日本電子株式会社により出願された特許

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【課題】試料のドリフトを抑制できる荷電粒子線装置の試料位置決め装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置の試料位置決め装置100は、減圧状態に維持可能な試料室1と、試料室1に連通する孔12を有する管状部材10と、孔12に移動可能に装着される試料ホルダー20と、試料ホルダー20に装着され、管状部材10の内面に接するOリング30と、試料室1における試料ホルダー20の位置を変える駆動機構60と、を含み、試料ホルダー20は、先端部が試料室1に配置される第1部分22と、孔12に配置される第2部分24と、を有し、第1部分22は、先端部に、試料Sを保持可能な試料保持部23を有し、第2部分24は、リニアガイドを介して、第1部分22を移動可能に支持し、Oリング30は、第2部分24に装着され、駆動機構60は、第1部分22を移動させる。 (もっと読む)


【課題】
絞りホルダの絞りを隔壁の電子ビーム通過口に密着させると共に、絞りホルダ移動による微粉末発生を抑える。
【解決手段】
本発明の電子顕微鏡用絞り機構は、絞りを保持する絞りベースと、該絞りベースを保持すると共に絞りが電子ビーム通過口に一致する位置と外れる位置とに選択的に配置されるよう、隔壁に沿って移動可能に設けられる絞りホルダと、該絞りホルダの周囲に移動方向に沿って配置される凹凸部を有するレールとから構成される。前記絞りベースは前記レールと接する上下ローラを備え、前記絞りホルダは、前記絞りホルダに対して独立に前記絞りベースが前記電子ビーム通過口との距離が変わる方向に移動可能に前記絞りベースを支持し且つ前記絞りベースを前記電子ビーム通過口から離れる方向に付勢する絞りベース付勢手段を備える。前記レールは、絞りが電子ビーム通過口に一致する位置で電子ビーム通過口を塞ぐように前記ローラに力を与える凹凸部を有する。 (もっと読む)


【課題】分析部で選択イオンを変更するタイミングの制御を容易化することができる質量分析装置を提供すること。
【解決手段】蓄積部20は、イオン源10で生成されたイオンを蓄積し、蓄積したイオンをイオンパルスとして排出し、第1分析部30は、蓄積部20が排出するイオンパルスから、質量電荷比に基づいて第1の目的イオンを選択し、コリジョンセル30は、第1の目的イオンの一部又は全部を開裂させてプロダクトイオンを生成し、第2分析部50は、第1の目的イオン及びプロダクトイオンから、質量電荷比に基づいて第2の目的イオンを選択し、検出器60は、第2の目的イオンを検出する。制御部90は、第1分析部30では質量が大きい第1の目的イオンほど光軸方向の運動エネルギーを高くし、第2分析部50では質量が大きい第2の目的イオンほど光軸方向の運動エネルギーを高くするように制御する。 (もっと読む)


【課題】様々な入力信号に対応し、短時間で入力信号を処理することが可能な、信号処理方法、及び信号処理装置を提供すること。
【解決手段】サンプル画像に基づき生成されたフィルタと、該サンプル画像のパワースペクトルとを対応付けて格納する格納部20と、入力画像のパワースペクトルを算出し、格納部20に格納された複数のパワースペクトルのうち、算出されたパワースペクトルに近似するパワースペクトルを選択し、格納部20に格納された複数のフィルタのうち、選択されたパワースペクトルに対応するフィルタを選択するフィルタ選択部30と、入力画像に対して、選択されたフィルタを用いてコンボリューション処理を行うコンボリューション処理部40とを含む。 (もっと読む)


【課題】容易に荷電粒子ビームの軸合わせができる荷電粒子ビームの軸合わせ方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビームの軸合わせ方法は、試料上における荷電粒子ビームの入射方向での焦点位置、第1アライメントコイルの励磁電流、および第2アライメントコイルの励磁電流を制御して、少なくとも第1〜第6画像データを取得する画像データ取得工程(S10)と、少なくとも前記第1〜第6画像データから、荷電粒子ビームの軸合わせのための第1アライメントコイルの励磁電流値および第2アライメントコイルの励磁電流値を算出する演算工程(S11〜S13)と、を含む。 (もっと読む)


