三菱マテリアル株式会社により出願された特許
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アンテナ装置
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表面被覆切削工具
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表面被覆切削工具
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プラズマ処理装置用電極板、その電極構成板及び電極板の製造方法
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耐酸化性と耐摩耗性にすぐれた表面被覆工具
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硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
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圧延ロール
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パワーモジュール用基板
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硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
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硬質被覆層が高速断続切削ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
【課題】硬質被覆層が高速断続切削ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】下部層がＴｉ化合物層、上部層が柱状結晶組織のＺｒ含有α型Ａｌ２Ｏ３層を蒸着した表面被覆切削工具であって、下部層の最表面層が、５００ｎｍ以上の層厚を有するＴｉＣＮ層からなり、該ＴｉＣＮ層の層厚方向５００ｎｍまでの深さ領域にのみ平均含有量０．５〜３原子％の酸素が含有され、また、下部層直上におけるＺｒ含有α型Ａｌ２Ｏ３結晶粒の横方向平均粒径は０．１〜０．３μｍであり、上部層の上方におけるＺｒ含有α型Ａｌ２Ｏ３結晶粒の横方向平均粒径は０．５〜１．０μｍであって、しかも、上部層全体のＺｒ含有α型Ａｌ２Ｏ３結晶粒について、工具基体表面の法線に対する（０００１）面の法線がなす傾斜角が０〜１０度であるＺｒ含有α型Ａｌ２Ｏ３結晶粒が、全体で４５面積％以上、界面から上部層の膜厚１μｍ未満では（０００１）配向が１０%未満、（０２−２１）配向が３０%以上である。
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