説明

富士紡ホールディングス株式会社により出願された特許

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【課題】クッション性を確保しつつ長期にわたり研磨性能を発揮することができる研磨パッドの製造方法を提供する。
【解決手段】研磨パッドは、湿式成膜法で一体形成されたウレタン発泡体を備えている。湿式成膜法では、塗布工程で、ポリウレタン樹脂溶液を帯状の成膜基材にシート状に略均一に塗布する。成膜基材には表面平滑性を有するPET製フィルムを用いる。浸漬工程で、成膜基材に塗布されたポリウレタン樹脂溶液を、水を主成分とする凝固液に浸漬する。剥離工程で、ポリウレタン樹脂の凝固再生が完了する前に凝固液中で凝固再生中のポリウレタン樹脂を成膜基材から剥離した後、ポリウレタン樹脂の凝固再生を完了させる。厚み方向両側でシームレスに発泡構造の異なるウレタン発泡体が一体形成される。 (もっと読む)


【課題】樹脂シートの厚みの均一化精度を高め、被研磨物の平坦性を向上させることができる研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッドは、湿式成膜法により形成された連続状の発泡構造を有するウレタンシートを備えている。ウレタンシートは、湿式成膜時に形成された成膜樹脂32のスキン層と反対の面側を圧接ローラ24に圧接させ、スキン層側にバフ処理が施されている。バフ処理時には、成膜樹脂32の平均厚みをX(mm)、砥粒27の一部が突出したサンドペーパ26aの砥粒27の平均突出量をY(mm)、サンドペーパ26aと対向配置された圧接ローラ24の表面および砥粒27の突出端の平均間隔をZ(mm)としたときに、X−Z≦Yの関係を満たすように調整されている。成膜樹脂32にかかる負荷が低減する。 (もっと読む)


【課題】大型化しても表面の平坦性を確保しつつ全面を研磨装置に装着することができる保持パッドを提供する。
【解決手段】保持パッド20は、保持面Sを有するウレタンシート12、粘着シート14、弾性を有する樹脂シート16、粘着シート15を備えている。粘着シート14は粘着剤層45、46が境界D1で隣接するように配され、粘着シート15は粘着剤層55、56が境界D2で隣接するように配されている。樹脂シート16は、一面側に粘着シート14の他面側が貼り合わされ、他面側に粘着シート15の一面側が貼り合わされている。粘着シート14の一面側にウレタンシート12の保持面Sと反対側の面が貼り合わされている。保持パッド20の幅方向中央部より一側の位置に境界D1が形成され、他側の位置に境界D2が形成される。境界D1、D2での段差が樹脂シート16で吸収される。 (もっと読む)


【課題】被研磨物を平坦に保持して研磨加工時に保持した被研磨物の平坦性を確保することができる研磨加工方法を提供する。
【解決手段】被研磨物の研磨加工を行うときは、加圧定盤71の下面に両面テープを介してバックパッド1を貼着する。保持面に貼着され略中央部に被研磨物78を挿入可能な開口が形成されたテンプレート76の開口部で露出したバックパッド1のスキン層に適量の水を含ませ被研磨物78を当接させる。その後、被研磨物78を加圧定盤71方向に略均等に押圧しバックパッド1に被研磨物を保持させる。加圧定盤71で被研磨物78を下方に加圧しながら回転定盤72を回転させることで、被研磨物78の下面を研磨布75で研磨加工する。スキン層及び被研磨物78間に咬み込まれたエアが多孔を通じて発泡に収容され、被研磨物78がバックパッド1に略平坦に保持される。 (もっと読む)


【課題】摩耗の度合を適正化し研磨性能の安定化を図ることができる研磨パッド用の研磨シートを選別する選別方法を提供する。
【解決手段】研磨パッドは、研磨面を有する発泡構造のウレタンシートを備えている。ウレタンシートは、ポリイソシアネート化合物、ポリオール化合物、水、ポリアミン化合物、非反応性気体、が混合された発泡体をスライスしたシートから選別され用いられている。F=−13.8・HSC−726・R+773・D−7.95A+1516で得られるF値が100〜200の範囲のシートが良品として選別される。HSCはハードセグメントの含有率、Rはポリイソシアネート化合物のイソシアネート基に対するポリオール化合物の水酸基およびポリアミン化合物のアミノ基の合計の当量比、Dはかさ密度、Aは硬度をそれぞれ示す。F値が研磨面での摩耗のしやすさと相関する。 (もっと読む)


