【課題】研磨液の循環性を向上させスクラッチの発生を抑制することができる研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッド２０は、ウレタンシート５を備えている。ウレタンシート５は、湿式成膜法で得られたナップシート５ａを有している。ナップシート５ａは、ポリウレタン樹脂製のナノ短繊維で形成されたファイバ被覆部５ｂで被覆されている。ナップシート５ａには多数のセル４が包含されている。ナップシート５ａは、研磨加工時に被研磨物側に位置するシート面７を有している。シート面７にはセル４の開孔による開孔３が形成されている。ファイバ被覆部５ｂは、ナノ短繊維がシート面７における樹脂面全面およびセル４の内面を直接被覆している。ファイバ被覆部５ｂのナップシート５ａと反対側の面が被研磨物を研磨加工するための研磨面Ｐを形成する。研磨面Ｐで開孔が確保される。 （もっと読む）

【課題】製造時の歩留を向上させ被研磨物の平坦性を確保することができる研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッド１０は、被研磨物を研磨加工するための研磨面Ｐを有するウレタンシート２を備えている。ウレタンシート２は、湿式成膜法によりポリウレタン樹脂で形成されている。ウレタンシート２は、研磨面Ｐ側に、湿式成膜時に厚み数μｍにわたり緻密な微多孔が形成されたスキン層２ａを有している。スキン層２ａの表面には、湿式成膜時に生じたスポット状の凸部ないし局所的な硬質化部の不均質な欠点が除去されている。欠点が除去された箇所の合計の面積は、研磨面Ｐの全面積に対して０．２％以下である。スキン層２ａの表面皮膜の欠点が除去された箇所が凹状になる。 （もっと読む）

【課題】樹脂製シートを定盤に平坦に装着することができ、被研磨物の平坦性向上を図ることができる研磨加工方法を提供する。
【解決手段】片面研磨機７０の保持定盤７１に保持パッド１０を装着するときは、保持定盤７１に保護シート３０ａを粘着剤で貼着しておく。保護シート３０ａの露出した平坦表面Ｑに保持パッド１０を貼着する。研磨定盤７２に研磨パッド２０を装着するときは、研磨定盤７２に保護シート３０ｂを粘着剤で貼着しておく。保護シート３０ｂの露出した平坦表面Ｑに研磨パッド２０を貼着する。保持パッド１０の保持面Ｓに適量の水を含ませ被研磨物７８を押し付けることで、保持定盤７１に被研磨物７８を保持させる。被研磨物７８および研磨パッド２０間に研磨液を供給し、保持定盤７１、研磨定盤７２で被研磨物７８に圧力をかけながら被研磨物７８を研磨加工する。 （もっと読む）

【課題】ドレス処理を均一化し表面平坦性を確保することができる研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッド１０は、被研磨物を研磨加工するための研磨面Ｐを有するウレタンシート２を備えている。ウレタンシート２は、湿式成膜法によりポリウレタン樹脂でシート状に形成されている。ウレタンシート２は、研磨面Ｐ側に、緻密な微多孔が形成されたスキン層２ａを有している。スキン層２ａの研磨面Ｐと反対側には、厚み方向に沿って丸みを帯びた断面三角状のセル３が形成された発泡層２ｂを有している。スキン層２ａには、湿式成膜時に形成された微多孔より大きく均一な孔径の細孔５が均等に形成されている。細孔５は、湿式成膜後に穿孔処理することで形成されている。細孔５のうち少なくとも一部は、セル３まで通じている。スキン層４表面の摩擦抵抗が低減する。 （もっと読む）

【課題】研磨効率を向上させることができる研磨布を提供する。
【解決手段】研磨布２０はウレタンシート５を備えている。ウレタンシート５は、ポリウレタン樹脂製の弾性糸７で作製された織物シート５ａを有している。織物シート５ａは、ポリウレタン樹脂製のナノ短繊維で形成されたファイバ被覆部５ｂで被覆されている。織物シート５ａは、研磨加工時に被研磨物側に位置するシート面６を有している。シート面６は、経糸７ａ、緯糸７ｂの交差により凹凸状に形成されている。隣り合う経糸７ａ、隣り合う緯糸７ｂの間には間隙８が形成されている。ファイバ被覆部５ｂは、ナノ短繊維がシート面６側に露出した弾性糸７の表面を直接被覆している。ファイバ被覆部５ｂの織物シート５ａと反対側の面が研磨面Ｐを形成する。研磨面Ｐ側で間隙が確保される。 （もっと読む）

