三菱マテリアル株式会社により出願された特許
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表面被覆切削工具
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アンテナ装置
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耐酸化性と耐摩耗性にすぐれた表面被覆工具
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硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
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圧延ロール
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パワーモジュール用基板
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硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
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表面被覆切削工具
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プラズマ処理装置用電極板、その電極構成板及び電極板の製造方法
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トリクロロシラン製造方法
【課題】熱交換器を通過した後のテトラクロロシランおよび水素の温度に熱変動が生じた場合でも、高い転換効率でトリクロロシランを製造することができるトリクロロシランの製造方法を提供する。
【解決手段】金属シリコンとテトラクロロシランおよび水素を含む混合ガスを反応させてトリクロロシランを製造する方法であって、反応により生じたガスと混合ガスとを熱交換させる熱交換工程と、熱交換した前記混合ガスをその反応温度以下まで金属製ヒーターにより加熱する加熱工程と、加熱工程により加熱された混合ガスを反応可能な温度に発熱させたカーボン製ヒーターに接触させて加熱する事前転化反応工程と、前記事前転化反応工程により加熱された混合ガスと金属シリコンとを反応させてトリクロロシランを含む反応ガスを生成する転化反応工程とを備える。
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