説明

日産化学工業株式会社により出願された特許

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【課題】半導体装置製造のリソグラフィープロセスにおいてフォトレジストの下層で使用され、フォトレジストに比べて大きなドライエッチング速度を有し、フォトレジストとのインターミキシングを起こさず、アスペクト比が大きいホールを有する半導体基板の表面を平坦化できる下層膜、及び該下層膜を形成するための下層膜形成組成物を提供すること。
【解決手段】フォトレジストの下層に使用される下層膜を光照射によって形成するための組成物であって、重合性物質及び光重合開始剤を含み、該重合性物質がラジカル重合可能なエチレン性不飽和結合を少なくとも一つ有する重合性化合物であり、そして該光重合開始剤が光ラジカル重合開始剤である、下層膜形成組成物。 (もっと読む)


【課題】本願発明は、半導体ウェーハの研磨において、ウェーハ表面の50nm以下の大きさのLPDを効果的に低減可能な研磨液組成物の提供を課題とする。
【解決手段】 水、シリカ粒子、アルカリ化合物、水溶性高分子化合物及びポリエチレングリコールを含み、下記(a)〜(c)の条件を満たす半導体ウェーハ用研磨液組成物。
(a):前記シリカ粒子の形状係数SF1が1.00〜1.20であること
(b):前記シリカ粒子の窒素吸着法により求められる平均一次粒子径が5〜100nmであって、且つ透過型電子顕微鏡写真の画像解析から求められる粒子径変動係数CV値が0〜15%であること
(c):前記ポリエチレングリコールは、数平均分子量が200〜15000であること (もっと読む)


【課題】高脂血症の治療などの原薬として有用なピタバスタチンカルシウム塩を長期間安定的に保存する方法の提供。
【解決手段】式(1)


で表されるピタバスタチンカルシウム塩の保存方法であり、7〜15%の水分を含み、CuKα放射線を使用して測定するX線粉末解析において、特定の回折角(2θ)にピークを有し、かつ、30.16°の回折角(2θ)に、20.68°の回折角(2θ)のピーク強度を100%とした場合の相対強度が25%より大きなピークを有する結晶形態にて保存する方法。 (もっと読む)


【課題】造血幹細胞及び/又は造血前駆細胞の増幅剤を提供する。
【解決手段】下記式(VI)で表される化合物による造血幹細胞及び/又は造血前駆細胞の製造方法。
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【課題】高い透明性を有し、長期の耐久性に優れ400ナノメートル以上の厚膜の形成が可能で、さらに屈折率が1.6以上である新規な透明樹脂を光学材料および電子材料の分野に提供する。
【解決手段】下記式(1):


(Mはジルコニウム又はチタンである。Rは有機基。Rはアルコキシ基、アシルオキシ基、又はハロゲン基である。)で示される少なくとも1種の化合(A)と、下記式(2)(式中、Rは水素原子又はメチル基を側鎖に有し、ケイ素―水素結合基の活性水素基が40〜500グラム/当量の割合で含有する)で表されるシリコーン樹脂である(B)と、無機塩類である(C)と、水(D)とを、(A)100モルに対して(B)を活性水素のモル数に換算して10〜200モル、(C)を0.01〜5モル、(D)を80〜300モルの割合に混合し反応させることを特徴とする樹脂組成物の製造方法。
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【課題】熱インプリントリソグラフィー技術を用いて、ベンゾシクロブテン樹脂のパターンを形成する方法を提供する。
【解決手段】下記式(2):


で表されるジビニルシロキサン−ビスベンゾシクロブテンを重合して得られるベンゾシクロブテン樹脂を含む層を基板上に形成する工程、前記ベンゾシクロブテン樹脂を含む層に、加熱及び加圧しながらモールドを押しつけ、該ベンゾシクロブテン樹脂を含む層にパターンを形成する工程、及び冷却後に、前記パターンが形成されたベンゾシクロブテン樹脂を含む層を前記モールドから離型する工程を有し、前記加熱の温度が150℃乃至350℃である。 (もっと読む)


【課題】地球環境への負荷に配慮した光学活性エポキシ化合物の製造方法の提供。
【解決手段】触媒として下記式(1):


等で表される光学活性ルテニウム(ニトロシル)−サレン錯体を用いて、酸化剤として酸素分子を用いて、光照射下にて反応を実施して、高いエナンチオ選択性で光学活性エポキシ化合物を製造する。 (もっと読む)


【課題】 新規な水性懸濁状農薬組成物を提供する。
【解決手段】
(1)農薬活性成分、(2)カルボキシメチルセルロース塩、(3)モンモリロナイト鉱物系無機増粘剤、(4)界面活性剤、および(5)水を含有する水性懸濁状農薬組成物。
(但し、式(I)


〔式中、R1はハロゲン原子を表し、R2はC2−4アルキル基又はシクロプロピル基を表す。〕で示されるスルホニルウレア除草活性化合物、カルボキシメチルセルロース塩、リグニンスルホン酸塩、界面活性剤、及び水を含有する水性懸濁状除草剤組成物を除く。) (もっと読む)


【課題】高い水分散能力、温和な条件下での水/超臨界二酸化炭素マイクロエマルション形成能力、早い水可溶化速度を達成でき、且つ、環境・生態への負荷が少ないマイクロエマルション用界面活性剤を提供する。
【解決手段】水/超臨界二酸化炭素マイクロエマルションを安定化するための下記式(1)で表される化合物からなる界面活性剤、並びにマイクロエマルション。


(式中、Rfは炭素原子数1乃至7のパーフルオロアルキル基を表し、Mは水素原子、アルカリ金属、アンモニウム、塩基性アミノ酸残基又は炭素原子数2若しくは3のヒドロキシアルキル基を有するアルカノールアミン残基又は脂肪族アルカノールアンモニウムを表す。) (もっと読む)


【課題】光反応性基を有する、ポリアミック酸、ポリアミック酸エステル及び/又はポリイミドを含有する液晶配向剤を提供する。
【解決手段】ジアミン化合物とテトラカルボン酸誘導体とを反応させて得られるポリアミック酸、ポリアミック酸エステル、及び/又はポリイミドを含有する液晶配向剤であって、上記ジアミン化合物が、下記式[1]又は下記式[2]で表されるジアミン化合物のいずれかを含有する。
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