【目的】ウエーハボートを搭載したフオークがボート上のウエーハの重量が変わると姿勢が水平より変化するため、プロセスチューブへ出し入れする際にウエーハがチューブ管壁に接触して割れることを防止する。
【構成】フオークをプロセスチューブへ入れる前に、ボート上のウエーハの重量により変化したフオークの先端の位置を位置センサで検知して水平に戻す。あるいは、ボート上に保持するウエーハの重量とボートを搭載しないときのフオークのチルト量の相関を基に、同時に熱処理するウエーハの重量に応じてチルト量を調整して搭載時にフオーク姿勢が水平になるようにする。 （もっと読む）

【目的】 相互干渉をなくすとともに、有限整定時間を短縮し、操作量の低減を図る。
【構成】 多入力多出力の制御対象４をデッドビート制御する場合に、出力フィードバック量を目標値または設定値と比較し、その偏差量を内部モデル２の状態量と加算した量を非干渉を意図したゲイン調節器３に入力量として与え、この出力量を非干渉を意図した状態レギュレータのフィードバック量（フィードバックゲイン要素６の出力）と比較して操作量とすることにより、主として非干渉化を図る。 （もっと読む）

【目的】ヒューズの溶断表示棒が突出するのをリンク機構を介さずに表示させる。
【構成】溶断表示棒の突出によって押圧されるアクチュエータにより光リミットスイッチを動作させ、この光リミットスイッチの発する光信号を光ファイバを介して変換器に伝送し、この変換器で光信号を電気信号に変換する。 （もっと読む）