説明

日本電子株式会社により出願された特許

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【課題】本発明はトップエントリステージの駆動方法及び装置に関し、高倍率での目標物の移動を容易にすることである。
【解決手段】その両端に第1及び第2の切り欠き部11,12が、その両端から等距離の点に第3の切り欠き部13が形成された、その上に試料を載置する円形状の試料ステージ1と、前記第1及び第2の切り欠き部に設けられたXテコ2,Yテコ3と、これらテコを正負両方向に駆動するX,Y方向にそれぞれ設けられたX,Y駆動モータ21,22と、前記第3の切り欠き部13に設けられた固定ブロック4と、該固定ブロック近傍に取り付けられた試料ステージの所定方向に付勢力を与えるバネ5と、から構成されるトップエントリステージにおいて、前記試料ステージ1をX,Y方向に移動させる場合に、移動量が小さい時は、前記X,Y駆動モータ21,22を同時に同じ量だけ動かすように構成する。 (もっと読む)


【課題】本発明は透過型電子顕微鏡の試料作製方法及び試料保持体に関し、試料片への通電を容易に行なうことができる透過型電子顕微鏡の試料作製方法及び試料保持体を提供することを目的としている。
【解決手段】真空外で、半月状の導電性部材1の弦の部分に電気的絶縁膜3を形成し、該電気的絶縁膜3の上に金線4を接着し、アクチュエータを用いて、予め作製されていた試料片を前記半月状の導電性部材1の弦の部分に取り付けて固定し、真空内で、前記試料片部分に電気的導通のためのデポジションを行ない、前記金線4と試料片2aとの間に導電性プローブを固定のためのデポジションにより取り付け、前記導電性プローブを切断することにより透過型電子顕微鏡の試料を作製するように構成する。 (もっと読む)


【課題】さまざまなキャリーオーバーに対応できる臨床検査用自動分析装置を提供する。
【解決手段】複数の検体についてそれぞれ所望の測定項目を自動的に順次分析する臨床検査用自動分析装置において、順次得られる測定値から強陽性閾値aを超える高値異常を検出する高値異常検出手段と、強陽性閾値aを超える高値異常が検出された検体の次に分析された検体の所定検査項目の分析結果が下限値b以上、上限値c以下であった場合に、キャリーオーバーの可能性があると判断するキャリーオーバー判断手段とを備えた。 (もっと読む)


【課題】多くの画面情報を確認しなくてはならない煩わしさを軽減し、一目で容易に情報を得ることで人為的ミスの発生を削減し、よりスムーズなオペレーションが可能な生化学自動分析装置を提供する。
【解決手段】生化学自動分析装置の測定精度を管理するために、分析値が既知のサンプルを測定して、得られる分析結果を検証する精度管理測定専用の操作画面を備え、該操作画面は、複数の検査項目ごとに分かれている精度管理のための測定指示を入力する入力キーを一覧表示する機能を備え、一覧表示された入力キーを指示することにより、その検査項目の精度管理測定のON/OFFが行なえるようにした。 (もっと読む)


【課題】本発明は環状明視野像観察装置に関し、暗視野像との併用により軽元素と重元素の原子位置を正確に測定可能な環状明視野像観察装置を提供することを目的としている。
【解決手段】照射光学系と結像光学系を有し、試料を透過した透過電子或いは散乱電子を検出して表示部に表示するようにした走査透過型電子顕微鏡において、透過電子と散乱電子を受けて光信号に変換する円盤状シンチレータ6を設け、かつ該円盤状シンチレータ6の中心部を遮蔽するための遮蔽手段13を設け、この状態で前記円盤状シンチレータ6で環状明視野像を検出するように構成する。 (もっと読む)


【課題】透過光検出用の撮像素子を真空室内部に別途設置することなく、簡易な構成の装置によって、一次線透過部を探し出すことのできる試料検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】試料保持体の一次線透過部に保持された試料21に対して、一次線透過部を介して一次線を照射し、これより試料21から発生して一次線透過部を通過した二次線を二次線検出手段3により検出して試料像の取得が可能であり、また、試料21に対して一次線透過部が位置する側とは反対の側から光(照射光)24を照射し、これによる反射光を検出して試料21の光学像の取得が可能である試料検査方法及び装置において、照射光24を試料21に照射したときに、試料21を介して一次線透過部を通過する通過光24aを二次線検出手段3によって検出することにより、試料21上への照射光24の照射領域と一次線透過部との位置合わせを行う。 (もっと読む)


【課題】 基板ホルダー及び真空チャンバー内壁へ向かう反射電子を低減する。
【解決手段】 真空チャンバー1内の上部に基板ホルダー4が取り付けられ、真空チャンバー1内の下部に、蒸発材料8が充填されるハースライナー9′を収容した坩堝7′と電子銃10とを有する電子ビーム蒸発源が設けられており、坩堝7′の内面と該内面に対向するハースライナー9′の外面との間に、電子銃10からの電子ビームEBが入射し、入射した電子が坩堝7′の内面とハースライナー9′の外面との間で散乱される空間が形成されている。 (もっと読む)


【課題】本発明は荷電粒子ビーム描画方法及び装置に関し、可変ビームの断面のエッジにおけるビーム電流密度と、露光量裕度とを露光量決定に反映させ、被描画材料に形成されたレジストパターンの線幅線形性を向上させることを目的としている。
【解決手段】成形偏向器12によりビーム断面寸法を変化させながら、電流検出部17でビーム電流を測定し、ビーム電流とビーム断面積とからビーム電流密度分布を求め、ビーム電流密度分布に基づいて、ビーム断面寸法ごとにビーム断面のエッジにおけるビーム電流密度を決めるように構成する。 (もっと読む)


【課題】 試料に電子線を照射して線分析を行なうとき、同じ線分上で任意の間隔と任意の点数で分析点を簡易に設定する方法を提供する。
【解決手段】 マウス等のポインティングデバイスを用いてHAADF像上の線分析位置を指定する。たとえば結晶粒界に直角となるように線分析の始点P1と終点P6を指定し、キーボード等により分析点数6を指定する。例えばX線検出器13により粒界に直角な線分上に注目元素のX線強度を測定し分析結果をグラフに表す。X線強度の高い注目点を中心とした線上に、はじめに設定した間隔よりさらに細かく分割する分析点S1からS6を自動的に指定する。 (もっと読む)


【課題】共振器の応答関数から過渡現象を補償できる振動電圧を理論的に計算することにより、Q値を下げることなく過渡現象を補償し、意図する通りに任意の振動磁場を発生させることのできるスピン磁気共鳴装置および方法を提供する。
【解決手段】入力振動電圧パルスの包絡線波形が前記共振器の過渡応答によって歪まされて、所望する波形からずれた包絡線波形の振動磁場パルスが生成され試料に印加されてしまう現象を補償するために、前記共振器の応答関数に基づいて予め求めた、共振器が目的とする包絡線波形を有する振動磁場パルスを発生するために前記共振器に入力すべき振動電圧パルスの逆歪み包絡線波形データを記憶する手段を設け、記憶した逆歪み包絡線波形データに基づき、逆歪み包絡線波形を有する振動電圧パルスを発生して前記共振器に入力するようにした。 (もっと読む)


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