【課題】第１MSに所望する質量分解能を与える飛行距離よりも短い飛行距離のTOFMSを用いて、所望する質量分解能を与えることが可能なタンデムTOFMSを提供する。
【解決手段】第１TOFMSでマススペクトルを測定する場合には反射場として働き、第１TOFMSでプリカーサイオンを選択する場合には、イオンを反射することなくイオンを通過させる反射場を、第１TOFMSの出口部に置いた。 （もっと読む）

【課題】 試料を大気中に取り出すことなく試料の断面加工と断面観察が行える荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】 イオン加工時、試料ホルダ２２の第２の被取付部３４がホルダ取付部１６に取付けられる。そして、遮蔽材４０のエッジ部４２から突出した試料部分４１がイオンビームによってエッチングされる。その後、試料ステージが電子光学系の光軸上に配置されて、イオンエッチングで現れた試料断面５０がＳＥＭ観察される。一方、試料表面４５をＳＥＭ観察する場合には、試料ホルダの第１の被取付部３１がホルダ取付部１６に取付けられる。 （もっと読む）

【課題】 フィラメント端子間の短絡を防ぐ。
【解決手段】フィラメント１、カソード２、グリッド３、アノード４を備え、フィラメント１から発生された電子の衝撃に基づいてカソード２から発生した熱電子をグリッド３の電子通過孔３Ｈを介してアノード４方向に加速する様に成し、フィラメント端子部を碍子８０で支持する様に成し、碍子のアノード側表面に、フィラメント端子部を取り囲む円筒状の壁１１を形成し、筒状壁内の空間部Ｓを、壁内の碍子表面とで挟む有底円筒状のカバー１２を壁１１に取り付け、カバー１２の底部にフィラメント端子部が通る孔Ｈ１，Ｈ２を穿つと共に、空間部Ｓにガスを導入する管１３を碍子８０に設けた。 （もっと読む）

【課題】本発明はＸ線顕微鏡及びＸ線を用いた顕微方法に関し、Ｘ線画像の分解能を向上させることができるＸ線顕微鏡及びＸ線を用いた顕微方法を提供することを目的としている。
【解決手段】電子ビームＥＢを集束して照射する電子ビーム照射手段と、該電子ビーム照射手段からの集束電子ビームの照射に応じてＸ線発生源となる薄膜１１と、該薄膜１１の第１の面に照射された集束電子ビームによって該薄膜１１から発生するＸ線１３を検出するＸ線検出手段８とを有し、前記薄膜１１の第２の面に接して配置された試料７を透過したＸ線１３を前記Ｘ線検出手段８により検出するように構成する。 （もっと読む）

【課題】簡単な方法で試料のイオン化量を制御することのできる電界脱離イオン源を備えた質量分析装置を提供する。
【解決手段】（１）タングステン芯線の表面に炭素ウィスカーを生成させ、該炭素ウィスカーに試料を付着させたエミッタ、（２）前記エミッタの対向電極として、前記炭素ウィスカーの先端に高電界を発生させるための高電圧が印加可能なカソード電極、（３）前記炭素ウィスカーの先端に高電界を発生させ、その結果生成した試料イオンを収束させ、後段の質量分析部に該試料イオンを輸送するレンズ電極、を備え、前記カソード電極に印加される高電圧は、後段の質量分析部で検出されるイオンの信号強度に基づいて、イオンの信号強度が予め指定された値を超えたときには電圧を下げる方向に変更され、イオンの信号強度が予め指定された値を下回ったときには電圧を上げる方向に変更される。 （もっと読む）

【課題】本発明は試料ホルダ及びマルチビームシステムに関し、プリティルトホルダを用いて薄膜加工とＳＴＥＭ観察を試料の乗せ替え無しに行なうことができる試料ホルダを提供することを目的としている。
【解決手段】透過電子検出器２５を電子光学系の電子ビームが試料２３を透過する延長線上に備え、加工状況を２次電子像と走査透過電子像を少なくとも２種類以上同時或いは交互に観察可能になるように試料配置する試料ホルダを有するマルチビームシステムに用いる試料ホルダであって、所定の厚みまで加工した試料を固定するメッシュ２３ｂと、該メッシュに加工した試料をセットするチップオンカートリッジ３０と、該チップオンカートリッジが取り付けられる試料ホルダ部４０とから構成される。 （もっと読む）

【課題】イオンの垂直方向の収束性を向上させ、感度向上のため直交加速イオン源との接続を可能にすることができる飛行時間型質量分析装置を提供する。
【解決手段】複数のイオンをパルス的に出射できるイオン源１０と、らせん型軌道を実現する分析計と、イオンを検出する検出器１５とを備えた飛行時間型質量分析装置であって、らせん軌道を実現するために分析計を複数の積層トロイダル電場で構成させる。 （もっと読む）

【課題】イオンの垂直方向の収束性を向上させ、感度向上のため直交加速イオン源との接続を可能にすることができる飛行時間型質量分析装置を提供する。
【解決手段】複数のイオンをパルス的に出射できるイオン源１０と、直進軌道とらせん型軌道を実現する分析計と、イオンを検出する検出器１５とを備えた飛行時間型質量分析装置であって、らせん軌道を実現するために分析計を複数の積層トロイダル電場で構成させる。 （もっと読む）

【課題】目的とする蛍光を選択的に視野観察することが可能な蛍光顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】磁気共鳴により蛍光強度が変動する蛍光体１を含む試料１６に励起光を照射し、蛍光体１の蛍光を観察する光学顕微鏡３と、電子スピン磁気共鳴を発生させる高周波磁場を試料１６に照射する高周波磁場発生部５と、高周波磁場を変調する変調信号を生成する変調部７と、高周波磁場を変調しながら光学顕微鏡３で観察した試料表面の光強度を複数の画素のそれぞれでサンプリング時間毎に検出する検出器９と、複数の画素の中から光強度の時系列変動が変調信号と互に相関している対象画素を抽出する処理ユニット１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】試料が傾斜した状態で、共焦点暗視野STEM像、3次元断層像を得られる試料ホルダおよび走査型透過電子顕微鏡を提供することを提供することを課題とする。
【解決手段】試料が載置される試料載置部２１をチューブピエゾ素子３９によりXYZ軸方向に駆動するXYZ駆動機構を有した試料ホルダ５に、試料載置部２１の試料をY軸を中心として傾斜させる傾斜機構４１、５１、５３と、傾斜機構４１、５１，５３を駆動するモータと、XYZ駆動機構の動きが傾斜機構４１、５１、５３を介してモータへ伝達するのを遮断するクラッチ５１ｃ、６１ａとを設ける。 （もっと読む）