【課題】コア・シェル構造のクラスターを高速で効率良く製造するクラスター製造装置および製造方法を提供する。
【解決手段】クラスター製造装置は、一列に並べられかつ同一方向に向けられたアブレーション面31〜33をそれぞれ有する複数のターゲット材料21〜23と、該アブレーション面31〜33に一定の繰り返し周波数のレーザ51〜53を同時に照射するレーザ手段と、該アブレーション面31〜33にそってこれと平行にキャリヤガス15を流すガス手段とを備えている。該キャリアガス15の流れ方向に隣り合うターゲット材料21、22において、上流側ターゲット材料21にレーザ51が照射されプルームP1が発生し、キャリヤガス15によって、下流側ターゲット材料22上まで搬送される間に、プルームP1中にコアが形成され、その周囲に下流側のターゲット22で生成したプルームP2によるシェルが形成される。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で大面積の積層基板を高速で高精度に検査できる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板Ｋ０上にモリブデン層Ｋ１が形成されると共にモリブデン層Ｋ１上に薄膜Ｋ２，Ｋ３が形成された基板Ｋの、薄膜Ｋ２，Ｋ３側から形成されたパターニングを検査する検査装置１であって、移送中の基板Ｋのガラス基板Ｋ０側に光を照射する下部照明１０と、移送中の基板Ｋの薄膜Ｋ２，Ｋ３側に光を照射する上部照明２０とを設けると共に、基板Ｋを透過する下部照明１０の光軸Ｐ上で且つ基板Ｋで乱反射する上部照明２０の光軸Ｄ上に配置された第１ラインセンサカメラ１１と、基板Ｋで正反射する上部照明２０の光軸Ｓ上に配置された第２ラインセンサカメラ２１とを設け、ラインセンサカメラ１１，２１で検知した光の状態に基づいてパターニングの良否を判断する突き抜け検査用パソコン１２及び擦れ検査用パソコン２２を具備する。 （もっと読む）

【課題】転写性に優れ、且つ、従来よりも均一な厚みのカーボンナノチューブ層を転写可能な略垂直配向カーボンナノチューブ付き基材を提供する。
【解決手段】カーボンナノチューブが略垂直に配向した基材であって、前記カーボンナノチューブの長手方向に対して中央よりも前記基材側に、当該基材に略平行な面におけるカーボンナノチューブの本数密度が他の部分よりも小さく、且つ／又は、カーボンナノチューブの直径が他の部分よりも小さい部分を有することを特徴とする、略垂直配向カーボンナノチューブ付き基材。 （もっと読む）

【課題】高速蒸着と、坩堝内の材料に照射された後の反射電子や軌道をそれた電子による成膜部へのダメージを抑制する。
【解決手段】加速した電子を照射し加熱して蒸発させた材料５を、形成した磁場により電子を遮蔽しつつ基板フィルム２の表面に付着させて薄膜を形成する電子ビーム蒸着装置である。前記磁場を、複数の磁石１０によって基板フィルム面に沿って形成させると共に、基板フィルム２を複数に配置した磁石１０の一方側から他方側に向けた移動が可能なように構成する。
【効果】成膜範囲を広くした場合にも各々の磁石の磁場強度を低減でき、磁石と電子ビーム源間の距離を短くできるので、高速蒸着と、坩堝内の材料に照射された後の反射電子や、軌道をそれた電子による成膜部へのダメージ抑制を共に達成することができる。 （もっと読む）

【課題】蒸発量に見合った材料を連続的に供給する。
【解決手段】加速した電子を照射し、加熱して蒸発させた坩堝６内の材料７を基板フィルム２の表面に付着させて薄膜を連続的に形成する際の前記材料７の連続的な供給制御を、坩堝６内の材料７の蒸発速度が一定になるように制御されているエミッション電流値を検出することで行う電子ビーム蒸着用材料供給装置である。前記坩堝６として、内面を底部から開口端にかけて逆末広がりのテーパ状に形成したものを使用する。
【効果】材料供給装置からの材料の供給量が自動的に制御され、蒸発量に見合った材料を供給できるので、長時間の運転が可能になる。 （もっと読む）

