【課題】発泡形状を安定化させ被研磨物の平坦性を向上させることができる保持パッドを提供する。
【解決手段】保持パッド１０は、ウレタン樹脂で形成された発泡シート２を有している。発泡シート２は、湿式成膜法により形成された連続状の発泡構造を有している。発泡シート２には、カーボンブラックのストラクチャー９が凝集した凝集体５が含有されている。凝集体５は、分散剤のＡＢＳ樹脂で被覆されている。凝集体５は、グラインドゲージ分布図法で測定した分散状態が３．０μｍ以下に制限されている。凝集体５が湿式成膜時にさらに凝集した大きな凝集体を形成することなく、略均一に分散される。 （もっと読む）

【課題】研磨液に対する馴染みを向上させ研磨性能の安定化を図ることができる研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッド１０はウレタンシート２を備えている。ウレタンシート２は被研磨物を研磨加工するための研磨面Ｐを有している。ウレタンシート２は、乾式成型法で形成されており、イソシアネート基含有化合物、水、整泡剤、ポリアミン化合物を混合した混合液を反応硬化させたポリウレタン発泡体がスライスされ形成されている。ウレタンシート２の内部には発泡３が略均等に分散して形成されている。研磨面Ｐには発泡３の一部が開口した開孔４が形成されている。ウレタンシート２の内部では、近接して形成された発泡３が連通孔９で連通しており、研磨面Ｐ側から観察したときに８００個／ｃｍ^２以上の割合で連通孔９が形成されている。連通孔９、発泡３を通じて研磨液が移動する。 （もっと読む）

【課題】大型化しても平坦性を確保しつつ全面を保持定盤に装着することができる保持パッドを提供する。
【解決手段】保持パッド１０は、略平坦な保持面Ｐの背面側にバフ処理が施されたウレタンシート２を備えている。ウレタンシート２の保持面Ｐの背面側に粘着シート４が一面で貼り合わされている。粘着シート４では、粘着性を有するノンサポテープ４１、４２が隣接するように配さている。粘着シート４の他面に樹脂基材５が一面で貼り合わされている。樹脂基材５は一面および他面がそれぞれ連続した面である。樹脂基材５の他面に粘着シート６が貼り合わされている。粘着シート６は保持定盤に装着するための一面を有している。粘着シート６では、粘着性を有するノンサポテープ６１、６２が隣接するように配されている。保持パッド１０が樹脂基材５により全面で支持される。 （もっと読む）

【課題】編糸が綿１００％、又は綿／再生セルロース混紡糸よりなる編地であって、接触冷感性能Ｑ-ｍａｘ値が０．３Ｗ/ｃｍ²以上の肌着用編地を提供する。
【解決手段】綿１００％、又は綿／再生セルロース混紡よりなる糸をガス焼きして毛羽を除去し、糸又は糸を編成後の編地にシルケット加工を行うか、シルケット加工糸を編成した編地に再度シルケット加工を行った後、バイオ加工することによって得られる接触冷感性能がＱ-ｍａｘ０．３Ｗ/ｃｍ²以上である接触冷感に優れた編地を得る。 （もっと読む）

【課題】被研磨物の沈み込みを抑制しクッション応答性を高め被研磨物の平坦化精度を向上させることができる保持パッドを提供する。
【解決手段】保持パッド１０は、ポリウレタン樹脂製のウレタン発泡体２を備えている。ウレタン発泡体２は、湿式凝固法で一体形成されており、保持部２ａと、クッション部２ｂと、中間部２ｃとを有している。保持部２ａは被研磨物を保持するための保持面Ｐを有している。保持部２ａには、厚み方向に縦長状の多数の発泡４が略均等に分散した状態で形成されている。クッション部２ｂには、発泡４より大きい多数の発泡５が略均等に分散した状態で形成されている。中間部２ｃは、発泡４および発泡５が非形成で保持部２ａとクッション部２ｂとの間に形成されている。被研磨物の微小な凹凸に対応するようにクッション応答性が発揮され保持部２ａの剛性が高まる。 （もっと読む）

