【課題】装置の大型化を招くことなく、貼付速度を高めることができるとともに、シートの材質等に関わらずに確実に立ち上げることができるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。
【解決手段】剥離手段３および押圧手段４によって被着体Ｗに接着シートＳを貼付した後に、搬送手段７による被着体Ｗの搬送に伴って接着シートＳの起立部Ｓ２が立上板５１を通過することで、受動的かつ自動的に案内傾斜端縁５４に沿って案内された起立部Ｓ２が立ち上げられる。従って、起立部Ｓ２を立ち上げるための別途の駆動部が不要にでき、シート貼付装置１の構造を簡単化することができるとともに、装置の大型化を防止することができる。また、起立部Ｓ２を立ち上げるための別途の工程も不要にできることから、貼付サイクルを短縮して複数の接着シートＳを効率よく連続的に貼付することができる。 （もっと読む）

【課題】剥離剤層の高平滑性が得られ、かつ帯電を効果的に抑制することができるとともに、剥離剤層の脱落を抑制することのできる剥離フィルムを提供する。
【解決手段】基材１１と、基材１１の第１の面上に積層され、導電性高分子を含有し、厚さが３０〜２９０ｎｍである樹脂層１２と、樹脂層１２上に積層された剥離剤層１３とを備え、剥離剤層１３の表面における最大突起高さ（Ｒｐ）が１０〜１００ｎｍであるセラミックグリーンシート製造工程用の剥離フィルム１。基材１１の第２の面における算術平均粗さ（Ｒａ）は、５〜５０ｎｍであり、最大突起高さ（Ｒｐ）は、４０〜３００ｎｍであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】床面に対する占有スペースを最小限に抑えることが可能な転写装置および転写方法を提供すること。
【解決手段】転写装置１は、第２接着シートＳ２の他方の面側に接する支持面２１で、第２接着シートＳ２を支持する第２シート支持手段２と、第１接着シートＳ１を支持するとともに、第２シート支持手段２で支持された第２接着シートＳ２の一方の面に、ウェハＷを対向配置させる第１シート支持手段３と、第１接着シートＳ１に貼付されているウェハＷを、第２接着シートＳ２に押圧して転着する押圧手段４と、第１接着シートＳ１全体が、支持面２１と直交する方向に沿って第２接着シートＳ２から離間するように、第１シート支持手段３と第２シート支持手段２とを相対移動させる移動手段５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】種々の形状の接着シートを吸着保持するための対応を短時間で容易に行うことができるようにすること。
【解決手段】シート貼付装置１０は、帯状の剥離シートＲＬに接着シートＳが仮着された原反Ｒを繰り出す繰出手段１１と、この繰出手段１１で繰り出される接着シートＳを吸着保持するための複数の吸引口３１を有する保持手段１２と、この保持手段１２で保持した接着シートＳを被着体Ｗに押圧する押圧手段１５とを備えている。吸引口３１は塞ぎ手段１３により閉塞可能に設けられている。塞ぎ手段１３は、各吸引口３１を個別に独立して閉塞する。 （もっと読む）

【課題】接着シートを貼付するときに、当該接着シートを吹き飛ばす距離を長くでき、被着体への押圧力アップを図ることができるようにすること。
【解決手段】シート貼付装置１０は、帯状の剥離シートＲＬに接着シートＳが仮着された原反Ｒを繰り出す繰出手段１１と、この繰出手段１１で繰り出される接着シートＳを吸着保持してから被着体Ｗに貼付可能な保持押圧手段１２とを備えて構成されている。保持押圧手段１２は、複数の吸噴出口３１を備え、当該吸噴出口３１から気体を吸引することで接着シートＳを吸着保持可能に設けられ、吸噴出口３１から気体を噴出することで接着シートＳを吹き飛ばして被着体Ｗに押圧貼付可能に設けられている。吸噴出口３１は噴出強化手段４０を有し、この噴出強化手段４０は、気体を噴出する方向に向かってその開口面積が徐々に縮径する形状に設けられている。 （もっと読む）

