【課題】筐体の大型化および清浄度の低下を防止可能な搬送ロボット、筐体、半導体製造装置およびソータ装置を提供すること。
【解決手段】昇降機構を有する胴体と、上記胴体の上で水平方向に回転自在な第１アームと、上記第１アームの先端上で水平方向に回転自在な第２アームと、上記第２アームの先端上で水平方向に回転自在なハンドと、を備え、上記ハンドに搭載した基板を搬送する搬送ロボットにおいて、上記昇降機構の昇降軸と上記第１アームの回転軸である第１アーム回転軸とは、平面視した場合にオフセットしており、上記第１アームの旋回範囲の形状が扇形となる場合に、上記昇降軸は、上記第１アームの旋回範囲内にあり、かつ、上記旋回範囲の対称線上にある。 （もっと読む）

【課題】放圧板の腐食を抑制できる開閉器を提供する。
【解決手段】開閉器１０は、接点を開閉する開閉部が収容され、内部の圧力を逃がすための放圧孔５２が形成された容器１２と、容器１２の外側の、放圧孔５２の周囲に取り付けられ、容器１２の内部の気密を保つための環状の第１のシール部材６０と、第１のシール部材６０を介して放圧孔５２を塞ぎ、容器１２の内部の圧力により変形する放圧板６２と、放圧板６２の外側に配置され、変形した放圧板６２に接触して孔をあける穿孔部材６４と、放圧板６２及び穿孔部材６４を外側から覆う第２のシール部材６６とを備える。 （もっと読む）

【課題】段取り換えを容易に行うことができるようにする。
【解決手段】左アーム６Ｌ及び右アーム６Ｒに設けられた左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒは、液晶ガラス基板Ｗを載置可能な３つのフォーク１２と、フォーク１２の長手方向に互いに離れて配置される一対の固定部材１５と、一対の固定部材１５の間にそれぞれ配置され、フォーク１２に載置された液晶ガラス基板Ｗの長手方向の移動を規制する一対のガイド部材１３とを有しており、一対のガイド部材１３の少なくとも一方は、フォーク１２の長手方向位置が、複数の位置に選択的に設定可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】特性の異なるモータを容易に提供することができるモータの製造方法を提供すること。
【解決手段】モータの製造方法は、固定子を形成する固定子形成工程と、回転子を形成する回転子形成工程と、固定子と回転子とをハウジング内に配設する配設工程とを含む。固定子形成工程は、固定子コアに第１の固定子巻線を取り付けて固定子を形成する第１工程と、この第１工程で用いる固定子コアと同一の固定子コアに第１の固定子巻線と異なる第２の固定子巻線を取り付けて固定子を形成する第２工程とを選択的に実行する。 （もっと読む）

【課題】シャフトの軸方向について小型化を容易に図ることができる回転電機を提供すること。
【解決手段】固定子および回転子を収納し、内部から外部へ配線を引き出す引出孔を周面に備えた筒状のケース部と、ケース部の反負荷側に設けられ、回転子とともに回転するシャフトの回転位置を検出する検出器と、ケース部の反負荷側に設けられ、シャフトの回転を制動するブレーキと、検出器および前記ブレーキと固定子および回転子との間を間仕切るとともに、シャフトを軸支し、検出器に接続された配線およびブレーキに接続された配線のうち少なくともいずれか一方の配線または固定子に接続された配線が挿通される挿通孔を備えた板状のブラケット部とを備えた回転電機とした。 （もっと読む）

【課題】
ステータコア形状を大きく変更することなく、ステータコアに生じるトルクでフレームとステータコアが相対ずれを起こしにくい回転電機を提供する。
【解決手段】
本発明の回転電機は、フレームと、前記フレームの内部に設けられ、樹脂でモールドされたステータコアと、前記ステータコアに対して回転自在に設けられたロータコアと、
前記ロータコアが固着されたシャフトと、前記シャフトを回転自在に保持し、前記フレームに固定されたブラケットと、前記ステータコアと前記ブラケットを係合して当該ステータコアと当該ブラケットの相対回転を阻止する係合部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】チャンバ内への設置を容易に行うこと。
【解決手段】実施形態に係るロボットは、胴体部と、アームユニットとを備える。胴体部は、真空チャンバの上方から真空チャンバ内へ搬入されるとともに、真空チャンバへ固定される。また、アームユニットは、真空チャンバの上方から真空チャンバ内へ搬入されるとともに、真空チャンバ内へ固定された胴体部に対して連結される。 （もっと読む）

【課題】作業者に対する影響をより容易に低減することができる作業用ロボットおよび加工設備を提供すること。
【解決手段】作業用ロボットは、アーム部と、複数のモータとを備える。アーム部は、複数のアーム部材を備える。複数のモータは、それぞれ複数のアーム部材を駆動する。そして、複数のアーム部材をそれぞれ駆動するモータの定格出力は、互いに同一である。 （もっと読む）

【課題】ブラケット部によるシャフトの軸支精度を向上させた回転電機を提供すること。
【解決手段】所定の負荷を駆動するシャフトとともに回転する回転子および回転子を駆動する固定子を収納する筒状のケース部と、ケース部における反負荷側の端面に設けられ、シャフトが挿通される孔部が開口された板状のブラケット部と、ケース部における反負荷側の端縁から反負荷側へ延伸する筒部とが一体に形成されたハウジングを備えた回転電機とした。ハウジングは、ブラケット部に形成された孔部から負荷側および反負荷側へ延伸する小径筒部が一体に形成される。 （もっと読む）

【課題】ブレーキを容易に交換可能とした回転電機を提供すること。
【解決手段】回転電機１は、検出器８とブレーキ９とを備える。検出器８は、回転子７とともに回転して所定の負荷を駆動するシャフト５の反負荷側に配設され、シャフト５の回転位置を検出する。ブレーキ９は、検出器８の外周側に交換可能に設けられ、シャフト５の回転を制動する。また、ブレーキ９は、シャフト５とともに回転する回転部９１と、回転部９１の回転を制動する制動機構９３，９４，９５とを備え、回転部９１は、検出器８の反負荷側に配設される。 （もっと読む）