説明

日本電子株式会社により出願された特許

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【課題】電子線を照射した試料からの特性X線を回折させてスペクトルを採取するシステムにおいて、採取スペクトルの各ピークが、測定対象であるか、カソードルミネッセンスや高次線の複合ピークであるかの情報を提供する。
【解決手段】試料に対して電子線を照射する電子線照射部10と、電子線が照射された前記試料から放出される特性X線を受けて回折X線を生じさせる回折格子50と、前記回折格子で生じた回折X線を検出するイメージセンサ60と、前記回折X線のイメージのエネルギー分散方向を測定長手方向として前記イメージセンサに隣接して配置され、エネルギー設定範囲において前記回折X線を検出するシンチレーションカウンタ70と、前記イメージセンサで検出された前記回折X線のスペクトルを分析すると共に、前記シンチレーションカウンタの検出結果を参照し、前記スペクトルのピークの内容を分析する分析部80とを備える。 (もっと読む)


【課題】分析すべき液体を収容する容器が設けられる容器ホルダが周縁部に設けられ、回転することにより前記容器ホルダを所定の位置に移動させる回転テーブルに関し、回転テーブルが停止しても、液面が波打たない回転テーブルを提供することを課題とする。
【解決手段】容器ホルダ15は、回転テーブル11に対して、回転テーブル11の回転方向の接線と平行な軸を中心に回転可能に設けられ、回転テーブル11が回転しない状態の位置方向に容器ホルダ15を付勢する付勢手段を設ける。 (もっと読む)


【課題】小型で、短時間で対物レンズの用途切替ができる走査電子顕微鏡及び走査電子顕微鏡の対物レンズの用途切替方法を提供することを課題とする。
【解決手段】対物レンズ59の外側磁極片101に、第1ねじ部123を設けし、内壁面に第1ねじ部123と螺合可能な第2ねじ部139が設け、外壁面に、第2ねじ部139と同軸で、ねじ切り方向が逆方向の第3ねじ部141が形成され、外側磁極片101に着脱可能な補助外側磁極片133と、補助外側磁極片133の第3ねじ部141と螺合可能な第4ねじ部117を有し、第4ねじ部117の軸が試料ステージの回転中心と一致するように試料ステージ上に設けられ、補助外側磁極片133が着脱可能な着脱ホルダ111とを有する。 (もっと読む)


【課題】 金属内包フラーレンやカーボンナノチューブを確実に生成することができ、しかも、ナノカーボン生成時の収率を飛躍的に向上させうるナノカーボン製造粉末の提供を目的とする。
【解決手段】 プラズマによりナノカーボンを製造するためのナノカーボン製造用粉末であって、炭素と、金属及び/又は金属化合物とを含み、且つ、レーザー回折散乱式粒子径測定法で測定した体積基準の粒度分布において、モード径が10μm以下であることを特徴とする。特に、レーザー回折散乱式粒子径測定法で測定した体積基準の粒度分布において、メディアン径が10μm以下であることが望ましい。 (もっと読む)


【課題】測定の目的となる力とは異なる力が測定に与える影響を低減できる走査型プローブ顕微鏡
【解決手段】走査型プローブ顕微鏡100は、カンチレバー103を振動させる励振手段104と、探針103aと試料101との間に働く力を変調させる力変調手段107と、カンチレバー103の変位を検出する変位検出手段111と、変位検出手段111の検出結果に基づいて探針103aと試料101との間に働く力を検出し、試料101の測定対象領域における試料像を生成する試料像生成手段10と、を含み、力変調手段107は、所与の角周波数で探針103aと試料101との間に働く力を変調させて、カンチレバー103にパラメーター共振による振動を生じさせる。 (もっと読む)


【課題】本発明は可変成形形電子ビーム描画装置に関して、第1の成形開口板3(又は絞り)上の電流密度分布を均一にするために、球面収差係数を減少させる手法とは異なる方法により球面収差起因の電流密度むらを解消することを目的としている。
【解決手段】
荷電粒子源、照明レンズ群、絞り、投影レンズ群、及び材料面の順にこれらが配置され、前記荷電粒子源から出射される荷電粒子ビームが前記照明レンズ群を介 して前記絞り上に照射され、更に投影レンズにより前記絞りの像が材料面上に結像される状態で絞りを通過したビームが材料上に照射される荷電粒子ビーム装置 において、前記照明レンズ群は、前記荷電粒子源の像が前記絞り上に結像しないように配置され、かつ前記照明レンズ群のうちの一つのレンズが、前記絞りの位置と光学的に共役関係にある位置に配置されて構成される。 (もっと読む)


【課題】距離に依存せずに高い精度で位置制御が可能な位置制御装置を提供する。
【解決手段】位置制御装置100は、第1情報を取得し、前記第1情報から特定される基準位置Bとステージ1との間の距離と所望の距離との差が、所与の範囲に含まれるか否かを判定し、前記所与の範囲に含まれない場合には、前記差が前記所与の範囲に含まれるようにステージ1の位置を制御する第1位置制御処理を行う第1制御手段31と、前記差が前記所与の範囲に含まれる場合には、前記第2情報を取得し、前記第2情報から特定される基準位置1とステージBとの間の距離に基づいて、基準位置Bとステージ1との間の距離が前記所望の距離となるようにステージ1の位置を制御する第2位置制御処理を行う第2制御手段32と、を含む。 (もっと読む)


【課題】本発明は電子顕微鏡の引っ張り・圧縮ホルダ機構に関し、像観察中に引っ張り方向が変わらず、引っ張り力を精度よく検出することができる電子顕微鏡の引っ張り・圧縮ホルダ機構を提供することを目的としている。
【解決手段】粗動機構5と微動機構5cを備えた引っ張り・圧縮試料ホルダにおいて、引っ張り軸と引っ張り作用点、又は圧縮軸と圧縮作用点を同軸上に存在させ、複数のアクチュエータ5の作用点が一点になるように構成する。 (もっと読む)


【課題】電子線を照射した試料からの特性X線を回折格子により回折させてイメージセンサでスペクトルを採取するシステムにおいて、回折格子やイメージセンサに入射するX線の比率を大きくする。
【解決手段】試料20に対して電子線を照射する電子線照射部10と、電子線が照射された前記試料20から放出される特性X線を集光させて回折格子50に導くX線集光ミラー34と、前記X線集光ミラー34により集光された特性X線を受けて回折X線を生じさせる回折格子50と、前記回折格子50で生じた回折X線を検出するイメージセンサ70と、を有し、前記X線集光ミラー34の位置もしくは角度を調整するX線集光ミラー調整部32を有する、ことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】電子線を照射した試料からの特性X線を回折格子により回折させてイメージセンサでスペクトルを採取するシステムにおいて、幅広いエネルギー領域の測定を行う。
【解決手段】試料に対して電子線を照射する電子線照射部と、電子線が照射された前記試料から放出される特性X線を受けて回折X線を生じさせる回折格子と、前記回折X線のエネルギー分散方向と直交方向の複数の位置に前記回折X線の結像面を振り分けるように前記回折X線の進行を振り分けるスプリッタと、前記スプリッタにより振り分けられた複数の結像面のそれぞれに配置された異なるエネルギー感度特性の複数のイメージセンサと、を有する。 (もっと読む)


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