【課題】レーザビームの強度分布特性とカセグレン型（あるいはシュヴァルツシルト型）反射対物鏡の形態に由来する中央遮蔽効果により、ラマン分析における試料への実効的なレーザ照射量が低下し、ラマン散乱光を観測する上で感度上のデメリットが生じるのを防止する。
【解決手段】（１）レーザ光を発振するレーザ発振器、（２）発振されたレーザ光の光束径を拡大するビームエキスパンダ、（３）主鏡と副鏡によって構成され、前記レーザ光を試料上の１点に集光するカセグレン型反射対物鏡、を備えたラマン測定用光学系であって、レーザ発振器とカセグレン型反射対物鏡との間にレーザ光の光強度分布を平坦に均一化する強度分布変換用光学素子を挿入し、カセグレン型反射対物鏡の副鏡による中央遮蔽に伴うレーザ光照射効率の低減現象を軽減する。 （もっと読む）

【課題】 基板に帯電する負電荷が中和される様にする。
【解決手段】 真空チャンバー１内に、絶縁部材を介して取り付けられた基板ホルダー４、蒸発材料の加熱用電子銃９を有する蒸発源、真空チャンバー側壁及び底壁に沿って碍子２１を介して真空チャンバー側壁に取り付けられた防着板２０、真空チャンバー内に蒸発源から蒸発した蒸発粒子をイオン化するための電子ビームを発生するプラズマ発生源１１を備え、プラズマ発生源１１は、熱陰極１５と電子放出電極１７が配置されたケース１２と、熱陰極１５と電子引出電極１７との間に放電電圧を印加する放電電源を備え、ケース１２内で形成されたプラズマＰ１中の電子を放電電圧に基づいて真空チャンバー１内に引き出す様に成しているイオンプレーティング装置において、基板ホルダー４と真空チャンバー１壁間の電位を測定する直流電圧計２２と、この電位が基準値になる様に放電電圧をコントロールする制御装置２３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 光軸上に沿って放出された荷電粒子も検出出来る様にする。
【解決手段】 電子銃からの一次電子ビーム１を加速する加速管電極３０、一次電子ビームを試料３上に集束させる磁界レンズ２、一次電子ビームを減速する減速電極６、一次電子ビームで試料３上を走査させる走査コイル４、試料３から発生する二次電子を検出する検出系、及び、検出された二次電子に基づいて試料３の二次電子像を表示する表示装置１３を備え、電子銃と加速管電極３０との間に、負電圧が印加されるドーナツ形状の反射電極３４を，加速管電極３０の管内に試料３からの二次電子を反射電極３４の手前の管内光軸上に集束させるアインツェルレンズ３２をそれぞれ配置し、検出系を、電子銃からの一次電子ビームを通過させる開口を有し、試料３からの二次電子を検出する第１検出器と、電子銃からの一次電子ビームを通過させる開口を有し、反射電極３４によって試料方向に追い返された二電子を検出する第２検出器とから成る。 （もっと読む）

【課題】本発明は冷陰極電子銃の自動入射軸合わせ方法に関し、電子ビームのアノード電極Ａ２に対する入射軸を自動で最適化することができる冷陰極電子銃の自動入射軸合わせ方法を提供することを目的としている。
【解決手段】集束レンズ群と、対物レンズ群と、中間レンズ群と、投影レンズ群と、１個以上の対物絞りを備え、電子銃の第１のアノード電極Ａ１及び第２のアノード電極Ａ２に電界を印加することによってエミッタから電子ビームを発生させる冷陰極電子銃を備え、該電子銃のアノード電極Ａ２に対する機械的位置を調整するためのモータを備えた透過型電子顕微鏡において、前記モータを駆動して電子銃を機械的に走査させ、環状のアノード電極Ａ２の開口に対する電子ビームの入射軸を調整し、アノード電極Ａ２の開口を通過する電流量が最大となる時の前記電子銃の最適な機械的位置を自動的に取得するように構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は走査型電子顕微鏡に関し、１次ビーム電流が小さい場合や試料の２次電子放出効率が小さくてもコントラストの良い画像を得ることができる走査型電子顕微鏡を提供することを目的としている。
【解決手段】少なくとも１チャンネルの検出信号を増幅してディジタルデータに変換し、ディジタルデータに変換した検出信号をフレーム間で無相関なノイズを低減させるためのフレーム積算器８に入力し、その出力を観察画像表示器１３に表示するようにした走査型電子顕微鏡において、前記フレーム積算器８の出力とある係数を乗算させる乗算手段を設け、該乗算手段の出力を前記観察画像表示器１３に表示させるように構成する。 （もっと読む）

