説明

日本電子株式会社により出願された特許

141 - 150 / 811


【課題】本発明はNMRにおけるマジック角精密調整方法及び装置に関し、マジック角の調整を手作業ではなくシムコイル(鞍型コイル)のように電流の数値によって行なうことができるNMRにおけるマジック角精密調整方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】試料のNMR検出を行なう固体NMRプローブにおいて、外部磁場B0の方向をZ軸とし、該Z軸に対して角度θになるように配置され、その中に試料が入った試料管と、前記Z軸に対して試料管のZ軸に対する垂直平面へ投影した方向をY軸とし、該Y軸方向に均一磁場Hを発生させるように配置された均一磁場コイルと、を有し、前記均一磁場コイルに流す電流を制御することによって、均一磁場Hを発生させ、前記外部磁場B0と前記均一磁場Hとのベクトル合成を求め、該ベクトル合成により求まった角度を新たな外部磁場B0’としてNMR検出を行なうように構成する。 (もっと読む)


【課題】 放電原因解消のための電力遮断回数を最小にする。
【解決手段】 直流高圧発生装置16、電子銃5、電子銃5のフィラメント6とアノード8間の電圧から放電を検出する手段、放電検出手段からの放電信号が特定時間続いているか否かを検知する検知回路、検知回路からの信号に基づきトリガ信号を発生するトリガ発生回路24、フィラメント6とアノード8間の電流を遮断する遮断手段18a、両電極間の電流遮断状態を非遮断状態に戻す正常復帰信号発生回路20を備え、トリガ発生回路24からのトリガ信号に基づいて前記両電極間の電流を遮断状態にし、トリガ信号に基づいて正常復帰信号発生回路20により遮断状態を遅延して非遮断状態に戻す様に成しており、非遮断状態に戻した時に検知回路から発生される信号又はトリガ信号をカウントし、カウント値に応じて正常復帰信号発生回路20により遮断状態を非遮断状態に戻す際の遅延時間を設定する様に成した。 (もっと読む)


【課題】本発明は共焦点像取得装置に関し、構成を簡単にした共焦点STEM像取得方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】電子ビームを試料10に照射し試料から放出される信号を検出する検出器6'と、該検出器で検出した信号を記憶するメモリ22と、前記検出器を制御すると共にメモリに記憶した画像を読み出して所定の演算処理を行なう演算制御手段21と、を具備し、前記演算制御手段21は、メモリ22に記憶した画像からその場所に対応する回折像を引き出し、ピクセル毎に回折像中心位置を選択して中心位置の補正を行ない、中心位置の補正を行なったピクセル毎の回折画像の中心位置を合わせた回折情報を有する画像セットを作成し、作成した画像セットのピクセル毎に中心位置の更に中心部のみを選択して回折画像からSTEM画像を再生して共焦点STEM像を得る、ように構成する。 (もっと読む)


【課題】本発明は集束イオンビーム装置に関し、中性粒子を除去してイオン照射が可能なようにした集束イオンビーム装置に関する。
【解決手段】デフレクタを4段構成とし、上2段によりイオンビームをある距離だけ平行移動をさせ、下2段により再びイオンビームを上2段により元の軌道に戻すように平行移動をさせる各電圧成分をそれぞれ各段の電極に重畳させ、印加できる機能を持つデフレクタ電源と、及び上の2段電極と下の2段電極の間に、前記中性粒子を遮断する遮蔽板11を設け、前記デフレクタの上2段と下2段には本来の2段偏向器の役割を実行させるためのデフレクタ電圧を印加する場合に、上2段の内の何れか1段と、下2段の内の何れか1段にのみ本来の2段偏向器を実現させるためのデフレクタ電圧を印加することを特徴とする集束イオンビーム装置。 (もっと読む)


【課題】キャリアガスが供給され、上方から粉末が投入されるホッパと、該ホッパの下部に設けられ、前記キャリアガスが排出されるキャリアガス排出部と、前記ホッパの下部に設けられ、投入された粉末を前記キャリアガス排出部に定量的に供給する粉末定量供給部とを有する粉末供給装置に関し、ホッパ内で粉末の凝集を抑えることができ、低騒音の粉末供給装置を提供することにある。
【解決手段】31ホッパ内で落下する粉体に直接振動を加える振動付与手段61を設ける。 (もっと読む)


