【課題】被研磨物の端部形状を改善し安定した研磨加工を行うことができる枠材を提供する。
【解決手段】保持具１０は、テンプレート５とポリウレタンシート２とを備えている。テンプレート５は、複数に分割された分割枠材５１が一方の側面で貫通穴６の内周面を形成するように連結されている。分割枠材５１の両端部にそれぞれ凹部５ａが形成され、分割枠材５１間の連結部Ｓの内周側に凹部５ｂが形成されている。連結部材７ａが隣り合う分割枠材５１の凹部５ａの両方に嵌合され、突起ｔがテンプレート５の内側へ向けて突出する軟質部材７ｂが隣り合う分割枠材の凹部５ｂの両方に嵌合されている。連結部材７ａで複数の分割枠材５１が連結され、軟質部材７ｂの突起ｔにより被研磨物と分割枠材５１とが直接接触することが抑制される。 （もっと読む）

【課題】研磨速度を向上させ被研磨物の平坦性向上を図ることができる研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッド１０は、軟質樹脂のポリウレタン樹脂と、ポリウレタン樹脂が可溶な溶媒に対して可溶性を有しポリウレタン樹脂より硬質のポリサルホン樹脂とで湿式凝固法により一体形成された樹脂シート２を備えている。樹脂シート２は、スキン層２ａと、セル４が形成された発泡樹脂部２ｂと、発泡樹脂部２ｂに分散形成された球状部３と、を有している。スキン層２ａの表面が研磨面Ｐを形成している。セル４の間の発泡樹脂部２ｂには、セル４より小さい多数の微細孔が形成されている。球状部３は、発泡樹脂部２ｂに形成された微細孔より緻密でセル４より小さく形成されている。球状部３が発泡樹脂部２ｂと比べて高密度となる。 （もっと読む）

【課題】研磨レートを改善し被研磨物の平坦性を向上させることができる研磨パッドおよび研磨パッドの製造方法を提供する。
【解決手段】研磨パッド１０では、湿式成膜法で内部に厚さ方向に縦長の発泡３および発泡５が連続状に形成された発泡体２を備えている。発泡体２は、研磨面Ｐに、発泡３が開口することで開口径が３０μｍ以下の開口４が形成された領域２ａと、発泡５が開口することで開口径が５０μｍ以上の開口６が形成された領域２ｂとを有している。研磨面Ｐに領域２ａおよび領域２ｂがストライプ状のパターンを形成するように配されている。研磨加工時に、領域２ａで被研磨物が確実に研磨加工され、領域２ｂでスラリの流出入が促進される。 （もっと読む）

【課題】被収容物に凹陥を発生させることなく容器に収容することができる収容方法を提供する。
【解決手段】１枚のポリウレタンシートと２枚の両面テープとが貼り合わされた保持パッド３０を収容するための容器１０は、隔壁２ａ、２ｂが、外壁１と対向するように配置されている。外壁１の間に掛け渡されたフィルム３は、外壁１と隔壁２ａとの間、隔壁２ａと隔壁２ｂとの間で弛み部分４を有している。容器１０に保持パッド３０を収容するときは、捲回部形成工程で、保持パッド３０の両外側部から連接箇所１５に向けてそれぞれ捲回して捲回部２０ａ、２０ｂを形成する。位置あわせ工程で、隔壁２ａの上端部に連接箇所１５を位置付ける。収容工程で、連接箇所１５を位置付けた隔壁２ａを挟んで両側に位置する弛み部分４に捲回部２０ａ、２０ｂをそれぞれ載置する。捲回部２０ａ、２０ｂがそれぞれ下側の外周に沿ってフィルム３で支持される。 （もっと読む）

【課題】被研磨物の平坦性の均一性を向上させることができる研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッド１０は、湿式凝固法により同じ極性溶媒に対して可溶性を有する２種の樹脂で一体形成された樹脂シート２を備えている。樹脂シート２は、研磨面Ｐを有し多数のセル４が形成された研磨部２ａと、複数のセル５が形成されたクッション部２ｂと、セル４およびセル５が非形成でセル６が形成された中間部２ｃと、が厚み方向に重畳するように形成されている。セル４は、樹脂シート２の厚み方向に長さを有している。セル５は、厚み方向と交差する方向に広がりを有しセル４の平均容積より大きい平均容積に形成されている。セル６は、セル４の平均容積およびセル５の平均容積より小さい平均容積を有している。クッション部２ｂでクッション性が確保され研磨部２ａで砥粒が押し付けられる。 （もっと読む）

