説明

JSR株式会社により出願された特許

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【課題】本発明は、レジスト膜のパターン形成工程における膜減りを抑制すると共に、得られるパターンのLWRを低減でき、露光余裕度(EL)、焦点深度(DOF)等を指標としたリソグラフィー特性に優れるレジストパターンを形成することができるパターン形成方法に用いられる現像液を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、レジストパターン形成方法に用いられ、有機溶媒含有量が80質量%以上の現像液であって、含窒素化合物を含み、上記含窒素化合物の含有量が0.1質量%以上10質量%以下であることを特徴とする現像液である。 (もっと読む)


【課題】任意の形状に成形可能なゲル状組成物及びその製造方法、および当該ゲル状組成物を用いたセルロース粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】イオン液体以外の塩、イオン液体、及びセルロースを含むことを特徴とするゲル状組成物。および、a)イオン液体以外の塩、イオン液体及びセルロースを混合してセルロース溶液を調製する工程、(b)前記イオン液体と相溶性の低い有機溶媒中に前記セルロース溶液を分散させてセルロース溶液の液滴分散液を調製する工程、(c)前記セルロース溶液の液滴分散液を冷却する工程、を含む粒状ゲル状組成物の製造方法。 (もっと読む)


【課題】結着性および粉落ち性に優れると共に、電気的特性に優れる蓄電デバイス用電極が作製可能な蓄電デバイス電極用スラリーを提供する。
【解決手段】本発明に係る蓄電デバイス電極用スラリーは、(A)重合体粒子と、(B)活物質粒子と、(C)水と、を含有し、前記(A)重合体粒子の平均粒子径(Da)と前記(B)活物質粒子の平均粒子径(Db)との比(Da/Db)が20〜100の範囲にあり、かつ曳糸性が30〜80%の範囲にあることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】透明性及び耐熱性に優れ、かつ高い屈折率と高度な平滑性を有する硬化膜を形成できる光硬化性組成物を提供する。
【解決手段】(A)一次粒径が3〜100nmである無機酸化物被覆酸化チタン粒子又は有機ケイ素化合物被覆酸化チタン粒子、(B)分子内に2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物、(C)光重合開始剤、(D)下記式(1)


(式中、R1及びR2は、同一又は異なって、炭素数1〜20のアルキル基を示し、R3は水素原子、メチル基又はエチル基を示し、m及びnは正の整数で、m+n=10〜1,000である)で表される化合物、(E)溶剤を含有する光硬化性組成物であって、該組成物中における(E)溶剤を除く成分全量を100質量%としたときに、成分(A)の含有量が30〜85質量%であるディスクコート用光硬化性組成物。 (もっと読む)


【課題】成形時の流動性に優れ、蓄熱物質のブリード性が低い蓄熱材用組成物及び蓄熱材、並びに前記組成物を用いて得られる蓄熱用装置を提供する。
【解決手段】水添共役ジエン共重合体と、脂肪酸、脂肪酸のエステル化合物、脂肪族エーテル類、脂肪族ケトン類、脂肪族アルコールからなる群より選ばれた少なくとも一種の蓄熱物質とを含有する、蓄熱材用組成物。 (もっと読む)


【課題】反射防止性および耐擦傷性に優れた硬化膜を一度の塗布工程で形成することができる硬化性組成物、あるいは該硬化膜を有する反射防止用積層体ならびにその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る反射防止用積層体は、セルロース樹脂基材と、セルロース樹脂を溶解する重合性成分(A1)を5質量%以上75質量%以下含む重合性化合物(A)、中空シリカ粒子(B)及び屈折率が1.50以下でありかつ透過型電子顕微鏡により測定した数平均粒子径が100nm以上である中実粒子(C)を含有してなる硬化性組成物の硬化膜と、を備え、前記セルロース樹脂基材と前記硬化膜とは接して積層され、前記(B)粒子および前記(C)粒子は前記硬化膜中において前記セルロース樹脂基材とは反対側に偏在していることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】核生成剤を添加しなくとも過冷却現象が小さく、例えば−60〜6℃の温度範囲で蓄熱・放熱が可能であり、かつ常温における流動性が小さい潜熱蓄熱型の蓄熱材用組成物及び蓄熱材を提供する。
【解決手段】エラストマーと、炭素数8〜14のパラフィン化合物とを含有する、蓄熱材用組成物。前記パラフィン化合物は、示差走査熱量測定法(DSC法)により測定される融点が−60〜6℃の範囲にある化合物であることが好ましく、前記エラストマーは、共役ジエンゴム(ただし、水添ブロック共重合体を除く)、エチレン・α−オレフィン共重合体ゴム及び水添ブロック共重合体から選ばれる少なくとも1種であることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】耐黄変性に優れ、かつ良好な特性を示す硬化膜を作製可能な光硬化性組成物、該光硬化性組成物を硬化させてなる硬化膜あるいはその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る光硬化性組成物は、(A)重合性化合物と、(B)380〜500nmの波長領域に極大吸収波長を有する光重合開始剤と、(C)380〜500nmの波長領域の光線に対するモル吸光係数が0.05(L/mol・cm)以下であり、かつ380nm以下の波長領域に極大吸収波長を有する光重合開始剤と、(D)紫外線吸収剤と、を含有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】有機溶媒に対する可溶性を有し、優れた耐熱性および光透過性と共に高い機械的強度を有するポリイミドフィルムを得ることのできる可溶性ポリイミドおよびその製造方法、並びに、ワニスおよびポリイミドフィルムを提供する。
【解決手段】可溶性ポリイミドは、(1)2つのイミドー芳香環縮合環をエーテル結合、アルキレン基、フルオレニレン基、スルホニル基、ケトン結合よりなる群から選ばれる1種の結合で結んだ構造単位1〜80mol%と、(2)2つのイミドー芳香環縮合環を炭素ー炭素結合で結んだ構造単位20〜99mol%から構成される。 (もっと読む)


【課題】アダマンタン化合物に由来の基が導入されてなる新規なカリックスレゾルシンアレーントリマー誘導体およびその製造方法並びに当該カリックスレゾルシンアレーントリマー誘導体を用いたレジスト材料を提供する。
【解決手段】カリックスレゾルシンアレーントリマー化合物に下記化学式(a)で表わされる基を導入する。
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