日本電子株式会社により出願された特許

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【課題】本発明はターボ分子ポンプを排気対象装置に接続するための接続装置に関し、比較的低周波域の振動の排気対象装置への伝達を効果的に抑制することのできる接続装置を提供することを目的としている。
【解決手段】ロータと、ロータを収容するケーシングと、前記ケーシングに設けられる吸気口及び排気口を備え、前記ケーシング内でロータを高速回転させることにより前記吸気口からガスを吸引し前記排気口からガスを排出するターボ分子ポンプの吸気口を排気対象の真空容器の排気口に接続するための接続排気管を備えたターボ分子ポンプの接続装置において、前記接続排気管の周囲を取り巻くようにリング状のおもりを配置すると共に、前記接続排気管とおもりの間に粘弾性部材を介在させることにより動吸振器を構成する。 (もっと読む)


【課題】少なくとも三段の多極子に対する荷電粒子線の軸合わせ方法、及び当該軸合わせが可能な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】少なくとも3つの非点場を発生し、隣接する前記非点場の軸ずれによる同次数且つ同種の非点収差が相殺されるように、各前記荷電粒子線の軌道および各前記非点場の分布のうちの少なくとも1つの群内のそれぞれを、前記光軸に垂直な方向に沿って同時に平行移動する。 (もっと読む)


【課題】荷電粒子ビーム描画装置の自動調整方法及び荷電粒子ビーム描画装置に関し、寸法の制限された図形8の電流密度均一性を最良化し、線幅線形性を向上させることができる手段を提供することを目的としている。
【解決手段】第1の成形開口板3の前段に、第1の成形開口板を照射する荷電粒子ビームの同開口板の開口位置に対する位置を調節するためのビームアライメント手段29を備え、第2の成形開口板7の開口を通過する荷電粒子ビームの、同開口板の高さ位置における電流密度分布を測定する手段と、該測定手段により得られた電流密度分布からその直線成分を抽出する手段とを備え、該測定手段及び抽出手段により得られた傾斜成分が除去されるように、前記ビームアライメント手段29により第1の成形開口板3の照射位置を調節するように構成する。 (もっと読む)


【課題】イオンの利用効率を高めたタンデム型飛行時間型質量分析計を提供する。
【解決手段】イオン蓄積手段2より吐き出されたイオン群をパルス的に加速する垂直加速部および加速されたイオンを分離する第1飛行時間型イオン光学系3と、所定のプリカーサイオンのみを選択的に通過させるイオンゲート4とイオンゲートを開閉する制御手段、プリカーサイオンの開裂手段および生成したプロダクトイオンを質量分析する第2飛行時間型イオン光学系6を備え、イオン蓄積手段より吐き出されたプリカーサイオンが第1飛行時間イオン光学系への通過率が最良となる位置に到達する到達時間に合わせて、プリカーサイオンをパルス的に加速する様にした。 (もっと読む)


【課題】本発明はX線分析方法及び装置に関し、ステージ走査でも良好なドリフト補正を行うことができるX線分析方法及び装置を提供する。
【解決手段】試料上の面分析領域の内部を複数のブロックに分けて、ブロック内での各ラインのステージ走査に基づく特性X線の測定が第1ブロックから各ブロック毎に順次行うようにされており、各ブロックにおいて最初に走査が行われるラインについてのステージ走査の開始前に、試料の電子線走査画像を取得し、第2ブロック以降における特性X線の測定開始時においては、当該ブロックにおいて取得された電子線走査画像と、その直前のブロックにおいて取得された電子線走査画像との照合を行って、ステージのドリフト量を求め、該ドリフト量に基づいて電子線のビームシフトを行うことにより、試料上での電子線の照射位置を補正してから当該ブロック内での特性X線測定を開始するように構成する。 (もっと読む)


【課題】装置条件を変更した場合でも、常に最適なイオンゲートの時間設定が可能なタンデム型飛行時間型質量分析法および装置を提供する。
【解決手段】所望のプリカーサイオンをイオンゲートで選択し、開裂させてプロダクトイオンを生成させて測定する際に、予め質量電荷比の異なる複数の基準物質を用いて、該基準物質の質量電荷比に対する遅延引き出し条件、およびイオンゲートのオープン時間の最適値を測定して記憶させたテーブルを用意しておき、所望のプリカーサイオンの質量電荷比について質量分解能が最適となるような遅延引き出し条件およびイオンゲートのオープン時間を前記テーブルの記憶値に基づいて求め、求めた前記遅延引き出し条件と前記イオンゲートのオープン時間の最適値をタンデム型飛行時間型質量分析装置に設定するようにした。 (もっと読む)


【課題】本発明は送受信切替器における前置増幅器保護回路に関し、前置増幅器を保護することを目的としている。
【解決手段】送信波を入力して電力増幅させ、アンテナ5に供給して送信すると共に、アンテナ5からの信号を受信して前置増幅器7に与えるように構成され、送信と受信を切り替えることができるように構成された送受信切替器において、送信波を電力増幅してアンテナ5に供給する電力増幅器1と、該電力増幅器1の出力側に設けられた送信波を検出するためのカプラ10と、該カプラ10の出力を受けて、元の切り替え信号とのORをとり、切り替え信号として送受信切替器に与えるように構成する。 (もっと読む)


【課題】電子線を照射した試料からの特性X線を回折させてスペクトルを採取するシステムにおいて、採取スペクトルの各ピークが、測定対象であるか、カソードルミネッセンスや高次線の複合ピークであるかの情報を提供する。
【解決手段】試料に対して電子線を照射する電子線照射部10と、電子線が照射された前記試料から放出される特性X線を受けて回折X線を生じさせる回折格子50と、前記回折格子で生じた回折X線を検出するイメージセンサ60と、前記回折X線のイメージのエネルギー分散方向を測定長手方向として前記イメージセンサに隣接して配置され、エネルギー設定範囲において前記回折X線を検出するシンチレーションカウンタ70と、前記イメージセンサで検出された前記回折X線のスペクトルを分析すると共に、前記シンチレーションカウンタの検出結果を参照し、前記スペクトルのピークの内容を分析する分析部80とを備える。 (もっと読む)


【課題】分析すべき液体を収容する容器が設けられる容器ホルダが周縁部に設けられ、回転することにより前記容器ホルダを所定の位置に移動させる回転テーブルに関し、回転テーブルが停止しても、液面が波打たない回転テーブルを提供することを課題とする。
【解決手段】容器ホルダ15は、回転テーブル11に対して、回転テーブル11の回転方向の接線と平行な軸を中心に回転可能に設けられ、回転テーブル11が回転しない状態の位置方向に容器ホルダ15を付勢する付勢手段を設ける。 (もっと読む)


【課題】電子線を照射した試料からの特性X線を回折させてスペクトルを採取するX線検出システムにおいて、適切な集光を行うX線集光ミラーを備えることでエネルギー分布スペクトルの検出精度を維持する。
【解決手段】試料に対して電子線を照射する電子線照射部と、電子線が照射された前記試料から放出される特性X線を集光させて回折格子に導くX線集光ミラーと、前記X線集光ミラーの位置もしくは角度を調整するX線集光ミラー調整部と、前記X線集光ミラーにより集光された特性X線を受けて回折X線を生じさせる回折格子と、前記回折格子で生じた回折X線を検出するイメージセンサと、を備え、前記X線集光ミラー調整部は、前記X線集光ミラーの反射面において反射する前記特性X線のエネルギーに応じて反射可能な角度範囲で、前記X線集光ミラーの位置もしくは角度を調整する。 (もっと読む)


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