【課題】積層または捲回してもシート材に対する凹陥の発生を抑制することができる保持材を提供する。
【解決手段】連接パッド２０では、厚さが同じ２枚の保持シート３０の端部同士を隣接させた直線状の連接箇所１５で連接し形成されている。連接パッド２０では、連接する２枚の保持シート３０の一面側に配された剥離材２７が連接テープ１８でつなぎ止められている。連接パッド２０の他面側が被研磨物を保持するための保持面Ｐを形成している。連接テープ１８の厚みＴ２は、１００μｍ以下に調整されている。保持シート３０は、ポリウレタン樹脂で形成されたウレタンシート２２を有している。ウレタンシート２２の内部には、発泡２３が形成されている。厚みＴ２が制限されたことでウレタンシート２２の弾性が機能する。 （もっと読む）

【課題】被研磨物保持性を確保しつつ、研磨加工後の被研磨物を損傷させることなく取り外すことができる保持材を提供する。
【解決手段】保持材１０は、湿式凝固法により作製されたポリウレタン樹脂製のウレタンシート２を有している。ウレタンシート２は、湿式凝固法による作製時に形成されたスキン層４を有している。スキン層４の表面が保持面Ｓを形成している。ウレタンシート２の内部には、厚み方向に沿う円錐状のセル３が形成されている。ウレタンシート２では、保持面Ｓ側に熱プレス加工により複数の窪み５が形成されている。窪み５の内底部でもスキン層４が残されており、保持面Ｓ側にセル３の開孔が形成されていない。被研磨物と保持面Ｓとの密着性が制限される。 （もっと読む）

【課題】研磨レートを改善し被研磨物の平坦性精度を向上させることができる研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッド１０では、湿式成膜法で内部に厚さ方向に縦長の発泡３および発泡５が連続状に形成された発泡体２を備えている。発泡体２の研磨面Ｐの反対面側には、凹部２ａおよび凸部２ｂのパターンが形成された樹脂基材７が貼り合わされている。発泡体２は、発泡３が開口した開口４が形成された領域２ａと、発泡５が開口した開口６が形成された領域２ｂとを有している。領域２ａは樹脂基材７の凹部２ａに対応し、領域２ｂは樹脂基材７の凸部２ｂに対応している。発泡体２と樹脂基材７との合計の厚さは均一化されている。領域２ａで研磨面Ｐにおける樹脂部分の面積が確保され、領域２ｂでスラリの流出入が促進される。 （もっと読む）

【課題】被運搬物に凹陥を発生させることなく運搬することができる運搬用具を提供する。
【解決手段】運搬用具１０は、保持パッド３０を収容可能な容器１を備えている。容器１は、長手方向に沿う２つの外壁１ａを有している。容器１には、外壁１ａより小さい高さの２つの隔壁２ａと、外壁１ａと同じ高さの１つの隔壁２ｂとが、外壁１ａと対向するように配置されている。容器１では、２つの外壁１ａ間に、可撓性を有するフィルム３が掛け渡されている。フィルム３は、外壁１ａと隔壁２ａとの間、隔壁２ａと隔壁２ｂとの間で弛み部分４を有している。保持パッド３０は、１枚のポリウレタンシートに２枚の同じ厚さの両面テープが、直線状の連接箇所１５で連接している。連接箇所１５を隔壁２ａ上に位置させ、捲回部２０ａ、２０ｂがそれぞれフィルム３で支持される。 （もっと読む）

【課題】研磨面での開孔の閉塞を抑制し被研磨物の平坦性向上を図ることができる研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッド１０は、湿式凝固法により、ウレア結合によるハードセグメントの含有率ＨＳＣが７〜３５％のポリウレタンポリウレア樹脂で形成された樹脂シート２を備えている。樹脂シート２では、研磨面Ｓｐを有しており、微多孔３が網目状に連通した多孔構造を有している。研磨面Ｓｐには、微多孔３が開孔した開孔４が形成されている。樹脂シート２では、温度２０℃の水に１時間浸漬したときの吸水率が２０％以上に調整されている。樹脂シート２の硬度が高まり、研磨屑等が開孔４から微多孔３を通じて樹脂シート２の内部に分散する。 （もっと読む）