【課題】寿命を考慮しつつ摩耗の度合を適正化し研磨性能の安定化を図ることができる研磨パッド用の研磨シートを選別する選別方法を提供する。
【解決手段】研磨パッドは、研磨面を有する発泡構造のウレタンシートを備えている。ウレタンシートは、ポリイソシアネート化合物、ポリオール化合物、水、ポリアミン化合物、が混合された発泡体をスライスしたシートから選別され用いられている。F=−36.7・HSC−758.8・R+656・D−619・T+2587で得られるF値が100〜200の範囲のシートが良品として選別される。HSCはハードセグメントの含有率、Rはポリイソシアネート化合物のイソシアネート基に対するポリオール化合物の水酸基およびポリアミン化合物のアミノ基の合計の当量比、Dはかさ密度、Tは厚みをそれぞれ示す。F値が寿命を考慮しつつ研磨面での摩耗のしやすさと相関する。 (もっと読む)


【課題】研磨性能を安定化し被研磨物の平坦性を向上させることができる研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッド20は、研磨面Pを有する発泡構造のウレタン発泡体2と、ウレタン発泡体2の研磨面Pと反対側の面に粘着層11を介して貼り合わされたウレタンシート6と、ウレタンシート6のウレタン発泡体2と反対側の面に粘着層12を介して貼り合わされたウレタンフィルム8と、を備えている。粘着層11は粘着層12より高い粘弾性を有している。ウレタンシート6の圧縮率が3〜9%、ウレタンフィルム8の圧縮率がウレタンシート6より大きい10〜45%に調整されている。ウレタン発泡体2、粘着層11、ウレタンシート6の3層分がヒステリシスロス率30〜50%の特性を有している。研磨面Pでの局所的な圧力がウレタン発泡体2側に吸収され被研磨物に均等化された研磨圧力が掛けられる。 (もっと読む)


【課題】低圧研磨加工でも研磨性能を確保し被研磨物の平坦性を向上させることができる研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッド10はポリウレタン樹脂製のウレタンシート2を備えている。ウレタンシート2はプレポリマとポリアミン化合物との反応で形成されている。ウレタンシート2は、ハードセグメントで形成される結晶相と、ソフトセグメントで形成される非晶相と、結晶相および非晶相の間の界面相とを有している。ウレタンシート2では、パルスNMRによるFID信号から得られる界面相の成分割合をRI、スピン−スピン緩和時間をT2Iとしたときに、P=22500−160・RI−21・T2Iで得られるP値が6000〜7500の範囲にある。A硬度、圧縮弾性率が共に向上する。 (もっと読む)


【課題】研磨機からの振動の影響を低減し、低圧研磨でも被研磨物の平坦性を向上させることができる研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッド20は研磨面Pを有する研磨シート1、研磨面Pと反対側に配置されたクッションシート5を備えている。研磨シート1は、ショアD硬度が60〜80度、圧縮弾性率が50〜75%である。クッションシート5は、体積弾性率が10〜30MPa、1Hzの振動数における損失係数tanδが25〜80℃で0.05〜0.4の範囲である。研磨シート1およびクッションシート5はアクリル系粘着剤の粘着シート3で貼り合わされており、全体の損失係数が0.05〜0.2の範囲にある。クッションシート5が被研磨物への振動伝達を抑制し、粘着シート3が補助的に抑制する。クッションシート5のクッション性が適正化される。 (もっと読む)


【課題】シート材が大型化してもシート材の平坦性を確保しつつ全面を研磨装置に装着することができる装着材を提供する。
【解決手段】研磨パッド10を構成する装着シート7は、一面側がウレタンシート2と貼り合わされる粘着シート4と、研磨装置に装着するための一面を有する粘着シート5とを有している。粘着シート4の他面側と、粘着シート5の他面側とが貼り合わされている。粘着シート4は2つの粘着テープ41、42が境界D1で隣接し、粘着シート5は3つの粘着テープ51、52、53が境界D1と異なる2箇所の境界D2で隣接するように配されている。粘着テープ41、42は粘着剤層41a、42aを有しており、粘着テープ51、52、53は粘着剤層51a、52a、53aを有している。装着時に、境界D1、D2での隙間形成が相互の粘着シート4、5で抑制される。 (もっと読む)


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