【課題】イオンの利用効率を向上させた垂直加速型飛行時間型質量分析計を提供する。
【解決手段】イオン源、イオン源で生成したイオンを輸送するイオン輸送手段、イオン輸送手段の輸送先に置かれ、入射スリット、イオンを挟むように配置された２枚の加速電極、イオンに減速作用が働くような電場勾配を発生する圧縮電極、の３つから成り、イオンの飛行時間測定の始点となる信号に同期して前記各電極に所定の電圧を印加して、前記イオン輸送手段の輸送方向と直交する方向にイオンを加速するイオン加速部、前記イオン加速部により加速されたイオンを飛行させ、質量電荷比に応じてイオンの飛行速度が異なることを利用してイオンの質量分離を行なうイオン光学系、イオンを加速するための始点となる信号に同期して、イオン光学系を飛行してきたイオンを検出するイオン検出部、を備えた。 （もっと読む）

【課題】試料の加工断面に不要な段差やリデポによる不要な付着物が生じることを確実に防ぐことのできる試料加工装置を提供する。
【解決手段】試料１が載置される試料台３ａと、試料台３ａに載置された試料１を間に挟んで試料台３ａと対向するように配置された遮蔽板２と、遮蔽板２の上方に位置するイオンビーム源とを備え、試料台３ａの先端側に位置する試料１の部分で遮蔽板２の側縁部２ａから露出された箇所１ａに、イオンビーム源からのイオンビーム１０を照射して試料１の加工を行う試料加工装置において、試料台３ａが、遮蔽板２よりも熱膨張率の大きな材料により構成されている。 （もっと読む）

【課題】 狭持に基づく基板の歪みを低減する基板ホルダーを提供する。
【解決手段】 ホルダー本体１の凹部に設けられたプレート５の三箇所に、それぞれ、バネ９ａ，９ｂ，９ｃの弾性力によりガラス乾板１０を押し上げる為のピン６０ａ，６０ｂ，６０ｃとピン支持体６１ａ，６１ｂ，６１ｃが設けられている。ピン支持体６１ａ，６１ｂ，６１ｃの各ピン支持部は筒状に成してあり、ピン支持体６１ａ，６１ｂ，６１ｃの各筒状部と各ピン６０ａ，６０ｂ，６０ｃの下方側面それぞれとの間にオーリング６２ａ，６２ｂ，６２ｃが挿入されており、ピン６０ａ，６０ｂ，６０ｃがそれぞれピン支持体支持体６１ａ，６１ｂ，６１ｃ上で回転可能に成してある。 （もっと読む）

【課題】 エネルギー分散型Ｘ線分光器に用いられるシリコンドリフト型検出器においてバックグランドを低減する。
【解決手段】 Ｘ線検出素子１と電気接続するための電極端子板２とペルチェ素子３との間にペルチェ素子３を構成する材料の平均原子番号よりも原子番号の小さな元素を主成分とする第１遮蔽体５と、ペルチェ素子３を構成する材料よりも原子番号の大きな元素を主成分とする第２遮蔽体６を備えることにより、Ｘ線検出素子１を透過したＸ線によってペルチェ素子３から発生する二次Ｘ線がＸ線検出素子１に入射する量を減少させる。 （もっと読む）

【課題】イオンビームの照射により断面を露出させた試料を作製するため試料をイオンビームに対する所定位置に保持する試料作製装置において、イオンビームによる試料の加工中にイオンビームを遮断する遮蔽板のイオンビームに接近する方向への移動を防止し、良好な断面が現れた試料を作製する。
【解決手段】基端側を支持され先端側が自由端である第１の支持部材２と、第１の支持部材２の先端側に基端側を支持され先端側が第１の支持部材２の基端側に向けた自由端である第２の支持部材９と、第２の支持部材９に支持された遮蔽板１０と、第２の支持部材９に取り付けられた加熱ヒーター１３を備え、第２の支持部材９は加熱ヒーター１３により加熱せられて前記第１の支持部材の基端側方向に膨張する構造となされ、遮蔽板１０の第１の支持部材２の先端側に向かう一側縁をイオンビームＢの照射位置として保持し、遮蔽板１０によりイオンビームＢが遮蔽される位置に設置された試料１０１の遮蔽板１０の一側縁より露出した箇所への加工を行う。 （もっと読む）