【課題】超純水などの高純度な試料水を基板に接触させる際に、試料水以外に起因する不純物の付着を抑制することで、試料水中に含まれる不純物による基板への影響を正確に評価することができる水質評価装置および水質評価方法を提供する。
【解決手段】基板２を試料水に浸漬させて試料水中の不純物を基板２上に採取することによって試料水の水質を評価する水質評価装置１は、基板２を収容するとともに試料水を貯留する密閉空間３が内部に形成された持ち運び可能な採取容器１０を有し、採取容器１０が、基板出入口１１を備えた容器本体１２と、基板出入口１１を閉鎖して、容器本体１２と共に密閉空間３を形成する蓋部材１３と、開放時に密閉空間３と外部とを連通し、閉鎖時に密閉空間３と外部との連通を遮断して、密閉空間３の密閉状態を保持する開閉手段３１，４１を備え、密閉空間３に試料水と清浄空気とを流通させる流体流通手段２０と、を有している。 （もっと読む）

【課題】水処理システムのエネルギー効率を高め、安定した温度制御を行う。
【解決手段】水処理システムは、複数の装置１，２，３，４と、互いに隣接する複数の装置同士を接続する複数の配管区間１１，１２と、少なくとも１つの配管区間１１を吸熱配管区間として吸熱配管区間から吸熱し、吸熱配管区間１１から吸熱した熱を、少なくとも１つの他の配管区間１２を排熱配管区間として、排熱配管区間に排熱するヒートポンプ２１と、を有している。 （もっと読む）

【課題】金属成分が溶出しない、超純水製造装置用のステンレス及び超純水製造装置を提供する。
【解決手段】ステンレスを超純水製造装置用の構成部材の構造に成形する工程と、バフ研磨及び電解研磨を行うことなく、硝酸、フッ酸、塩酸、及び硫酸からなる群から選択された少なくとも一種の酸を含む酸溶液を用いてステンレスを洗浄する工程と、により製造した超純水製造装置用のステンレスを使用した超純水製造装置。 （もっと読む）