【課題】ホイルトラップ開口を大きくしてホイルトラップの効果を低減させたり、光の利用効率を低下させたりすることなく、ＥＵＶ光の強度を測定できるようにすること。
【解決手段】チャンバ１内にＥＵＶ光放射種を含む放電ガスを導入し、第１、第２の主放電電極３ａ，３ｂ間に高電圧発生部１３から高電圧パルス電圧を印加する。これにより、主放電電極３ａ，３ｂ間に放電ガスによる高密度高温プラズマＰを発生し、このプラズマから波長１３．５ｎｍのＥＵＶ光が放射される。放射されたＥＵＶ光のうち、ＥＵＶ集光鏡６の光軸上の光は、ホイルトラップ５の貫通孔５ｄや集光鏡６の中央支柱の貫通孔を通過し、反射部材１１ａにより光軸外に反射され、ＥＵＶ光モニター１１に入射する。制御部１４は、ＥＵＶ光モニター１１に入力したＥＵＶ光の強度信号に基づき、ＥＵＶ光強度が一定になるように、高電圧発生部１３から供給する電力を調整する。 （もっと読む）

【課題】 第一の反射面に続いて球面状の第二の反射面が形成された反射鏡において、反射膜を所期の通り確実に形成できると共に、異なる反射面であっても焦点位置の調整が極めて簡単に行えて、高い光の利用効率を実現することができ、しかも生産性が良好で低コストで製造できる、凹面反射鏡の製造方法を提供すること。
【解決手段】 第一、第二の反射面がこの順に光軸方向前方より配置されてなるガラス製凹面反射鏡の製造方法であって、前記凹面反射鏡の基体を、第一の反射面部と第二の反射面部との間に分割代が形成されるように熱間プレスにより一体的に成形する工程と、前記基体を分割代で切断して、基体を光軸の前後方向に分割する工程と、前記第一の反射面部及び前記第二の反射面部の各々に光反射膜を形成し、第一の反射面及び第二の反射面を構成する工程と、第一の反射面及び第二の反射面が連続するように、基体を再び組み合わせて一体化する工程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 第一の反射面に続いて球面状の第二の反射面が形成された反射鏡において、高輝度の点光源を集光する反射鏡の反射膜として使用する場合であっても、各反射面において高い反射特性及び反射効率が得られる反射鏡を提供すること。
【解決手段】 基体が実質的に一体で構成され、光放射口を前端に有する第一の反射面と、
この第一の反射面に連設され、入射光を焦点に戻す反射面よりなる第二の反射面とを有してなる反射鏡であり、第一の反射面は、前記基体の表面に、物理蒸着により膜厚が変位するよう誘電体多層膜が形成されて反射面が構成され、前記第二の反射面は、一面に反射面がされた反射部材が前記基体に嵌め込まれることにより当該第二の反射面が構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】１パルスあたりの出力エネルギーを従来以上に増加させたとしても、レーザチャンバに設けられた光学素子の劣化を抑制することできるエキシマレーザ装置を提供する。
【解決手段】所望するレーザ出力以上の範囲内で、レーザチャンバに設けられた光学素子に照射するレーザビームのエネルギー密度を低下させるように、レーザビームの幅を広げる。 （もっと読む）

【課題】 紫外線により水分を分解、除去する基板乾燥装置において、紫外線による水の分解作用により基板表面の水を除去できると共に、その後においても水分の付着を防止することができ、基板表面の吸着水を完全に除去することができる基板乾燥装置を提供すること。
【解決手段】 エキシマランプ及び基板を搬送する基板搬送装置を有し、基板の搬入出部を除いて略密閉された基板処理空間と、基板処理空間に向けて不活性ガスを供給するガス供給手段と、不活性ガスを回収するガス排出手段とを備え、ガス供給手段を上流側又は下流側に、ガス排出手段を下流側又は上流側に設け、不活性ガスを基板搬送方向と同方向、若しくは、基板搬送方向と反対方向に流過させる。また、ガス供給手段により不活性ガスを基板処理空間に向けて供給し、基板搬送経路の上流側と下流側に不活性ガスを回収するガス排出手段を備えた構造としてもよい。 （もっと読む）

【課題】
青色光の点灯時間の経過に伴う光量低下を抑制すると共に、表示面７４の色むらを防止したバックライトシステム１を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、外部電極型希ガス蛍光ランプと発光ダイオードからなる光照射口を有したバックライトシステムにおいて、前記発光ダイオードは青色発光ダイオードであって、前記発光ダイオードをランプ直下に配置したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 複数のフィラメントの点灯状態が独立に制御されて所望の光放射照度分布が得られ、しかも、大電力が投入可能であって各フィラメントについて急速な立ち上がり特性が得られるフィラメントランプおよび被処理体を均一に加熱することができる光照射式加熱処理装置を提供すること。
【解決手段】 フィラメントランプは、発光管の内部に、各々コイル状のフィラメントとリードとからなるフィラメント体の複数が管軸方向に並んで配設されてなり、各フィラメントに独立に給電される構成のものであって、各リードは、フィラメントのコイル軸方向に伸びるフィラメント連結部がフィラメントの端部の内部空間内に挿入されてその外周面がフィラメントに当接状態で配置されると共に、フィラメントの径方向に伸びる径方向部がフィラメントのコイルピッチ間に挟まれた状態で係止されて、フィラメントと連結されている。 （もっと読む）

【課題】 光源からの放射光を導光部材に効率よく入射させ、光出射面への伝送効率が高い線状光源装置を提供すること。
【解決手段】 長尺状の導光部材と光源を備え、前記導光部材は、２つの対向する側面と、光出射面と、光出射面に対向する光変向面とを有し、前記導光部材の一方の側面に前記光源からの光が照射される光入射面が設けられ、前記光入射面に対向して他方の側面に断面２次曲線からなる反射面が設けられ、前記入射面より入射した光を前記導光部材の側面に略平行に反射することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】始動性が優れるとともに、その後の定常点灯においても、場所的に均一な発光ができるとともに、かつ、高い発光効率を有する外部電極型希ガス放電ランプを提供することである。
【解決手段】希ガスが封入されたガラス管（１）の外面に一対の電極（２ａ，２ｂ）が配設されるとともに、このガラス管（１）内面の一部に導電性物質（４）を配置する。そして、電極（２ａ）は当該電極を構成する材料の抵抗値よりも高い抵抗値を有する高抵抗物質（６）が、当該電極と電気的接続を図るようにガラス管の外面に配置することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 始動性を改善すべく導電性物質を設けた場合においても、上記で説明したような沿面放電５が発光管内面に広範囲にわたって広がることを確実に抑制することにより、有効発光領域が縮小されることのない希ガス蛍光ランプを提供すること。
【解決手段】 内面に蛍光物質が塗布されるとともに希ガスが封入された発光管と、前記発光管の外表面に複数配設された帯状の外部電極と、これらの外部電極が配設された箇所に対応する発光管の内表面に設けられた導電性物質とを備えた希ガス蛍光ランプにおいて、前記導電性物質の近傍で、前記発光管の内部空間から見て、少なくとも一の外部電極を周方向に覆うように、誘電体層を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）