【課題】実用可能な耐湿性と、透明導電膜として必要な特性を備え、しかも経済性に優れた、ＺｎＯ系の透明導電膜を提供する。
【解決手段】ＺｎＯにIII族元素酸化物をドーピングして基体上に成長させた透明導電膜において、ＺｎＯ（００２）ロッキングカーブ半値幅が１３．５°以上であるようにする。
III族元素酸化物のドーピング量を、透明導電膜中のIII族元素酸化物の割合が７〜４０重量％となるように、ＺｎＯにIII族元素酸化物をドープさせる。
透明導電膜を、ＳｉＮｘ薄膜を介して、基体上に形成する。
基体にバイアス電圧を印加しながら、薄膜形成方法により基体上に透明導電膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】 反射波の影響を軽減して所望の周波数帯域の感度を向上させることができる磁界プローブを提供する。
【解決手段】 磁界プローブ１は、検出部９と接続部１０との間を接続する伝送線路部１２を備える。この伝送線路部１２はストリップ導体１３を有する。このストリップ導体１３は、狭い幅寸法Ｗ1をもった狭幅部１３Ａと、広い幅寸法Ｗ2をもった広幅部１３Ｂと、狭幅部１３Ａと広幅部１３Ｂとの間に設けられたテーパ部１３Ｃとを備える。これにより、伝送線路部１２の両端側に加えて、テーパ部１３Ｃの周囲で反射が生じるから、テーパ部１３Ｃを備えない場合に比べて、反射波が影響する周波数をシフトさせることができる。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ機構を用いて、より小型化が容易な高周波スイッチモジュールを実現する。
【解決手段】ＭＥＭＳ機構部１０は、平板状の可動電極１１と、固定電極１３Ａ，１３Ｂおよび固定電極１４Ａ，１４Ｂを備える。固定電極１３Ａ，１３Ｂは、可動電極１１を基準として、固定電極１４Ａ，１４Ｂと対称の位置に形成されている。可動電極１１と固定電極１３Ａ，１３Ｂとの間に「０」でない電圧が印加されると、可動電極１１と固定電極１３Ａ，１３Ｂが当接して導通となり、可動電極１１と固定電極１４Ａ，１４Ｂが大きく離間して開放となる。可動電極１１と固定電極１４Ａ，１４Ｂとの間に「０」でない電圧が印加されると、可動電極１１と固定電極１４Ａ，１４Ｂが当接して導通となり、可動電極１１と固定電極１３Ａ，１３Ｂが大きく離間して開放となる。 （もっと読む）

【課題】簡単な作業のみで高周波部品のＳパラメータを補正することができる高周波部品のＳパラメータを補正する方法、及び補正したＳパラメータに基づいて高周波部品を搭載したモジュールの特性算出方法を提供することを目的とする。
【解決手段】全ての第１端子及び第２端子からの入射波に基づく反射波及び通過波を測定して高周波部品２のＳパラメータである第１パラメータを取得する第１ステップと、第２端子を終端状態として、全ての第１端子からの入射波に基づく反射波及び通過波を測定して高周波部品２のＳパラメータである第２パラメータを取得する第２ステップと、第１ステップで取得した第１パラメータの第１端子に関する各要素を、第２ステップで取得した第２パラメータの対応する各要素に基づいて補正する第３ステップとを含む。また、補正したＳパラメータに基づいて高周波部品２をモジュール基板に実装したモジュールの高周波特性を算出する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、内蔵される回路素子を大きく形成することができると共に、ショートの発生を防止するための絶縁体膜が積層体から容易に剥離することを抑制できる電子部品を提供することである。
【解決手段】積層体１２は、複数の絶縁体層が積層されてなり、ｚ軸方向において互いに対向している上面Ｓ１及び下面Ｓ２、並びに、該上面Ｓ１と該下面Ｓ２とを接続している側面Ｓ３〜Ｓ６を有している。絶縁体膜２０は、側面Ｓ３〜Ｓ６に設けられている。コイルＬは、積層体１２に内蔵され、かつ、該積層体１２の側面から絶縁体膜２０に対して突出している突出部１９を有している。 （もっと読む）

【課題】小型化しても所望の特性を容易に得ることができるＬＣフィルタを提供する。
【解決手段】ＬＣフィルタ１０は、（ａ）誘電体層と、誘電体層を介して対向するように配置された対向電極とを有し、対向電極及び対向電極間の誘電体層によりコンデンサが形成された誘電体基板２０と、（ｂ）誘電体基板２０が実装された実装基板１２とを備える。誘電体基板２０には第１のボンディングワイヤー２６によりインダクタが形成され、インダクタとコンデンサとにより共振器が構成される。誘電体基板２０と実装基板１２とは、第２のボンディングワイヤー１６ａ，１６ｂにより接続される。第１のボンディングワイヤー２６を含む第１の仮想面２６ｋと第２のボンディングワイヤー１６ａ，１６ｂを含む第２の仮想面１６ｋとが、実質的に直角をなす。 （もっと読む）

【課題】ガラスなどの基板表面に金属膜を形成したもので、熱線の遮蔽率が高い反射型のＮＤフィルタを、高い生産性をもって製造できる方法を提供する。
【解決手段】透光性を有する基板２を用意するとともに、金属膜３となる金属前駆体溶液を用意する。次に、基板２に金属前駆体溶液を塗布する工程、および、塗布された金属前駆体溶液を乾燥する工程を実施することによって、基板２上に金属前駆体膜を形成する。次に、金属前駆体膜を還元性雰囲気下で焼成する。これによって、金属前駆体膜が焼結して多孔質の金属膜３となり、目的とするＮＤフィルタ１が得られる。多孔質の金属膜３は、そこに形成される孔４によって可視光２１の透過を確保しながら、その膜厚を厚くすることにより、より長波長の熱線（赤外線）の遮蔽率を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、内蔵される回路素子を大きく形成することができると共に、簡単な製造工程により製造できる電子部品及びその製造方法を提供することである。
【解決手段】積層体１２は、複数の絶縁体層が積層されてなる。コイルＬは、積層体１２に内蔵され、かつ、絶縁体層間から積層体１２の側面から外部に露出している露出部１９を有している。金属膜２０は、露出部１９を覆うように積層体１２の側面に設けられている。金属膜２０の表面２４は、酸化されることにより絶縁性を有している。 （もっと読む）

【課題】高い製造歩留まりで容易にチップ状電子部品を製造することができるチップ状電子部品の製造方法を提供する。
【解決手段】粘着力をもつ表面２０ａを有する基盤２０上に、電子部品本体３０のいずれかの表面を粘着させる粘着工程を行う。電子部品本体３０の基盤２０とは反対側にスライダー２３を当接させた状態でスライダー２３を基盤２０に対して相対的にスライドさせることにより電子部品本体３０を回転させ、機能部材を形成するために電子部品本体３０の一の表面以外の表面を基盤２０に粘着させる。 （もっと読む）

【課題】自然酸化膜を形成させず、漏れ電流を抑制する陽極酸化膜の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明に係る陽極酸化膜の製造方法は、弁金属で構成される基材層１の表面に形成された自然酸化膜２を溶液中で除去する工程と、前記溶液中で、自然酸化膜２が除去された基材層１の表面に保護膜３を形成する工程と、保護膜３が形成された基材層１に陽極酸化用溶液１５中で電圧を印加して、保護膜３を除去すると共に基材層１の表面に陽極酸化膜４を形成する工程と、を備えることを特徴としている。 （もっと読む）