【課題】偏光板等の光学部材に適用したときに、耐光漏れ性と耐久性の両方に優れた粘着剤および粘着シートを提供する。
【解決手段】伸長させたときに、最大応力が、破断時または４０００％伸長時の応力よりも大きい粘着剤であって、当該粘着剤は、重量平均分子量が５０万〜３００万の（メタ）アクリル酸エステル重合体を５０質量％以上含有し、ゲル分率が３０〜９０％であることが好ましく、特に、重量平均分子量が５０万〜３００万の第１の（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ）と、重量平均分子量が８０００〜３０万の第２の（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ｂ）を架橋してなる成分とを含有し、第１の（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ）１００質量部に対する第２の（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ｂ）の割合が、５〜５０質量部であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】エネルギー線硬化型粘着剤の密着性が高く、用いるコートされた芯材フィルムのブロッキングが発生しにくい表面保護用シートを提供する。
【解決手段】基材１の片面に、貼付する半導体ウエハの外径よりも小径のエネルギー線硬化型粘着剤層が形成されていない開口部と、該開口部を囲繞する少なくともエネルギー線硬化型粘着剤層２１、アンカーコート層２２および芯材フィルム２３からなる貼着部２とを有し、アンカーコート層を形成する組成物が、共重合ポリエステルウレタン樹脂を含み、該樹脂が、特定のポリエステルジオール（ａ）、特定のポリアルキレンエーテルグリコール（ｂ）及び多価イソシアナート化合物（ｃ）の重縮合反応により得られる構造からなり、かつ、（ａ）成分１００質量部に対し、（ｂ）成分４０〜８０質量部、（ｃ）成分２０〜５０質量部を含有し、数平均分子量が１０,０００〜１００,０００である。 （もっと読む）

【課題】エネルギー線硬化型粘着剤を用いる半導体ウエハ加工用粘着シート（例えばバックグラインドテープやダイシングテープ等）において、エネルギー線硬化型粘着剤と基材フィルムとの密着性が高く、ブロッキングを防止することができるアンカーコート層を形成可能なアンカーコート剤組成物を提供する。
【解決手段】アンカーコート剤組成物は、特定のポリエステルジオール（ａ）、特定のポリアルキレンエーテルグリコール（ｂ）、及び多価イソシアナート化合物（ｃ）の重縮合反応により得られる構造からなり、かつ、前記（ａ）成分１００質量部に対し、前記（ｂ）成分４０〜８０質量部、前記（ｃ）成分２０〜５０質量部を含有し、数平均分子量が１０,０００〜１００,０００である共重合ポリエステルウレタン樹脂を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】偏光板等の光学部材に適用したときに、耐光漏れ性と耐久性の両方に優れた粘着剤および粘着シートを提供する。
【解決手段】ゲル分率が４５〜９０％であり、ゾル分のゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）法による重量平均分子量が６０万〜２５０万である粘着剤。当該粘着剤は、重量平均分子量が６０万〜２５０万の第１の（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ）と、重量平均分子量が８０００〜３０万の第２の（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ｂ）を架橋してなる成分とを含有することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】半導体チップにゲッタリング性能を付与するために、チップに適用される樹脂膜のゲッタリング性能を、簡便に評価しうる方法を提供する。
【解決手段】ゲッタリング性能を評価する対象の樹脂膜をシリコンウエハの片面に形成する工程、該樹脂膜を硬化してシリコンウエハとの積層体を形成する工程、該積層体を金属イオンで汚染する工程、汚染後の該樹脂をエッチングする工程、該エッチングに用いた液の回収液と純水とで金属イオン濃度測定用試料を調整する工程、および該試料をＩＣＰ−ＭＳ等により含有金属元素量の定量を行う工程を含む。 （もっと読む）