【課題】構造の簡素化と流通させる液体の清浄度向上との両立を図り、液体の供給停止後に生じる使用部における液垂れを抑制することができる新たな構造を備えた液体供給装置を提供する。
【解決手段】液体の供給部１０と、液体の使用部２０と、供給部から使用部へ液体を流通させる供給配管部３０とを有する液体供給装置１Ａであって、供給配管部は、供給部側から供給される液体を流通させる主配管部３１と、主配管部に接続されるアスピレータ５０と、アスピレータにより分岐され使用部側に液体を供給する使用側配管部３２及び副配管部３３と、副配管部に接続され開閉機能を有する弁１６とを備えており、アスピレータの主流路側に主配管部及び副配管部が接続され、アスピレータの吸引流路側に使用側配管部が接続される。 （もっと読む）

【課題】弁部と弁座の着座時の衝撃による材料組織の剥離により発生するパーティクルの被制御流体への混入を抑制し、被制御流体の高度な清浄度を維持することができるエア操作弁を提供する。
【解決手段】弁座２３を形成した弁室２０を有する弁室ボディ部１１と、弁座をシールする弁部３１と弁室内にダイヤフラム部４０を備える弁機構体３０と、作動エアにより弁機構体を進退させて弁座を開閉駆動制御する駆動機構体９０を収容するハウジングボディ部１２とを備え、駆動機構体は、第１ピストン部５０と、第１ピストン部を付勢する第１ばね８１と、ハウジングボディ部内に摺動可能に収容され、第１ピストン部を内部に摺動可能に収容するとともに第１ピストン部を押圧する第２ピストン部７０と、第２ピストン部を付勢する第２ばね８２とを備え、第２ばねのばね荷重を第１ばねのばね荷重よりも大とする。 （もっと読む）

【課題】液体の圧力を空気の圧力に変換して検出する構成を有効に活用することにより、液体の温度が高くても、当該液体の温度の影響を受けることなく、この液体の圧力を正しく検出するようにした圧力センサ及びこの圧力センサを利用した流量検出装置を提供する。
【解決手段】液圧室Ｌ１及び空圧室Ｒ１が、両ダイヤフラム２２、２４を介し互いに対向するように基台Ｈ１内に形成されている。ここで、液圧室Ｌ１内に流入する薬液の液圧がダイヤフラム２２に作用し、空圧室Ｒ１内に流入する空気の空圧がダイヤフラム２４に作用する。圧電変換ユニット５０が基台Ｈ１上に設けられて、上記液圧の変動に伴う両ダイヤフラム２２、２４の変位に応じて変動する上記空圧を薬液の液圧として検出する。 （もっと読む）

【課題】圧力損失部の詰まりの有無を把握して被計測流体の流通の異常を発見しやすくすることが可能であるとともに、流路径を急激に狭くすることなく必要な圧力損失を得ることができる新規な差圧式流量測定装置を提供する。
【解決手段】被計測流体に接触して流体圧力を検知する第１圧力検知部２０Ａ、第２圧力検知部２０Ｂ、及び第３圧力検知部２０Ｃをこの順に配置してなる圧力検知部２０と、第１圧力検知部２０Ａと第２圧力検知部２０Ｂとを接続する第１接続流路部３０と、第２圧力検知部２０Ｂと第３圧力検知部２０Ｃとを接続する第２接続流路部３５と、第１接続流路部３０内に設けられた第１圧力損失部４０と、第２接続流路部３５内に設けられた第２圧力損失部４５と、第１圧力検知部２０Ａ、第２圧力検知部２０Ｂ、及び第３圧力検知部２０Ｃからの検知信号が入力される演算部５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】一の装置でありながら、計測対象である流体の清浄度に影響を与えることなく、簡便に複数の計測レンジの異なる流体流量を測定することができる流量測定装置を提供する。
【解決手段】被計測流体の流体圧力を検知する第１圧力検知部２０と第２圧力検知部２５とが圧力損失部３０を介して配置された差圧式流量測定装置１０Ａにおいて、前記第１圧力検知部２０と前記第２圧力検知部２５との間を単一の流路で接続する接続流路部４０と、前記接続流路部４０に配置され貫通孔６６が形成されたポペット弁体６５Ａを有する開閉弁部６０Ａと、前記開閉弁部６０Ａの開閉動作を制御する演算部８０とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】一の装置でありながら、計測対象である流体の清浄度に影響を与えることなく、簡便に複数の計測レンジの異なる流体流量を測定することができる流量測定装置を提供する。
【解決手段】主流路１１に１次側圧力流路１２及び２次側圧力流路１３を介して差圧式流量センサー部２０Ａを接続した流量測定装置１０Ａであって、差圧式流量センサー部２０Ａは、シャフト部３６の両端に対向配置された第１，第２ダイヤフラム３０，３５間に第１チャンバ２３と第２チャンバ２４とを区画する中間ダイヤフラム２６を有する中間区画部２２を備え、第１ダイヤフラムの背圧を検出する荷重検出センサー４０からの信号を流量信号に変換する演算部Ｃとを備え、各チャンバ２３，２４間に差圧を生じさせる圧力損失部５０と、各圧力流路１２，１３が接続する間の主流路１１内に開閉弁部６０を備える。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムにその両面側から逆向きに作用する２つの力を活用して、簡単な構成にて液体の吸入及び吐出を行うようにしたダイヤフラムポンプ及びこのダイヤフラムポンプを備えたポンプ装置を提供する。
【解決手段】コイルスプリング７０は、ハウジングＨの貫通孔部３３の大径孔部３３ｂ内にて、ロッド６０の中側軸部６２に同軸的に嵌装されて、大径孔部３３ｂと小径孔部３３ａとの間の境界段部３３ｄ及び中側軸部６２の環状鍔部６２ａ間に係止している。また、空気流供給源からの空気流を押圧室Ｒ１内に供給する供給孔部４４が下側ハウジング部材４０に形成されている。このため、コイルスプリング７０の付勢力がポンプ室Ｒ２側からロッド６０の基端側軸部６３を介し主ダイヤフラム９０に対して作用し、押圧室Ｒ２内への空気流の圧力が、押圧室Ｒ１側から主ダイヤフラム９０に作用する。 （もっと読む）

