【課題】後工程へ板状部材を搬送する搬送手段に特別な構成を追加することなく、転写後の板状部材に不純物が付着することを抑制して搬送することが可能な転写装置および転写方法を提供すること。
【解決手段】転写装置１は、第１接着シートＳ１を介してウェハＷを支持する第１シート支持手段２と、第１シート支持手段２で支持されたウェハＷの第２面Ｗ２に第２接着シートＳ２の一方の面を対向配置可能な第２シート支持手段３と、第１接着シートＳ１の他方の面に当接可能な当接面４１を有する当接手段４と、ウェハＷと第２接着シートＳ２とを相対接近させてウェハＷに第２接着シートＳ２を貼付する押圧手段５と、第１接着シートＳ１におけるウェハＷが貼付された貼付部分よりも外側の外周部分を切断する切断手段６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】床面に対する占有スペースを最小限に抑えながら、確実に板状部材から接着シートを剥離することが可能な剥離装置および剥離方法を提供する。
【解決手段】
剥離装置１は、第１接着シートＳ１を支持する第１シート支持手段２と、第２接着シートＳ２の他方の面側に接する支持面３１で第２接着シートＳ２を支持する第２シート支持手段３と、第１接着シートＳ１の他方の面に当接面４Ａを接触させ、第２シート支持手段３とでウェハＷを挟み込む当接手段４と、第１シート支持手段２と第２シート支持手段３とを支持面３１に直交する方向に相対移動させる移動手段５と、第１シート支持手段２と第２シート支持手段３とを支持面３１に平行な平面で相対回転させる回転手段６と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】装置の複雑化や大型化を招くことなく貼付効率および貼付精度を高めることができるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。
【解決手段】剥離板４１と対向させて立上板３１を設けておき、繰出手段による原反Ｒの繰り出しに伴って接着シートＳの起立部Ｓ２が立上板３１を通過することで、受動的かつ自動的に案内傾斜端縁３６および折曲傾斜端縁３７に沿って案内された起立部Ｓ２が折り曲げられる。従って、起立部Ｓ２を立ち上げたり折り曲げたりするための別途の駆動部が不要にでき、シート貼付装置１の構造を簡単化することができるとともに、装置の大型化を防止することができる。また、起立部Ｓ２を折り曲げるための別途の工程も不要にできることから、貼付サイクルを短縮して複数の接着シートＳを効率よく連続的に貼付することができる。 （もっと読む）

【課題】被着体に対して接着シートを所望の立ち上げ状態で確実に貼付することができるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。
【解決手段】繰出手段による原反Ｒの繰り出しに伴って起立部Ｓ２を立上手段３で立ち上げるとともに、突出補助手段７で立上維持部Ｓ４を突出させた接着シートＳを被着体Ｗの被着面ＡＳに貼付することで、貼付後の立上維持部Ｓ４を被着体Ｗの交差面Ｗ１に確実に接触させることができ、所定角度に立ち上げた起立部Ｓ２の立ち上げ状態を維持させることができる。 （もっと読む）

【課題】起立部を立ち上げた接着シートを被着体に対して確実に貼付することができるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。
【解決手段】起立部Ｓ２を立ち上げる立上手段３に対して、剥離シートＲＬから離れる方向に付勢した起立部Ｓ２を案内することで、立上手段３を剥離シートＲＬと接着シートＳの起立部Ｓ２との間に確実に入り込ませて、起立部Ｓ２を確実に立ち上げることができる。従って、起立部Ｓ２を立ち上げた状態の接着シートＳを剥離シートＲＬから剥離して被着体Ｗに貼付するという所定の動作を確実に行うことができ、装置故障や貼付不良を防止しつつ貼付動作の安定性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】起立部を立ち上げた接着シートを被着体に対して確実に貼付することができるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。
【解決手段】立上手段３によって起立部Ｓ２を立ち上げた接着シートＳにおける接着部Ｓ１を基材シートＢＳの他方の面側（接着剤層ＡＤの反対側）から押圧することで、接着剤が押圧ローラ５１に接着しないようにでき、貼付不良やシート破損を防止しつつ、接着部Ｓ１を被着面ＡＳに押圧して接着シートＳを被着体Ｗに貼付することができる。また、押圧ローラ５１のブラシ部５３で立上維持部Ｓ４を押し出し、この立上維持部Ｓ４を被着体Ｗの交差面Ｗ１に当接させることで、起立部Ｓ２の立ち上げ状態を良好に維持させることができる。 （もっと読む）

【課題】装置の複雑化や大型化を招くことなく、シートの材質等に関わらずに確実に立ち上げた状態で貼付することができるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。
【解決手段】剥離板４１と対向させて立上板３１を設けておき、繰出手段による原反Ｒの繰り出しに伴って接着シートＳの起立部Ｓ２が立上板３１を通過することで、受動的かつ自動的に案内傾斜端縁３６に沿って案内された起立部Ｓ２が折り曲げられる。従って、起立部Ｓ２を立ち上げるための別途の駆動部が不要にでき、シート貼付装置１の構造を簡単化することができるとともに、装置の大型化を防止することができる。また、起立部Ｓ２を折り曲げるための別途の工程も不要にできることから、貼付サイクルを短縮して複数の接着シートＳを効率よく連続的に貼付することができる。 （もっと読む）

【課題】複雑な貼付装置を用いなくても貼付でき、余計な作業を不要として確実に起立させることができる接着シートを提供すること。
【解決手段】被着体Ｗの被着面Ｗ１に接着部Ｓ１を接着するとともに、交差面Ｗ２に接着シートＳの起立維持部Ｓ３を当接させることで、起立部Ｓ２の起立状態を維持させることができ、接着シートＳを二つ折りにして癖付けしなくても起立部Ｓ２を立ち上げるだけでよいので、基材シートＢＳが塑性変形するような材質の接着シートＳであっても所定の起立角度で起立部Ｓ２を立ち上げた状態で貼付することができる。また、接着シートＳを二つ折りするための工程や装置を設ける必要がないので、貼付工程を効率化して貼付することができる。 （もっと読む）

【課題】起立部を立ち上げた接着シートを被着体に対して確実に貼付することができるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。
【解決手段】起立部Ｓ２に対向した第２帯部ＲＬ２を切り込みＲＬ３で第１帯部ＲＬ１から分離し、第２帯部ＲＬ２から剥離した起立部Ｓ２を立上手段３に案内して立ち上げることで、起立部Ｓ２を確実に立ち上げることができる。そして、起立部Ｓ２が立ち上げられるとともに接着部Ｓ１が第１帯部ＲＬ１に仮着された状態の接着シートＳを押圧手段５まで送ることで、この接着シートＳを被着体Ｗに押圧して貼付する際の位置ずれや脱落を防止することができ、貼付不良を防止しつつ貼付工程の迅速化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】貼付不良を防止して接着シートを被着体に対して確実に貼付することができるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。
【解決手段】立上手段３によって接着シートＳの起立部Ｓ２を立ち上げる際に、接着部Ｓ１を押え板４５で押さえ付けていることで、立上板３１からの押出し力に抵抗して接着シートＳの剥離シートＲＬへの仮着が維持でき、所定の仮着状態のままの接着シートＳを押圧手段５まで案内することができる。従って、接着シートＳの脱落や位置ずれ等の貼付不良を防止して、被着体Ｗの所定の貼付位置に対して確実に接着シートＳを貼付することができる。 （もっと読む）