説明

JSR株式会社により出願された特許

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【課題】低誘電体材料等の基板に与える影響を抑えつつ、エッチング工程を経た後のレジスト下層膜を容易に除去できるパターン形成方法の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は(a)カリックスアレーン系化合物を含むレジスト下層膜形成用組成物を用い被加工基板の上面側にレジスト下層膜を形成する工程と、(b)レジスト下層膜の上面側にレジストパターンを形成する工程と、(c)レジストパターンをマスクとした少なくともレジスト下層膜及び被加工基板のエッチングにより被加工基板にパターンを形成する工程と、(d)被加工基板上のレジスト下層膜を塩基性溶液で除去する工程とをこの順に有し、(d)工程の前にレジスト下層膜を加熱又は酸処理する工程をさらに有し、カリックスアレーン系化合物の芳香環又はヘテロ芳香環の少なくとも一部に下記式(i)で表される基が結合しているパターン形成方法である。
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【課題】めっき膜を形成するめっき方法を提供する。
【解決手段】基板上にレジストパターンを形成する工程、レジストパターン形成面に、下記一般式(1)で表わされる構造単位及び下記一般式(2)で表わされる構造単位を有する重合体を含有する表面改質層を形成する工程、レジストパターンの開口部にめっき膜を形成する工程を有するするめっき方法。


〔式中、R1は水素原子又はメチル基、R2は単結合又は2価の連結基、R3は水素原子、水酸基又はアルコキシ基、R4は水素原子又はメチル基、R5は極性基を示す。〕 (もっと読む)


【課題】撥水性、溶出量、Blob欠陥、ブリッジ欠陥、溶液安定性、溶解性及びパターン形状についての要求特性を維持しつつ、基板からの剥がれ耐性を高め、これらの要求特性をバランス良く満たすことができる液浸上層膜を形成可能な液浸上層膜形成用組成物の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、[A]下記式(1)で表される分子量100以上1,000以下の化合物、[B]フッ素原子を含む構造単位(I)を有する重合体(a)を含む重合体成分、及び[C]溶媒を含有する液浸上層膜形成用組成物である。
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【課題】本発明の目的は、形成されるレジストパターンの耐パターン倒れ性やドライエッチング時におけるレジストパターンに対する高いエッチング選択性を維持しつつ、高い屈折率及び吸光係数を有するレジスト下層膜を形成可能なレジスト下層膜形成用組成物、パターン形成方法並びに重合体を提供することである。
【解決手段】本発明は、[A]電子求引性基が結合する芳香族構造を有する構造単位(I)と、ラクトン構造を有する構造単位、環状カーボネート構造を有する構造単位及び環状イミド構造を有する構造単位からなる群より選択される少なくとも1種の構造単位(II)とを含む重合体を含有するレジスト下層膜形成用組成物である。 (もっと読む)


【課題】現像欠陥が少なくかつ良好なパターン形状を有するレジストパターンを形成できるフォトレジスト組成物の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、[A]酸解離性基を含む構造単位(I)を有するベース重合体、[B]塩基解離性基を含む構造単位(II)を有し、[A]重合体よりもフッ素原子含有率が高い重合体、及び[C]酸発生体を含有し、上記[A]重合体のポリスチレン換算重量平均分子量が、10,000以上40,000以下であるフォトレジスト組成物である。上記塩基解離性基は、フッ素原子を有することが好ましい。上記塩基解離性基は、芳香族炭化水素基であることがさらに好ましい。構造単位(II)が、下記式(2)で表されることが好ましい。
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【課題】低温硬化による高信頼のカラーフィルタを提供し、液晶表示素子を提供する。
【解決手段】染料等を含む着色パターン6と、エポキシ基を有する化合物を含む感放射線性樹脂組成物から形成される保護膜8と、アルカリ可溶性樹脂を含有する感放射線性樹脂組成物から形成されるスペーサ9と、下式(CA)のテトラカルボン酸二無水物成分を用いて得られるポリアミック酸もしくはポリイミドを含む液晶配向剤から形成される配向膜12とを用いてカラーフィルタ10を製造し、それを用いて液晶表示素子1を構成する。
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【課題】本発明は、パターン形成工程におけるレジスト膜の膜減りを抑制すると共に、解像性及びLWRにも優れるフォトレジスト組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、有機溶媒を含有する現像液を用いるネガ型パターン形成用のフォトレジスト組成物であって、[A]酸の作用により水酸基となる基を含む構造単位(I)を有する重合体、及び[B]酸発生体を含有することを特徴とするフォトレジスト組成物である。また、[A]重合体が、酸の作用により、アルカリ水溶液に対する溶解度は増大し、有機溶媒を含有する現像液に対する溶解度は減少する重合体であることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】顔料として炭酸カルシウムを多く含む紙塗工用組成物において保水性および強度に優れる組成物を得る。
【解決手段】(A)脂肪族共役ジエン単量体由来の構造単位を20〜80質量%、(B)不飽和カルボン酸単量体由来の構造単位を4〜10質量%、及び(C)その他共重合可能な単量体由来の構造単位を5〜76質量%(但し、(A)、(B)、(C)の合計100質量%)有する共重合体を含有し、透過型電子顕微鏡で測定した数平均粒子径が30〜80nm、固形分48質量%における粘度が50〜400mPa・sである、共重合体ラテックスならびに炭酸カルシウムを60質量%以上含有する顔料を含有することを特徴とする紙塗工用組成物。 (もっと読む)


【課題】色度特性に優れ、分散性及び保存安定性の良好なカラーフィルタ用着色組成物を提供する。
【解決手段】(A)キノフタロン系顔料を含む着色剤、(B)下記式(1)で表される繰り返し単位(1)と、下記式(2)で表される繰り返し単位(2)を含み、アミン価が80〜250mgKOH/gである共重合体、及び(C)架橋剤を含有することを特徴とするカラーフィルタ用着色組成物。


〔R1、R4は水素原子又はメチル基、R5は脂肪族炭化水素基又は脂環式炭化水素基、Zは−NR23(但し、R2及びR3は、相互に独立に、水素原子又は置換若しくは非置換の炭化水素基を示す。)、又は置換若しくは非置換の含窒素複素環基を示し、X1は2価の連結基を示す。 (もっと読む)


【課題】低温硬化による高信頼のカラーフィルタを提供し、液晶表示素子を提供する。
【解決手段】染料等を含む着色パターン6と、エポキシ基を有する化合物を含む第1の感放射線性樹脂組成物から形成される保護膜8と、アルカリ可溶性樹脂を含有する第2の感放射線性樹脂組成物から形成されるスペーサ9と、下式(DA1)のジアミンを用いて得られるポリアミック酸もしくはポリイミドを含む液晶配向剤から形成される配向膜12とを用いてカラーフィルタ10を製造し、それを用いて液晶表示素子1を構成する。
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