【課題】本発明は真空蒸着用電子ビーム装置に関し、電子ビーム形状を向上させることを目的としている。
【解決手段】120度以上電子ビームを偏向し、るつぼ内に貯留されている蒸着材料に対して電子ビームを照射し、該蒸着材料からの蒸気を基板表面に蒸着させるようにした真空蒸着用電子ビーム装置において、熱電子を放出するカソード31の面を電子線放出方向に対して垂直となるようにすると共に、カソード31の有効な熱電子放出面に対して、カソード保持部32aを除くその他のカソード面若しくは周囲面が、カソード31の有効な熱電子放出面に対して90度以内に存在しないようなカソード断面を有するように構成する。 (もっと読む)


【課題】LF近傍にゴースト信号が出現するのを防止することができる平衡回路方式のNMR検出器を提供する。
【解決手段】高い高周波HFと、ロック帯域の高周波(ロック周波数)に対して2重同調する平衡共振回路と、低い高周波LFに対して共振する高周波回路と、を備えたNMR検出器において、前記平衡共振回路のHFに共振する部分は、主に、HFに共振するサンプルコイルL1、該L1の両端を結ぶ第1の容量素子C0、および該L1の両端をそれぞれ接地するほぼ同容量の容量素子C2、C3からなり、前記平衡共振回路のロック周波数に共振する部分は、主に、前記L1の両端に接続された分離回路DCPL1、DCPL2と、該DCPL1、DCPL2のL1側接続端とは反対側の端部を互いに結ぶ容量素子C100とからなる。 (もっと読む)


【課題】極めて短時間に且つ簡単に試料分析を行う。
【解決手段】 電子ビーム照射により試料4表面から発生し、X線分光器7のX線検出器に検出された特性X線信号に基づくスペクトルを表示装置17の表示画面上に表示させる様に成してあり、過去の分析に使用した分析条件に関するデータとその分析条件下で検出された信号に基づいて作成された分析データとを関連付けて記憶する記憶手段16、分析データに関係するパラメータの数値範囲を選択可能に表示手段17に表示させるパラメータ表示指令部9P、表示されたパラメータから分析データに関係するパラメータの数値範囲を指定する指定手段18、及び、指定されたパラメータの数値範囲が含まれる分析データに関係づけられた分析条件データを記憶手段16に記憶されたデータから抽出し、表示手段17に表示させる分析条件抽出手段21を備えている。 (もっと読む)


【課題】マニュアル操作により、表示画像を動かして、試料中の観察・検査対象物の探索を行なう際に、オペレータによる移動方向指定手段の操作を簡易化する。
【解決手段】試料ステージ18に載置された試料16に対して電子線15を走査し、電子線15が走査された領域から発生する二次的信号17を検出し、これに基づく走査像を表示する走査電子顕微鏡において、移動方向指定手段12からの指示に基づいて、電子線15の走査領域が試料16上で相対的に移動したときに、該走査領域における電子線15の垂直走査方向が、移動方向指定手段12により指定された表示画像の移動方向に応じた該走査領域の試料16上での相対移動方向と平行な方向と合うように、演算制御手段10が該走査領域の回転の制御を行なう。 (もっと読む)


【課題】本発明は半導体デバイス検査方法及び装置に関し、複雑な配線構造のデバイスでも故障箇所特定が可能になる半導体デバイス検査方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】荷電粒子線装置内に、荷電粒子線を変調する機能と、荷電粒子線をデバイス上の任意の位置に照射する機能と、単数又は複数のプロービング用探針及び探針移動機構を組み込んだ半導体検査装置を設け、該半導体検査装置は、半導体デバイスに変調された荷電粒子線を照射する手段と、該荷電粒子線を照射することによって発生する電気信号を探針のプロービングにより検出する手段と、入射荷電粒子の応答特性と検出される信号の応答特性を比較して半導体デバイスの欠陥箇所を特定する手段と、を有し、前記単数又は複数のプロービング用探針は、容量結合によりグランドポテンシャルに接続されて構成される。 (もっと読む)


141 - 150 / 811