【課題】汚染物質の粒子の除去効率に優れ、洗浄による基板へのダメージも少ない洗浄方法の提供。
【解決手段】汚染物質の粒子の除去のために基板を洗浄液で洗浄する方法であって、前記洗浄液として、電気陰性度が前記汚染物質よりも大きく、分子容積が１３０Å^３以下である鎖状のハイドロフルオロカーボンおよびハイドロフルオロエーテルから選ばれる溶剤を用いることを特徴とする洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】１種類のマーキングによって精度良くフローの強制切断を行う。
【解決手段】入口側パケット転送装置及び中継パケット転送装置は、強制切断レートがトークン補充レートである第１のトークンバケツ処理と、強制切断レートに対して予め定められた定数倍がトークン補充レートである第２のトークンバケツ処理とを行い、第１のトークンバケツにおけるトークン量が予め定められた閾値を超える場合にはマーキングを行わず、第１のトークンバケツにおけるトークン量が予め定められた閾値以下である場合には第２のトークンバケツ処理に応じてマーキングを行い、出口側のパケット転送装置は、入口側のパケット転送装置から送信されるパケットのマーク割合と、受信レートと、定数とに基づいて切断後レートを算出し、入口側のパケット転送装置は、算出された切断後レートに基づいて、受付けたフローを切断する。 （もっと読む）

【課題】第２プレートで薄膜担持体の裏面を支持しつつ基板に押し付けて薄膜担持体の表面に形成した薄膜を基板に転写した際に、第２プレートが薄膜担持体に密着するのを防止しながら基板に薄膜を良好に転写することができる薄膜転写装置および薄膜転写方法を提供する。
【解決手段】第２プレート１９のうちシートフィルムＦの裏面を支持する上面３７は凹凸形状を有し、ＪＩＳ Ｂ ０６０１−２００１で定義される最大高さをＲｚ、粗さ曲線要素の平均長さをＲＳｍとしたとき、
２μｍ≦Ｒｚ≦１１μｍ、かつ、
ＲＳｍ≦２５μｍ
の関係を満たしている。 （もっと読む）

【課題】非イオン性界面活性剤と水とを含むファントム液剤、すなわち人体誘電率模擬液剤であって、粘度上昇や高い温度依存性を抑制した状態で、高周波帯域における電磁波の、人体に対する影響を試験することが可能な人体誘電率模擬液剤を提供する。
【解決手段】水性の非イオン性界面活性剤と、油性の非イオン性界面活性剤と、芳香族カルボン酸塩と、水とを含むようにして、人体誘電率模擬液剤を生成する。 （もっと読む）

【課題】マイクロメカニカル構造体の近設される可動部間の電気干渉を抑制するための電界遮蔽構造が、容易に製造できるようにする。
【解決手段】マイクロメカニカル構造体１００は、一端が固定された複数の可動部１３１ａと、隣り合う可動部１３１ａの間に可動部１３１ａとは離間して配置される電界遮蔽構造１１１ａとを備える。マイクロメカニカル構造体１００は、ＳＯＩ基板より構成されている。ＳＯＩ基板を構成するシリコン基部１０１の層に電界遮蔽構造１１１ａが形成され、埋め込み絶縁層１０２の上のシリコン層１０３に、可動部１３１ａが形成されている。また、電界遮蔽構造１１１ａおよび可動部１３１ａは、埋め込み絶縁層１０２に形成された開口領域に配置されるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】シートフィルムを用いた転写により、基板の上により均一な状態で薄膜が形成できるようにする。
【解決手段】「ルミフロン」の５ｗｔ％メチルエチルケトン溶液（剥離層溶液）をシートフィルム３０１にスピン塗布して塗布膜を形成する。メチルエチルケトンは、この表面張力がシートフィルム３０１の臨界表面張力を超えないので、上記塗布膜は、はじかれることなくまたムラなく形成できる。この後、形成した塗布膜の上に水を供給して数分保持する。このことにより、塗布した剥離層３０２は、表面にカルボキシル基が配置された状態となり、親水性を有する状態となる。 （もっと読む）

【課題】ネットワーク内の或る局においてクロックの周波数変動（周波数精度の劣化）が生じた場合において、当該局のみならず、その下位局など、階層的にクロックの周波数精度の劣化が生じる場合に、網全体を見渡し、より少ない局でのクロック従属元の切替を行う。
【解決手段】クロック供給システム１において、クロック供給装置２１は、入力クロックおよび出力クロックの周波数精度を計測し、周波数精度が劣化した場合に、警報として網同期クロック管理装置１００に送信する。網同期クロック管理装置１００は、クロック供給装置２１から警報を受信した場合に、当該警報発出局の上位局と、当該警報発出局の下位局群と、における警報出力の状況を検出し、所定の規則に従い、クロック従属元を切り替えるべき局を判定し、この局にクロック従属元の切替信号（制御信号）を出力する。 （もっと読む）

【課題】入力クロックの周波数がジッタやワンダ等により時間的に変動する場合においても、入力クロックの不具合の状態を的確に判定することができようにし、適切な保守が可能となる、クロック供給装置を提供する。
【解決手段】本発明のクロック供給装置においては、Ｎ系クロック受信部２２とＮ系ＭＴＩＥ計測部３１との間に設置されるワンダ・ジッタ除去フィルタ４１と、Ｅ系クロック受信部２３とＥ系ＭＴＩＥ計測部３２との間に設置されるワンダ除去フィルタ４２と、を有して構成される。そして、発振器部２６が有するローパスフィルタ特性のカットオフ周波数と、ワンダ除去フィルタ４１，４２の有するローパスフィルタ特性のカットオフ周波数とが一致あるいは略等しいように構成される。 （もっと読む）

【課題】対向する金属配線を有する配線構造において特性の安定化や性能の向上を図ると共に高耐圧化を実現する。
【解決手段】配線設計装置は、対向する金属配線間に与えられる最大の電位差をＶ_maxとしたときに配線間距離ｄ_minを与える関係式Ｖ_max＝Ａ×ｌｎ（ｄ_min／ｄ０）＋Ｂ（Ａ，Ｂは定数、ｄ０は基準となる距離）を予め記憶する記憶部１と、金属配線間の距離を、想定される最大電位差Ｖ_maxに対してＶ_max＝Ａ×ｌｎ（ｄ_min／ｄ０）＋Ｂにより得られる配線間距離ｄ_min以上として設定する設計部２とを備える。 （もっと読む）

【課題】側音を発生する電話機等の機器が接続されていない状態や電話機等の機器が通話状態にない状態で、他の機器を用いて通話を行った際に、疑似側音の発生を止める。
【解決手段】側音キャンセラ１０１は、送話信号ｘ（ｔ）をフィルタリングする可変フィルタ部１０２と、受話信号ｙ（ｔ）から可変フィルタ部１０２の出力信号ｙ’（ｔ）を減算する減算部１０４と、受話信号ｙ（ｔ）に含まれる送話信号成分である側音の二乗平均が小さくなるように、可変フィルタ部１０２のフィルタ係数を更新するフィルタ係数更新部１０３と、フィルタ係数に基づいて側音の有無を検出する側音検出部１０５と、側音有りと判定された場合に信号ｅ（ｔ）を選択し、側音無しと判定された場合に受話信号ｙ（ｔ）を選択するスイッチ部１０６とを備える。 （もっと読む）