【課題】エネルギー選択範囲の変動を防止し、ＳＴＥＭ像に視野カットが発生することを防止する。
【解決手段】試料上で細く絞った電子プローブを二次元的に走査すると共に、透過散乱した電子を電子光学系を介してエネルギーフィルタに導入・検出し、電子顕微鏡像を取得する走査透過電子顕微鏡において、前記エネルギーフィルタはエネルギー分散面上に配置される一対の対向するエッジからなるエネルギー選択スリットを備えると共に、観察条件の変更にかかわらず電子プローブの試料上での水平走査に伴う前記スペクトルの前記エネルギー選択スリット上での移動方向が前記エッジに平行になる又は直交するように前記電子光学系を制御する手段と、電子プローブの垂直又は水平走査に伴い前記エネルギー選択スリット上で前記スペクトルが前記エッジに直交する方向に移動するのを打ち消すように前記エネルギーフィルタを制御する手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＨＳＱレジストを用いた微細構造物の製造において、高い歩留まりで製品を製造する方法を提供する。
【解決手段】本発明の微細構造物の製造方法は、（工程１）基板と、ハイドロシルセスキオキサンを含むレジスト層と、水溶性導電性高分子化合物を含む層とがこの順序で積層されてなる積層体を準備し、前記積層体に対して荷電粒子線の照射および現像を施してレジストパターンを備えた基板からなるレジストパターン付き基板を準備する工程、（工程２）走査型顕微鏡による前記レジストパターンの観察を行い、観察されたレジストパターン付き基板を、観察結果に基づいて良品または不良品に判別する工程、および（工程３）前記良品を用いて微細構造物を製造する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、効率的に稼動する走査型プローブ顕微鏡用高周波磁場発生装置を提供する。
【解決手段】高周波コイルは試料が載るステージ側に固定されるとともに、高周波コイルに高周波電力を供給するための結合コイルは、カンチレバーを保持するホルダー側に固定されて、カンチレバーがホルダーとともに前記試料表面に近づけられた際には、該結合コイルもまた、同時に前記高周波コイルに近づいて、両コイル間が電磁気的に結合するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は電子ビーム描画装置に関し、より高精度の描画方法を提供することを目的としている。
【解決手段】被描画材料上に、複数の描画面積率が異なるパターン及びそれを複数の露光量毎及び対物レンズ値毎にマトリクス状の配置で電子ビーム描画し、該被描画材料をベーク・現像処理して形成された評価パターンを作製する手段と、作製された評価パターンの描画線幅を計測した結果に基づいて対物レンズ値毎に露光量に対する描画線幅ＣＤデータを作成する手段と、前記描画線幅ＣＤデータをＣＤカーブ関数にフィッティングさせて描画線幅のブラーｔｂと、後方散乱係数ηと、描画材料を現像処理する時の解像しきい値Ｒｔｈを求める手段と、描画線幅のブラーｔｂが最小となる最適対物レンズ値を求め、対物レンズ値を設定する手段と、設定された対物レンズ値のもとで、近接効果補正を行ないつつパターンデータに基づく図形描画を行なう手段とにより構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は走査型プローブ顕微鏡に関し、更に詳しくは溶液として金属イオン源を用いることなく、またカンチレバー背面に高価なコートをする必要がなく、かつ試料を確実に基板に付着させることができる走査型プローブ顕微鏡を提供することを目的としている。
【解決手段】溶液が入れられた容器中に試料とカンチレバーを配設し、液中で試料表面の観察及び／又は分析を行なう走査型プローブ顕微鏡であって、基板７上に観察すべき試料８を付着させるようにした走査型プローブ顕微鏡において、前記基板７を絶縁物１２を介して、電源１３が接続された電極板１１上に載置させるように構成する。 （もっと読む）