【課題】被研磨物の端部形状を改善し平坦性を向上させることができる保持具を提供する。
【解決手段】保持具１０は、ウレタンシート２と、テンプレート４とを備えている。ウレタンシート２は、湿式成膜法により作製されている。ウレタンシート２は、セル３が形成された連続状の発泡構造を有している。テンプレート４は、ウレタンシート２の保持面Ｐに貼付されている。テンプレート４の中央部には、被研磨物を挿入可能な貫通穴５が形成されている。テンプレート４には、貫通穴５の内面側で保持面Ｐ側の端部に、テンプレート４の厚み方向の断面における形状が三角状の切り欠き部４ａが形成されている。切り欠き部４ａの部分では、テンプレート４とウレタンシート２との間に隙間が形成されている。研磨加工時に、被研磨物の外周側でウレタンシート２の沈み込みが確保される。 （もっと読む）

【課題】捲回状態から波打つことなく捲き解くことができる研磨テープを提供する。
【解決手段】研磨テープ１０は、被研磨物を研磨加工するための研磨面Ｐを有する帯状のウレタンシート２を備えている。ウレタンシート２は、湿式成膜法により形成されている。ウレタンシート２は、研磨面Ｐ側に、緻密な微多孔が形成されたスキン層２ａを有している。ウレタンシート２のスキン層２ａより内部側には、多数のセル３が略均等に分散した状態で形成されている。ウレタンシート２は連続状の発泡構造を有している。研磨テープ１０は、ウレタンシート２の研磨面Ｐと反対側の面に、帯状の基材６が貼り合わされている。基材６は、裏面Ｓがサンドブラスト加工により粗面化されている。研磨面Ｐおよび裏面Ｓ間の局所的な粘着が抑制される。 （もっと読む）

【課題】被研磨物の端部形状を改善し平坦性を向上させることができる保持具を提供する。
【解決手段】保持具１０は、ウレタンシート２とテンプレート４とを備えている。ウレタンシート２は湿式成膜法により作製されている。ウレタンシート２は、セル３が形成された連続状の発泡構造を有しており、圧縮率が３０％以下に調整されている。テンプレート４は、ウレタンシート２の保持面に貼付されている。テンプレート４の中央部には、被研磨物３０を挿入可能な貫通穴が形成されている。テンプレート４には、表面Ｓ側における外縁部と、貫通穴の内縁部とに面取り部４ａが形成されている。テンプレート４は、被研磨物３０が１０〜５０μｍの厚み分でテンプレート４の表面Ｓより突出するように厚みが設定されている。研磨加工時に、被研磨物３０の端部にかかる過度の応力が緩和される。 （もっと読む）

【課題】発泡形状を安定化させ被研磨物の平坦性を向上させることができる研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッド１０は、ウレタン樹脂で形成された発泡シート２を有している。発泡シート２は、湿式成膜法により形成された連続状の発泡構造を有している。発泡シート２には、カーボンブラックのストラクチャー９が凝集した凝集体５が含有されている。凝集体５は、分散剤のＡＢＳ樹脂で被覆されている。凝集体５は、グラインドゲージ分布図法で測定した分散状態が３．０μｍ以下に制限されている。凝集体５が湿式成膜時にさらに凝集した大きな凝集体を形成することなく、略均一に分散される。 （もっと読む）

【課題】安定した研磨レートを保持しうねりの低減を図ることができる研磨パッドの製造方法を提供する。
【解決手段】塗布工程で、ポリウレタン樹脂溶液が成膜基材に塗布される。次の気化工程で、成膜基材に塗布されたポリウレタン樹脂溶液が、５０℃〜８０℃の雰囲気下へ案内され、１０分〜６０分間の熱処理が施される。加熱雰囲気下へ案内されたポリウレタン樹脂溶液は、少なくとも表層に含まれる有機溶媒の一部が気化される。次いで凝固工程で、塗布され熱処理が施されたポリウレタン樹脂溶液が凝固液中で凝固再生される。凝固再生時にポリウレタン樹脂溶液中にマクロ気孔が形成されることなく、ミクロ気孔（気孔３）が略均一かつ略均等に形成される。 （もっと読む）