【課題】製造コストを上昇させることなく電池性能の向上を図り得る全固体リチウム二次電池用正極の製造方法およびこれを用いた全固体リチウム二次電池を提供する。
【解決手段】ＬｉＮｉ_０．８Ｃｏ_０．１５Ａｌ_０．０５Ｏ_２と、このＬｉＮｉ_０．８Ｃｏ_０．１５Ａｌ_０．０５Ｏ_２の重量に対して２重量％以下のＬｉ_４Ｔｉ_５Ｏ_１２とを乾式混合して乾式混合物とし、この乾式混合物を酸素気流中で７５０℃にて２０時間焼成することで、上記リチウムおよびチタンを含む酸化物のうち、少なくともチタンをＬｉＮｉ_０．８Ｃｏ_０．１５Ａｌ_０．０５Ｏ_２に固溶させて、全固体リチウム二次電池用正極２を製造する。また、全固体リチウム二次電池は、この全固体リチウム二次電池用正極２と、無機固体電解質３としてのＬｉ_２Ｓ−Ｐ_２Ｓ_５とを備える。 （もっと読む）

【課題】長期間に亘って正常な動作を行える水晶振動式膜厚センサ装置を提供する。
【解決手段】加速した電子を照射し加熱して蒸発させた材料７を、形成した磁場により電子を遮蔽しつつ基板フィルム２の表面に付着させて薄膜を形成する際に薄膜の膜厚を求める水晶振動式膜厚センサ装置１０である。膜厚センサ１１と材料７間に、スリットを有する回転体１２を配置する。スリットの長手方向に対して交差する方向に磁場を発生させる磁石を設ける。
【効果】水晶振動子の振動に悪影響を与える電子の膜厚センサへの入射を効果的に遮蔽することができるので、長期間に亘って正常な動作が行えるようになる。 （もっと読む）

【課題】 多年生の海藻であるノコギリモクを養鶏用の機能性飼料原料として用いた養鶏用飼料であって、ノコギリモクの一年生部位を用いることにより、海藻粉末の製造に多くの工程が必要でなく、低コストで海藻粉末を得ることができる。養鶏用機能性飼料原料の製造コストが安くつき、さらに鶏卵の卵黄色の濃化に寄与することができる養鶏用飼料を提供する。
【解決手段】 養鶏用飼料は、多年生の海藻であるノコギリモクの一年生部位を粉砕および水分除去して、水分２０重量％以下としたノコギリモクの乾燥粉末を、０．５〜５重量％の割合で、養鶏用基本飼料に配合する。ノコギリモクの乾燥粉末は、多年生の海藻であるノコギリモクの一年生部位を採集し、天日干しした後、衝撃式粉砕・乾燥方法を用いて粉砕および水分除去することにより得られるものである。 （もっと読む）

【課題】流入初期に越流せず、水位低下時にも倒伏がし難くならず、かつ急激に倒伏しないようにする。
【解決手段】浮体式フラップゲート１１である。ワイヤロープ１４の一端を扉体１２の先端部に、他端は固定及び移動兼用滑車１５、固定滑車１６、吊り下げ滑車１８を介してドラム１９に取り付ける。常時は、扉体１２の傾斜角が例えば４５度の時にカウンタウエイト１７が最下点となる位置に固定及び移動兼用滑車１５が位置し、カウンタウエイト１７の昇降で扉体１２の起立補助、起立完了時の衝撃吸収、倒伏時の水位追従を行う。人為的な起伏操作時は、カウンタウエイト１７の降下を阻止して回転機構２１でドラム１９を正逆回転し、固定及び移動兼用滑車１５を固定滑車１６に対して接離移動させて扉体１２を起伏する。
【効果】流入初期には越流を、倒伏完了前には急激な倒伏を防止できる。また、起立完了時の衝撃を緩和でき、倒伏初期の水位ヘの追従性が良くなる。 （もっと読む）