【課題】本発明はエネルギー分散型Ｘ線分析装置のスペクトルの分類方法及び装置に関し、スペクトル同士の相関関係を求める必要がなく、高速に処理が可能なエネルギー分散型Ｘ線分析装置のスペクトルの分類方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】試料に荷電粒子ビームを照射して試料から発生したＸ線を所定の区画毎に検出し、検出されたＸ線から、横軸にエネルギー、縦軸に発生したＸ線の数を表わすＸ線スペクトルを求めるスペクトル取得手段と、該スペクトル取得手段から得られたスペクトルを横軸をＭ分割、縦軸をＮ分割して、横軸のＭ分割区域毎に縦軸の数値を求め、求めた数値列を各区画毎に得る数値列算出手段と、同じ数値列の区画をまとめて、同一の数値列により同一の組成と判定された区画を同じ色で着色する着色手段と、各組成と判定された個別の分布を合成して分布図を得る分布図取得手段とにより構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は電子線照射装置の電子線安定化方法及び装置に関し、フィールドエミッション形電子銃を用いた場合でも照射電流を安定化することができる電子線照射装置の電子線安定化方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】電流を検出可能な絞りを複数用意し、これら複数の絞りの絞り検出電流と、対応する電子線照射電流との関係をテーブルとしてメモリ２１に記憶させておいて、電子線照射電流が小さい領域では、前記複数の絞り検出電流を加算したものを絞り検出電流とし、電子線照射電流が大きい領域では、前記複数の絞りのうち、特定の絞りの検出電流をそれぞれ検出電流として用いて、電子線照射電流のフィードバック制御を行なうように構成する。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線装置による観察において、目視では確認が困難とされる観察画像上の歪みを評価する方法を提供する。
【解決手段】観察画像内に境界線と基準画像内の基準線とを特定し、観察画像のＸ軸上で基準画像を移動させて、その移動量に対する各境界線と基準線とのＸ軸上の距離を求める。この距離の変化を井自治関数で近似して各境界線の間隔を算出する。観察画像上の各歪み量は各間隔と平均間隔との差として算出される。 （もっと読む）

【課題】本発明は試料観察装置に関し、薄膜が破損した時に真空室内に試料溶液が飛翔することを防止することができる試料観察装置を提供することを目的としている。
【解決手段】第１の面に試料が保持される薄膜４１と、該薄膜４１の第２の面に接する雰囲気を減圧する真空室と、該真空室に接続され、前記薄膜４１を介して試料２０に１次線を照射する１次線照射手段と、該１次線の照射により試料から発生する２次的信号を検出する信号検出手段４を具備する試料観察装置において、前記薄膜４１をその中央部に配置するシャーレ４０と、該シャーレ４０を支持する台座４２’よりなる試料保持手段を有し、該試料保持手段の台座４２’の真空室側に試料溶液が飛翔することを防止するための溶液飛翔防止壁４７を設けて構成される。 （もっと読む）

【課題】電子線鏡筒の先端部からの絞り部材の着脱動作を、単純な動作及び簡易な機構によって自動的に行うことのできる電子線装置を提供する。
【解決手段】基端側に位置する電子線源から放出された電子線５を先端側から放出する電子線鏡筒１と、電子線鏡筒１の先端側に接続された試料室２と、試料室２内において、電子線鏡筒１の先端部に着脱可能に配置される絞り部材とを備えた電子線装置において、電子線５の進行方向に沿う所定の平面に沿って絞り部材を回動動作させ、これにより電子線鏡筒１の先端部に対して絞り部材を着脱可能とするための回動機構２０を設ける。 （もっと読む）

【課題】 本発明は磁区観察装置に関し、試料に強い磁場を印加することができる磁区観察装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 透過型電子顕微鏡の対物レンズ上極内に磁性体試料３を配置し、該試料３を透過した電子線を画像化して表示手段に表示させるようにした磁区観察装置において、試料３に磁場を印加するための磁場印加コイル４と、試料３に印加した磁場により偏向される電子線を光軸に振り戻すための偏向コイル９，１０とを対物レンズ上極内に配置して構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明はイオンポンプに関し、漏れ磁場の影響を受け難く、排気速度を向上させ、また残留ガスのイオン化を促進することができるイオンポンプを提供することを目的としている。
【解決手段】その一端に真空室と接続するためのフランジ１４が、他端に電極導入端子２１が取り付けられた円筒状のポンプチェンバ１０と、該ポンプチェンバ１０の内部中央に配置され、その一端が前記電極導入端子２１を介して高電圧と接続される金属棒１３と、前記ポンプチェンバ１０の外周面に間隔を空けてリング状にかつ表面磁極の方向が同じになるように取り付けられたリング状磁石と、該リング状磁石の外側に巻回された磁性体ヨーク２４とを具備して構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は電子顕微鏡に関し、大気圧での気体と固体の反応過程の観察が実現できる電子顕微鏡を提供することを目的としている。
【解決手段】電子線を出射する電子線源１と、該電子線源１から出射される電子線を集束させる電磁レンズと、該電磁レンズを通過した電子線の光軸調整を行なうアライメントコイルと、試料近傍の雰囲気を制御する制御装置と、鏡筒の所定の箇所に少なくとも一つ設けられた排気ポンプと、試料近傍に設けられたガス導入装置１２と、試料に電子線を照射して該照射領域からの信号に基づいて画像を構成する画像構成装置３５と、画像を記録及び表示する画像出力装置と、これら各構成要素を制御するコンピュータ５０とを搭載した電子顕微鏡において、前記コンピュータ５０は、ガス種と試料近傍の圧力とから、高圧タンクを放電させない圧力を維持できるオリフィスの数及びこれらオリフィスの径を求めるように構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、観察条件に最適な感度ムラ補正の補正係数の設定を自動的に行なうことができる透過型電子顕微鏡用カメラの感度ムラ補正方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】試料を透過した透過電子線を入射して透過電子線像を撮影する透過型電子顕微鏡用カメラ２４と、透過型電子顕微鏡２１の観察条件に合わせてピクセル毎の感度ムラ補正係数を記憶するコンピュータ２３と接続された外部記憶装置２７と、観察画像を得るに際し、前記透過型電子顕微鏡用カメラ２４で撮影されたピクセル毎の画像データに、前記記憶装置２７に記憶された感度ムラ補正係数を乗算するコンピュータ内演算手段と、該演算手段により乗算された画像データを表示する表示手段２３ａとを具備して構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明はトップエントリステージの駆動方法及び装置に関し、高倍率での目標物の移動を容易にすることである。
【解決手段】その両端に第１及び第２の切り欠き部１１，１２が、その両端から等距離の点に第３の切り欠き部１３が形成された、その上に試料を載置する円形状の試料ステージ１と、前記第１及び第２の切り欠き部に設けられたＸテコ２，Ｙテコ３と、これらテコを正負両方向に駆動するＸ，Ｙ方向にそれぞれ設けられたＸ，Ｙ駆動モータ２１，２２と、前記第３の切り欠き部１３に設けられた固定ブロック４と、該固定ブロック近傍に取り付けられた試料ステージの所定方向に付勢力を与えるバネ５と、から構成されるトップエントリステージにおいて、前記試料ステージ１をＸ，Ｙ方向に移動させる場合に、移動量が小さい時は、前記Ｘ，Ｙ駆動モータ２１，２２を同時に同じ量だけ動かすように構成する。 （もっと読む）