【課題】 試料片を保持している試料支持体からの反射電子や散乱電子が試料片に当たり難くする試料保持方法を提供する。
【解決手段】 試料素材１に集束イオンビーム２を照射して試料片４を切り出す工程と、切り出された試料片４をマニピュレータの先端部に取付けられたプローブ５の先端部に付着させ、ピックアップする工程と、試料素材１に換えて電子顕微鏡用試料ホルダーにセットされる試料支持部材７を集束イオンビーム装置の試料載置台にセットする工程と、プローブ５の先端部に付着された試料片４が試料支持部材７から離れた空間部に位置して、プローブ５の一部が試料支持部材７に接触する様にプローブ５を移動させる工程と、その接触部でプローブ５の一部を試料支持部材７に付着させる工程と、及び、その接触部よりプローブ５の根元側の部分を切断する工程から成る。 （もっと読む）

【課題】少なくとも三段の多極子に対する荷電粒子線の軸合わせ方法、及び当該軸合わせが可能な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】少なくとも３つの非点場を発生し、隣接する前記非点場の軸ずれによる同次数且つ同種の非点収差が相殺されるように、各前記荷電粒子線の軌道および各前記非点場の分布のうちの少なくとも１つの群内のそれぞれを、前記光軸に垂直な方向に沿って同時に平行移動する。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビーム描画装置の自動調整方法及び荷電粒子ビーム描画装置に関し、寸法の制限された図形８の電流密度均一性を最良化し、線幅線形性を向上させることができる手段を提供することを目的としている。
【解決手段】第１の成形開口板３の前段に、第１の成形開口板を照射する荷電粒子ビームの同開口板の開口位置に対する位置を調節するためのビームアライメント手段２９を備え、第２の成形開口板７の開口を通過する荷電粒子ビームの、同開口板の高さ位置における電流密度分布を測定する手段と、該測定手段により得られた電流密度分布からその直線成分を抽出する手段とを備え、該測定手段及び抽出手段により得られた傾斜成分が除去されるように、前記ビームアライメント手段２９により第１の成形開口板３の照射位置を調節するように構成する。 （もっと読む）

【課題】イオンの利用効率を高めたタンデム型飛行時間型質量分析計を提供する。
【解決手段】イオン蓄積手段２より吐き出されたイオン群をパルス的に加速する垂直加速部および加速されたイオンを分離する第1飛行時間型イオン光学系３と、所定のプリカーサイオンのみを選択的に通過させるイオンゲート４とイオンゲートを開閉する制御手段、プリカーサイオンの開裂手段および生成したプロダクトイオンを質量分析する第２飛行時間型イオン光学系６を備え、イオン蓄積手段より吐き出されたプリカーサイオンが第1飛行時間イオン光学系への通過率が最良となる位置に到達する到達時間に合わせて、プリカーサイオンをパルス的に加速する様にした。 （もっと読む）

【課題】本発明はＸ線分析方法及び装置に関し、ステージ走査でも良好なドリフト補正を行うことができるＸ線分析方法及び装置を提供する。
【解決手段】試料上の面分析領域の内部を複数のブロックに分けて、ブロック内での各ラインのステージ走査に基づく特性Ｘ線の測定が第１ブロックから各ブロック毎に順次行うようにされており、各ブロックにおいて最初に走査が行われるラインについてのステージ走査の開始前に、試料の電子線走査画像を取得し、第２ブロック以降における特性Ｘ線の測定開始時においては、当該ブロックにおいて取得された電子線走査画像と、その直前のブロックにおいて取得された電子線走査画像との照合を行って、ステージのドリフト量を求め、該ドリフト量に基づいて電子線のビームシフトを行うことにより、試料上での電子線の照射位置を補正してから当該ブロック内での特性Ｘ線測定を開始するように構成する。 （もっと読む）

【課題】装置条件を変更した場合でも、常に最適なイオンゲートの時間設定が可能なタンデム型飛行時間型質量分析法および装置を提供する。
【解決手段】所望のプリカーサイオンをイオンゲートで選択し、開裂させてプロダクトイオンを生成させて測定する際に、予め質量電荷比の異なる複数の基準物質を用いて、該基準物質の質量電荷比に対する遅延引き出し条件、およびイオンゲートのオープン時間の最適値を測定して記憶させたテーブルを用意しておき、所望のプリカーサイオンの質量電荷比について質量分解能が最適となるような遅延引き出し条件およびイオンゲートのオープン時間を前記テーブルの記憶値に基づいて求め、求めた前記遅延引き出し条件と前記イオンゲートのオープン時間の最適値をタンデム型飛行時間型質量分析装置に設定するようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明は送受信切替器における前置増幅器保護回路に関し、前置増幅器を保護することを目的としている。
【解決手段】送信波を入力して電力増幅させ、アンテナ５に供給して送信すると共に、アンテナ５からの信号を受信して前置増幅器７に与えるように構成され、送信と受信を切り替えることができるように構成された送受信切替器において、送信波を電力増幅してアンテナ５に供給する電力増幅器１と、該電力増幅器１の出力側に設けられた送信波を検出するためのカプラ１０と、該カプラ１０の出力を受けて、元の切り替え信号とのＯＲをとり、切り替え信号として送受信切替器に与えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は荷電粒子ビーム描画装置の描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置に関し、元のパターンデータに忠実に精度よくパターンを描画することができるようにすることを目的としている。
【解決手段】材料面上に塗布されたレジストに可変成形された荷電粒子ビームを順次ショットする荷電粒子ビーム描画装置の描画方法において、個別のショットについて、前方散乱の影響による隣接するショットとの間の距離に応じた辺の補正量の関係を表すテーブルを有し、該テーブルから各ショットの隣接ショットに面する辺を平行移動させた補正ショットデータを求め、かつ該補正ショットデータに基づいて後方散乱の影響による近接効果の補正値を算出し、前記補正ショットデータと該補正値に基づいてショットを行なうように構成する。 （もっと読む）

【課題】電子線を照射した試料からの特性Ｘ線を回折させてスペクトルを採取するシステムにおいて、採取スペクトルの各ピークが、測定対象であるか、カソードルミネッセンスや高次線の複合ピークであるかの情報を提供する。
【解決手段】試料に対して電子線を照射する電子線照射部１０と、電子線が照射された前記試料から放出される特性Ｘ線を受けて回折Ｘ線を生じさせる回折格子５０と、前記回折格子で生じた回折Ｘ線を検出するイメージセンサ６０と、前記回折Ｘ線のイメージのエネルギー分散方向を測定長手方向として前記イメージセンサに隣接して配置され、エネルギー設定範囲において前記回折Ｘ線を検出するシンチレーションカウンタ７０と、前記イメージセンサで検出された前記回折Ｘ線のスペクトルを分析すると共に、前記シンチレーションカウンタの検出結果を参照し、前記スペクトルのピークの内容を分析する分析部８０とを備える。 （もっと読む）

【課題】分析すべき液体を収容する容器が設けられる容器ホルダが周縁部に設けられ、回転することにより前記容器ホルダを所定の位置に移動させる回転テーブルに関し、回転テーブルが停止しても、液面が波打たない回転テーブルを提供することを課題とする。
【解決手段】容器ホルダ１５は、回転テーブル１１に対して、回転テーブル１１の回転方向の接線と平行な軸を中心に回転可能に設けられ、回転テーブル１１が回転しない状態の位置方向に容器ホルダ１５を付勢する付勢手段を設ける。 （もっと読む）