説明

日本電子株式会社により出願された特許

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【課題】試料が傾斜した状態で、共焦点暗視野STEM像、3次元断層像を得られる試料ホルダおよび走査型透過電子顕微鏡を提供することを提供することを課題とする。
【解決手段】試料が載置される試料載置部21をチューブピエゾ素子39によりXYZ軸方向に駆動するXYZ駆動機構を有した試料ホルダ5に、試料載置部21の試料をY軸を中心として傾斜させる傾斜機構41、51、53と、傾斜機構41、51,53を駆動するモータと、XYZ駆動機構の動きが傾斜機構41、51、53を介してモータへ伝達するのを遮断するクラッチ51c、61aとを設ける。 (もっと読む)


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