【課題】超純水などの高純度な試料水を基板に接触させる際に、試料水以外に起因する不純物の付着を抑制することで、試料水中に含まれる不純物による基板への影響を正確に評価することができる水質評価装置および水質評価方法を提供する。
【解決手段】基板２を試料水に浸漬させて試料水中の不純物を基板２上に採取することによって試料水の水質を評価する水質評価装置１は、基板２を収容するとともに試料水を貯留する密閉空間３が内部に形成された持ち運び可能な採取容器１０を有し、採取容器１０が、基板出入口１１を備えた容器本体１２と、基板出入口１１を閉鎖して、容器本体１２と共に密閉空間３を形成する蓋部材１３と、開放時に密閉空間３と外部とを連通し、閉鎖時に密閉空間３と外部との連通を遮断して、密閉空間３の密閉状態を保持する開閉手段３１，４１を備え、密閉空間３に試料水と清浄空気とを流通させる流体流通手段２０と、を有している。 （もっと読む）

【課題】過塩素酸イオン含有水の通水処理において、微生物による過塩素酸イオンの還元速度を向上することができる過塩素酸イオン含有水の処理方法を提供する。
【解決手段】過塩素酸イオン含有水をモリブデン化合物存在下で通水して、嫌気性条件にて過塩素酸イオン還元微生物による過塩素酸イオンの還元処理を行う嫌気性生物処理工程を含む過塩素酸イオン含有水の処理方法である。 （もっと読む）

【課題】過塩素酸イオン含有水の処理において、過塩素酸イオンの処理を効率的に行うことができる過塩素酸イオン含有水の処理装置を提供する。
【解決手段】過塩素酸イオン含有水について、嫌気性条件にて過塩素酸イオン還元微生物による過塩素酸イオンの還元処理を行うための嫌気性生物処理手段と、嫌気性生物処理手段により生物処理された嫌気性生物処理水について、アニオン交換樹脂による過塩素酸イオンの吸着処理を行うための吸着処理手段と、を有する過塩素酸イオン含有水の処理装置である。 （もっと読む）

【課題】簡便な分離膜汚染評価方法の提供。
【解決手段】被処理水を処理する分離膜モジュール２の分離膜から流出する濃縮水から分岐させた分流Ｂに評価用の通水カラム３を取り付け、微生物が付着および繁殖可能で分離膜モジュール２の分離膜と同質の基材を評価用の通水カラム３の内部に通水の流れに沿って配置し、微生物が付着した基材をＡＴＰ抽出溶液に浸漬させて前記微生物由来のＡＴＰを抽出し、このＡＴＰ量に基づいて分離膜モジュール２の分離膜の汚染状況を評価する。 （もっと読む）

【課題】スケールの発生を抑制しつつ、高純度の脱イオン水を製造可能とする。
【解決手段】脱塩室Ｄと、脱塩室Ｄの両隣に設けられるとともに、アニオン交換体が充填された一対の濃縮室Ｃ１、Ｃ２とから構成される脱塩処理部が陰極室Ｅ１と陽極室Ｅ２との間に少なくとも１つ設けられた電気式脱イオン水製造装置であって、脱塩室Ｄは、イオン交換膜によって、濃縮室Ｃ１の一方に隣接する第１小脱塩室Ｄ-１と、濃縮室Ｃ２に隣接する第２小脱塩室Ｄ-２とに仕切られ、第１小脱塩室Ｄ-１には、アニオン交換体が充填され、第２小脱塩室Ｄ-２には、被処理水が最後に通過するイオン交換体がアニオン交換体となる順序で、アニオン交換体とカチオン交換体とが充填されている。 （もっと読む）

【課題】水処理システムのエネルギー効率を高め、安定した温度制御を行う。
【解決手段】水処理システムは、複数の装置１，２，３，４と、互いに隣接する複数の装置同士を接続する複数の配管区間１１，１２と、少なくとも１つの配管区間１１を吸熱配管区間として吸熱配管区間から吸熱し、吸熱配管区間１１から吸熱した熱を、少なくとも１つの他の配管区間１２を排熱配管区間として、排熱配管区間に排熱するヒートポンプ２１と、を有している。 （もっと読む）

【課題】純水の濾過時間を短縮することで、純水中の微粒子数測定に要する時間を短縮することができる濾過装置を提供する。
【解決手段】純水中の微粒子数を測定するのに用いる濾過装置１は、濾過膜１１を含む濾過手段１０と、濾過手段１０に純水を供給する純水供給手段２０と、濾過手段１０に供給される純水を濾過膜１１を介して吸引する純水吸引手段３０と、濾過手段１０に供給され、濾過膜１１を通過する純水を加熱する加熱手段７０と、を有している。 （もっと読む）

【課題】循環型の純水製造装置を用いて純水を製造する場合に、ＴＯＣ（全有機炭素）濃度が極めて低い純水を得る場合においても有機物分解効率を向上させ、装置の小型化と高速処理を可能にし、ランニングコストを抑える。
【解決手段】ＴＯＣが１０ｐｐｂ以下である被処理水に対して紫外線を照射する照射工程と、照射工程ののち被処理水中に含まれる過酸化水素を除去する工程と、を少なくとも備えて純水を生成し、ユースポイントにおける使用量を超過した分の純水が被処理水の少なくとも一部として照射工程に循環される純水製造方法において、照射工程の前段に、被処理水に対して過酸化水素を添加する工程を設ける。 （もっと読む）

【課題】粉末活性炭のみ用いた水処理装置より処理性能が優れた水処理装置を提供する。
【解決手段】本発明は、被処理水の不用物を固液分離する水処理装置であって、前記被処理水と粉末イオン交換樹脂と粉末活性炭とを混合させる混合手段と、前記粉末イオン交換樹脂及び前記粉末活性炭を含む被処理水の固液分離を行う固液分離手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】金属成分が溶出しない、超純水製造装置用のステンレス及び超純水製造装置を提供する。
【解決手段】ステンレスを超純水製造装置用の構成部材の構造に成形する工程と、バフ研磨及び電解研磨を行うことなく、硝酸、フッ酸、塩酸、及び硫酸からなる群から選択された少なくとも一種の酸を含む酸溶液を用いてステンレスを洗浄する工程と、により製造した超純水製造装置用のステンレスを使用した超純水製造装置。 （もっと読む）