【課題】一の装置でありながら、計測対象である流体の清浄度に影響を与えることなく、簡便に複数の計測レンジの異なる流体流量を測定することができる流量測定装置を提供する。
【解決手段】主流路１１に１次側圧力流路１２及び２次側圧力流路１３を介して差圧式流量センサー部２０Ａを接続した流量測定装置１０Ａであって、差圧式流量センサー部２０Ａは、第１ダイヤフラム３０と第２ダイヤフラム３５によってチャンバ部２２を第１チャンバ２３と第２チャンバ２４に区画し、各ダイヤフラム３０，３５間に配置された荷重検出センサー４０からの信号を流量信号に変換する演算部Ｃを備え、１次側圧力流路１２は主流路１１と第１チャンバ２３を接続し、２次側圧力流路１３は主流路１１と第２チャンバ２４を接続し、各チャンバ２３，２４間に差圧を生じさせる圧力損失部５０と、各圧力流路１２，１３が接続する間の主流路１１内に開閉弁部６０を備える。 （もっと読む）

【課題】継ぎ手本体、チューブ、袋ナットに生じる熱変形や振動に強く、継ぎ手本体とチューブとの強固な締結を維持し、たとえ袋ナットの螺着に緩みが生じた際においても袋ナットの回転をねじの途中で抑えることができ、樹脂製チューブ同士あるいは流体機器とチューブとの接続と取り外しが可能な樹脂製チューブの継ぎ手構造を提供する。
【解決手段】樹脂製チューブ１０の拡径端部１１を継ぎ手本体２０に嵌着し、袋ナット５０の内ねじ部５５を継ぎ手本体の外ねじ部２５に螺着して緊締するようにした継ぎ手構造１Ａにおいて、互いに螺着する継ぎ手本体の外ねじ部と袋ナットの内ねじ部とのねじ形状を断面形状が５ないし１３の頂点を有する多角形からなる多角形状部２３として形成し、外ねじ部の中心から多角形までの最長距離を外ねじ部の中心から多角形までの最短距離の１．００１〜１．０７倍の長さとする。 （もっと読む）

【課題】半導体や液晶パネル製造装置等において薬液、純水やこれらの混合液等の液体を応答性よく検出するようにした非接触式温度検出装置の提供。
【解決手段】両配管Ｐ８、Ｐ９の間に接続した非接触式温度検出装置Ｓ１の基体２００において、四角柱部２１０は連通路２１０ａ及び凹所２１０ｂを有し、凹所２１０ｂは四角柱部２１０の上側端面２１３から連通路２１０ａの軸方向中央部に向け凹状に形成され、凹所２１０ｂの底壁部２１２ｂは、連通路２１０ａの周壁の壁部を構成し、薄く形成されている。凹所２１０ｂを閉じるように四角柱部２１０に組み付けたハウジング３００の底壁３３０には、サーモパイル型温度センサ３４０が嵌着されて、凹所２１０ｂの内部を介し底壁部２１２ｂに対向している。当該温度センサ３４０は、連通路２１０ａ内の液体から凹所２１０ｂ内に底壁部２１２ｂを通り放射される熱放射エネルギーに基づき上記液体の温度を検出する。 （もっと読む）