【課題】ターンテーブルの巨大化を抑え、動作中に容易にサンプルの追加を行なえるＮＭＲ装置用自動試料交換装置を提供する。
【解決手段】周方向にサンプルを配置した円形のターンテーブルの少なくとも１つのサンプル位置を切り欠いて、馬蹄状にしたターンテーブルを垂直方向に複数個積層させ、独立に回転できるように構成するとともに、任意のターンテーブルから試料を選んで取り上げる際に、試料が置かれたターンテーブル以外のターンテーブルの切り欠き部を、試料が置かれたターンテーブルの試料が置かれた方向と同じ向きに上下方向に揃えて配列させ、該配列された切り欠き部が作る縦空間を、アクチュエータまたはマニピュレータで構成された移送手段が縦方向に移動することにより、下から上方向に試料を移送するようにし、上方向に運ばれた試料は別のマニピュレータにより横方向に搬送されて、超伝導磁石に開けられた縦穴の直上に運ばれ縦穴内に投入される。 （もっと読む）

【課題】透過波と位相板の貫通孔との間のアライメントを容易化できる透過電子顕微鏡の制御装置を提供する。
【解決手段】透過電子顕微鏡の制御装置２００は、電子線を試料に透過させて得られる透過波および散乱波の通過する所定の面に配置され、貫通孔に透過波を通過させて透過波および散乱波の少なくとも一方の位相を変化させる位相板１２０を有する透過電子顕微鏡１００の制御装置であって、透過波と散乱波を干渉させて得られる透過電子顕微鏡像を取得する像取得手段２１０と、透過電子顕微鏡像をフーリエ変換して、フーリエ変換パターンを得る演算手段２２０と、フーリエ変換パターンから所定の面における透過波と貫通孔の位置関係を求めて、透過波を貫通孔に通過させるための制御情報を生成する制御情報生成手段２３０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明はＸ線検出装置に関し、Ｘ線透過膜に対して大きな圧力差を生じさせないようにしたＸ線検出装置を提供することを目的としている。
【解決手段】試料室とＸ線検出器との間に設けられたゲート弁３と、その一端が前記ゲート弁３に、他端がＸ線検出器の第１の容器Ａに接続されたベローズ１２と、その一端にＸ線透過膜７が形成された第２の容器Ｂと、該第２の容器Ｂ内に取り付けられたＸ線検出センサ１ａと、前記第１の容器Ａと第２の容器Ｂとで仕切られる空間を真空にする第１の非蒸発型ゲッター９と、前記第２の容器内を真空にする第２の非蒸発型ゲッター８と、前記Ｘ線検出器の空間をシールするＯリング１０とを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】広い質量電荷比に渡るイオンに対して高感度化とハイスループット化を実現する飛行時間型質量分析装置を提供すること。
【解決手段】イオン輸送部１０は、イオン源５０で生成されたイオンの少なくとも一部を蓄積し、蓄積したイオンを光軸１４０（ｚ軸）の方向に排出する衝突室（イオン蓄積部）５４と、衝突室（イオン蓄積部）５４から排出されたイオンが通過する時の電位が一定である定常電位領域５６と、定常電位領域５６を通過したイオンが入射する時の定常電位領域５６との電位差がイオンの質量電荷比が大きいほど大きくなるように電位が時間的に変化する変動電位領域５７と、を含む。飛行時間型質量分析部６０は、イオン輸送部１０を介して輸送されたイオンを所定の加速タイミングで光軸１４１（ｘ軸）の方向に加速して検出器１６０に導く。 （もっと読む）

【課題】 メタボノミクスのためのNMRスペクトルの解析処理の精度と効率を高める。
【解決手段】 NMR装置１０２からの多数サンプルのFIDデータがNMRスペクトルに変換され、各NMRスペクトルの実部の周波数微分の二乗と、虚部の周波数微分の二乗との和の平方根である絶対値微分が計算される（ステップ１１０）。多数サンプルの絶対値微分（AD）スペクトルに基づいて、それらのADスペクトル上の重要ピークも分割しないように最適化バケットセットが計算され、最適化バケットセットを用いた最適化バケット積分がADスペクトルに実行される(ステップ１１２）。多数サンプルの最適化バケット積分の結果を用いて、PCA解析とSIMCA解析が実行される（ステップ１１６）。解析結果とNMRスペクトルとが連携して画面に表示される。SIMCA解析の結果がPCA解析にフィードバックされ、バイオマーカの決定を容易化する。 （もっと読む）