、０．３〜０．６μｍである。カーボンナノウォール２〜９の各々は、基板１の凸部１１の長さ方向（＝方向ＤＲ１）に沿って凸部１１上に形成される。 （もっと読む）

【課題】 プラズマを用いた表面処理の生産性、効率性向上を図ることのできるイオン化率の計測方法及び装置を提供する。
【解決手段】 プラズマ６を用いて表面処理を行う真空チャンバ１内に、少なくとも一つのイオン化率計測用基材ホルダー８に複数個のイオン化率計測用基材４を配置し、該イオン化率計測用基材４に略プラズマ電位以下の電位を印加した場合とプラズマ電位より高い電位を印加した場合について、同一時間、成膜を実施し、その後それぞれのイオン化率計測用基材４の膜厚を測定して、その膜厚測定結果からイオン化率を算出する。 （もっと読む）

【課題】 誘導結合型の装置であって、アンテナの実効インダクタンスを小さくしてプラズマ電位を低く抑えることができ、しかも当該アンテナによってその長手方向におけるプラズマ密度分布を制御することができるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】 このプラズマ処理装置は、平面形状がまっすぐなアンテナ３０を、基板２の表面に立てた垂線３に沿う方向である上下方向Ｚに互いに接近して配置されていて、高周波電流Ｉ_R が互いに逆向きに流される往復導体３１、３２によって構成している。かつ、往復導体３１、３２間の上下方向Ｚの間隔Ｄを、アンテナ３０の長手方向Ｘにおいて変化させている。 （もっと読む）

【課題】装置の停止や追加を行っても、他の装置では引き続き充電電流を電気自動車に供給できる充電制御装置及び充電制御システムを提供する。
【解決手段】充電制御装置２−１は、電流上限値までの電流を供給する外部電源３から分配された充電電流を電気自動車に供給する。充電制御装置２−１は、充電電流を電気自動車に供給する充電部２４−１と、供給開始操作を受け付ける操作部２２−１と、供給開始操作を受け付けた状態か否かを示す充電情報を作成する情報作成部２１−１と、自装置の充電情報と他装置の充電情報を送受信する通信部２７−１と、各装置の充電情報を記憶する記憶部２６−１と、供給開始操作を受け付けると、各装置の充電情報を定期的に読み出して、充電部２４−１に充電電流を供給させる第１の処理と、充電部２４−１に充電電流の供給を待機させる第２の処理と、を選択的に実行する制御部２１−１と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】配電盤下部のチャンネルベースで囲まれた空間内の換気の際、チャンネルベースに加工した穴からの昆虫などの侵入を防ぎ、換気を行うことが出来る配電盤を提供する。
【解決手段】チャンネルベースの吸入口に簡単に着脱可能なフィルタユニットを取り付ける。フィルタユニット内部のフィルタは使用者にて容易に交換できるものとする。フィルタユニットだけでは効果が十分に得られない場合は、フィルタユニットの前面に強制換気ユニットを取付けることにより、換気を可能にする。 （もっと読む）

【課題】薄膜がアンテナに付着するのを抑制可能なプラズマ装置を提供する。
【解決手段】プラズマ装置は、アンテナ１を備える。アンテナ１は、絶縁管１ａと、導体１ｂと、伝熱材１ｃとを含む。絶縁管１ａは、略Ｕ字形状を有し、Ａｌ_２Ｏ_３からなる。導体１ｂは、略Ｕ字形状からなり、筒状部分１ｄを有する。筒状部分１ｄには、冷却水が流される。そして、導体１ｂは、絶縁管１ａ内に挿入される。伝熱材１ｃは、絶縁管１ａと導体１ｂとの間に充填される。そして、伝熱材１ｃは、シリコン樹脂からなる。 （もっと読む）

【課題】昼の電気料金と夜の電気料金との差額によるメリットを最大限に得ることを可能とする蓄電池の充放電方法を実現する。
【解決手段】電力系統２からの電力により蓄電池４を充電する充電工程と、充電工程の後、負荷３の受電電力が所定の第１閾値を超えた場合に、蓄電池４を放電させることにより、蓄電池４から負荷３に電力を供給する放電工程とを含み、第１閾値を、充電工程の開始時における蓄電池４の電池残量の目標値である残量目標値と、充電工程の開始時における蓄電池４の実際の電池残量の値である実残量値との差分に応じて決定する。 （もっと読む）

【課題】 次数間電流注入方式の単独運転検出装置において、瞬間的な系統擾乱発生時の不要動作を防止して、単独運転検出の精度をより高める。
【解決手段】 単独運転監視装置４０ａは、注入周波数の電圧Ｖ₂₁、Ｖ₂₂を抽出する離散フーリエ変換器５０、５２の前段に次のものを備えている。連系点電圧Ｖ_s から、配電系統の基本波成分および奇数次高調波成分を除去した電圧Ｓ₁ を出力する第１フィルタ４２。電圧Ｓ₁ から第２フィルタ４４によって注入周波数成分電圧を除去した電圧Ｓ₂ を判定値Ｊ₃ と比較して、前者が後者以上である検出状態が所定時間内に１回以上生じたとき、所定時間幅の検出信号Ｓ₇ を最初の検出状態時に１回のみ出力する系統擾乱判定器４６。検出信号Ｓ₇ に応答して、それが出力されていないときは電圧Ｓ₁ をそのまま出力し、信号Ｓ₇ が出力されたときは、電圧Ｓ₁ を出力する代わりに所定時間前の自分の出力電圧Ｓ₈ を所定時間ぶん出力する補正器４８。 （もっと読む）

【課題】 分散電源および負荷の接続方法に限定されることなく、汎用性に優れた分散電源の出力推定方法を提供する。
【解決手段】 分散電源をインバータにより系統電源と連系させ、分散電源からの電力あるいは系統電源からの電力を負荷に供給する分散電源システムであって、系統電源と分散電源との間に介在した系統変圧器の一次側あるいは二次側のいずれか一方に計測装置を設置し、その計測装置により母線電圧および系統変圧器の一次、二次電流あるいは配電線電流を計測し、その計測波形をフーリエ変換して高次の高調波を算出し、分散電源の定格出力に対する高次の高調波の含有率と、計測した高次の高調波の含有率とを比較することにより、分散電源の出力量を推定する。 （もっと読む）