【課題】本発明は試料ホルダの排気方法及び装置に関し、大気暴露を確実に防止したままで鏡筒に試料を挿入することができる試料ホルダの排気方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】試料を顕微鏡の鏡筒に挿入する試料ホルダシステムにおいて、真空排気シーケンスを制御するための排気制御手段を設け、該排気制御手段により前記気密室の気圧が一定の状態で、ゴニオメータ内を真空引きしてその内部が所定の低真空状態になるまで排気し、その内部が所定の低真空状態になったら、前記排気制御手段により前記気密室の仕切り弁を開いて気密室を前記低真空状態にし、その後、前記排気制御手段により前記ゴニオメータ及び気密室を高真空状態にし、その後、試料をゴニオメータの先端部まで移送して鏡筒に試料ホルダを挿入するように構成する。 (もっと読む)


【課題】装置を大型化および複雑化させることなく、処理能力を向上できる自動分析装置を提供する。
【解決手段】自動分析装置100は、第1反応セル2において、前処理液によって検体の前処理を行うことにより前処理検体を作成する第1処理を行い、第2反応セル2において、前処理検体を試薬と反応させて反応検体を作成する第2処理を行い、前記制御手段10は、ターンテーブル4を第1方向Aに第1角度だけ回転させて停止させる第1制御と、ターンテーブルを第2方向Bに第2角度だけ回転させて停止させる第2制御と、を繰り返し行い、第2反応セル2は、第1反応セル2よりも第1方向Aに第2角度だけ離れた位置に配置され、ターンテーブル4は、第1制御および第2制御が繰り返されることによって、第1反応セル2および第2反応セル2が、少なくとも第1ポジションP1、第2ポジションP2、および第3ポジションP3に停止するように回転する。 (もっと読む)


【課題】稼働率が向上する検体ホルダ搬送装置を提供することを課題とする。
【解決手段】第2搬送路57で搬送される検体ホルダ51の前後の向きを検出する方向検出手段93を設け、制御部は、方向検出手段93の検知結果を取り込み、検体ホルダ51の向きが正しい場合には、検体ホルダ回転機構59を正方向に回転させ、検体ホルダ51の向きが間違っている場合には、検体ホルダ回転機構59を検体ホルダ51の向きが正しくなるように逆方向に回転させる。 (もっと読む)


【課題】重合体を構成する多種の構成単位の組成分布を、同時にかつより正確に測定できる方法を提供する。
【解決手段】質量分析装置を用いて、ピーク半値幅が0.1Da以下となる条件で、重合体の質量分析を行う質量分析工程と、得られた質量スペクトルにおいて、末端基の組成が共通し、かつ末端基以外の構成単位の組成が共通する成分毎に、対応するピークを特定するピークピック工程を有する、重合体の測定方法。 (もっと読む)


【課題】 試料片を保持している試料支持体からの反射電子や散乱電子が試料片に当たり難くする試料保持方法を提供する。
【解決手段】 試料素材1に集束イオンビーム2を照射して試料片4を切り出す工程と、切り出された試料片4をマニピュレータの先端部に取付けられたプローブ5の先端部に付着させ、ピックアップする工程と、試料素材1に換えて電子顕微鏡用試料ホルダーにセットされる試料支持部材7を集束イオンビーム装置の試料載置台にセットする工程と、プローブ5の先端部に付着された試料片4が試料支持部材7から離れた空間部に位置して、プローブ5の一部が試料支持部材7に接触する様にプローブ5を移動させる工程と、その接触部でプローブ5の一部を試料支持部材7に付着させる工程と、及び、その接触部よりプローブ5の根元側の部分を切断する工程から成る。 (もっと読む)


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