【課題】研磨機に貼着したときの接着強度を確保することができる研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッド１０は、湿式成膜法により形成され研磨面Ｐを有するウレタンシート２と、基材５とを備えている。基材５は、支持フィルム６とフィルム部材７とが貼り合わされて構成されている。支持フィルム６は、ベース６ａに形成された接着剤層６ｂを介してウレタンシート２の研磨面Ｐと反対の面側に貼り合わされている。フィルム部材７は、ベース７ａの一面側に粘着剤層７ｂ、他面側に定盤装着用の粘着剤層７ｃがそれぞれ形成されている。フィルム部材７は粘着剤層７ｂを介してベース６ａと貼り合わされている。基材５はウレタンシート２より高い熱抵抗性を有している。ウレタンシート２、基材５が貼り合わされ、研磨面Ｐ側にエンボス加工により溝４が形成されている。粘着剤層７ｃ側への熱伝導が抑制される。 （もっと読む）

【課題】クッション応答性を高め被研磨物の高精度な平坦性を確保することができる研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッド１０は、ポリウレタン樹脂製のウレタン発泡体２を備えている。ウレタン発泡体２は、湿式成膜法により一組成の樹脂で一体形成されており、研磨部２ａと、クッション部２ｂと、中間部２ｃとを有している。研磨部２ａは被研磨物を研磨加工するための研磨面Ｐを有している。研磨部２ａには多数の発泡４が略均等に分散した状態で形成されており、クッション部２ｂには発泡４より大きい多数の発泡５が略均等に分散した状態で形成されている。中間部２ｃは、発泡４および発泡５が非形成で研磨部２ａとクッション部２ｂとの間に形成されている。被研磨物の微小な凹凸に対応するようにクッション応答性が発揮される。 （もっと読む）

【課題】仕上げ加工用として長寿命化を図り、被研磨物の平坦性を向上させることができる研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッド１０は、湿式成膜法によりポリウレタン樹脂で形成されたウレタンシート２を有している。ウレタンシート２には、研磨面Ｐ側の表面に、緻密な微小気泡６が形成された表面層４が２．０μｍ以上にわたり形成されている。表面層４より厚さ方向の内側に連続して配された多孔層７では微小気泡６より大きい気泡径のセル３が厚さ方向と交差する方向に連続状に形成されている。ウレタンシート２の研磨面Ｐの反対側に両面テープ５ｂが張り合わされている。研磨加工時に表面層４の２．０μｍ以上の厚さ分で摩耗が許容される。 （もっと読む）

【課題】研磨効率を高め被研磨物の平坦性を向上させることができる研磨布を提供する。
【解決手段】研磨布２０は、シート状に形成された不織布２を有している。不織布２は、繊維が網目状に交絡されており、繊維間に空隙が形成されている。不織布２を構成する繊維は、表面が樹脂層で被覆されている。樹脂層は、湿式凝固法により形成されたポリウレタン樹脂が多価イソシアネート化合物で架橋されて形成されている。不織布２は、被研磨物を研磨加工するための研磨面Ｐを有しており、細孔３が形成されている。細孔３は、不織布２を構成する繊維の間隙より大きく均一な孔径を有している。不織布２は、細孔３が形成された状態で加熱圧縮処理が施されている。研磨加工時にスラリが細孔３および繊維の間隙を通じて移動する。 （もっと読む）

【課題】接着剤を要せず研磨機に装着でき、薄板状ないし高脆性の被研磨物でも損傷することなく吸引保持することができる保持シートを提供する。
【解決手段】保持シート１０は、湿式成膜法により作製されている。保持シート１０は、湿式成膜時に形成されたスキン層の表面側と、スキン層と反対の面側とにバフ処理が施されている。保持シート１０には、厚み方向に沿って丸みを帯びた断面三角状のセル３が略均等に分散した状態で形成されている。バフ処理によりセル３が両面で開孔しており、保持面Ｐに開孔７が形成され、裏面Ｓに開孔８が形成されている。セル３は、保持面Ｐ側の孔径が裏面Ｓ側の孔径より小さく形成されている。セル３は網目状に連通しており、保持シート１０は連続発泡構造を有している。吸引定盤で吸引保持するときに、被研磨物３０に作用する吸引力が均等化される。 （もっと読む）