本発明は、加熱処理または発熱を伴う処理を含む加工プロセスに適用されても、他の装置等に密着することがない粘着シートが提供することを目的としている。特に、本発明は、回路面の保護機能やエキスパンド性などの特性を付与して、表面保護シートやダイシングシートあるいはピックアップシートとして使用可能な、従来にない高温耐熱性を備えた半導体ウエハ加工用の粘着シートを提供すること目的としている。本発明に係る粘着シートは、第１の硬化性樹脂を製膜・硬化して得られた基材と、その上に第２の硬化性樹脂が塗布形成され硬化したトップコート層およびその反対面に形成された粘着剤層とからなることを特徴としている。 （もっと読む）

基材１１と粘着剤層１２とを備えた粘着シート１に、一方の面から他方の面に貫通する貫通孔２を複数形成する。貫通孔２の孔径は０．１〜３００μｍとし、孔密度は３０〜５０，０００個／１００ｃｍ^２とする。このような貫通孔２は、レーザ加工によって形成するのが好ましい。かかる粘着シート１によれば、粘着シート１の外観を損なうことなく、かつ十分な接着力を確保しつつ、空気溜まりやブリスターを防止または除去することができる。
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【課題】板状部材をその周縁部を除く部分（主要部分）を吸着テーブルに対してフローティングさせた非接触状態で吸着保持することによって、該板状部材をその面を傷付けることなく確実に保持することができる非接触型吸着保持装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る非接触型吸着保持装置１は、エアー（気体）の噴出によって負圧を発生するベルヌーイ吸着手段１０を吸着テーブル２に配置し、下面周縁部が前記吸着テーブル２上に載置されたウエハ（板状部材）Ｗの周縁部を除く部分（主要部分）を吸着テーブル２に対してフローティングさせた状態で、前記ベルヌーイ吸着手段１０によってウエハＷを保持してこれを吸着テーブル２に対して非接触で吸着保持することを特徴とする。又、前記吸着テーブル２に吸着保持された前記ウエハＷの下面中央部を上方へ加圧して該ウエハＷを略フラットに保持するための加圧手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】 被着体の搬送方向に制約されずにラベル貼付を可能とする汎用性を備えたラベル貼付装置を提供すること。
【解決手段】 ラベルＬを吸着保持する吸着プレート１１の一端側に押圧ロール１２が配置されている。この吸着プレート１１は回転機構１３を介して回転可能に設けられているとともに、揺動機構２６を介して揺動可能な状態でプレート支持体１４に支持されている。吸着プレート１１は角度変位手段１５によって角度変位可能とされ、この角度変位手段１５との連結を解除して平面内で所定角度回転させることで、押圧ロールの位置が変更可能とされている。 （もっと読む）

【課題】簡易な設備で定型および／または可変情報の印刷層を剥離層に設けた剥離シート、粘着ラベルの粘着層に前記印刷層を設けた剥離層を貼着した粘着ラベルおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の熱転写剥離シートは、剥離シート基材と剥離層とで構成された剥離シートと、前記剥離層上に熱転写により設けられた定型および／または可変情報を示す印刷層とを有し、前記剥離層は、オレフィン系熱可塑性エラストマーとポリエチレンとの両方を含有している剥離剤で構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 剥離シートに仮着されたラベルを一枚ずつ確実に剥離し、剥離されたラベルを被着体に効率良く貼付できるようにすること。
【解決手段】 リール１６から繰り出された原反Ｍの剥離シートＳを巻き取る巻取ロール２０と、剥離シートＳに仮着されたラベルＬを一枚ずつ剥離する剥離用ロール４１と、ラベルＬを吸着して被着体Ｗに貼付する吸着部材４８とを備えてラベル貼付装置１０が構成されている。剥離用ロール４１の外周面には針部材４３若しくは刃部材５０が設けられており、これらの部材は、ガイドロール３９と駆動ロール２４との間に位置する原反Ｍ、特に剥離シートＳに所定の張力が付与されることによって、剥離シートＳのみを貫通してラベルＬを剥離シートＳから剥離させる剥離力を付与する。 （もっと読む）

【課題】 検出範囲を狭くすることなく小形化が可能な磁性物体検出装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、近傍空間に交番磁界を放射させる磁界発生手段と、近傍空間の磁界を電気信号に変換する１又は複数のループアンテナと、各ループアンテナの電気信号に基づいて、磁性物体が近傍空間に存在することにより生じる磁気歪みの有無を分析して磁性物体の有無を判別する判別手段とを有する磁性物体検出装置に関する。そして、磁界発生手段が、棒状であってその側面が着磁されている１又は複数の永久磁石と、各永久磁石を回動させる回動駆動部とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 小形でしかも設置に関する自由度が高い磁性物体検出装置を提供する。
【解決手段】 本発明の磁性物体検出装置は、近傍空間に交番磁界を放射させる磁界発生手段と、近傍空間の磁界を電気信号に変換する１又は複数のループアンテナと、各ループアンテナの電気信号に基づいて、磁性物体が近傍空間に存在することにより生じる磁気歪みの有無を分析して磁性物体の有無を判別する判別手段とを有する。そして、少なくとも上記磁界発生手段と各ループアンテナとを取り付けた設置用部材が、ポール状の形状を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ポリマー鎖の生長開始末端や停止末端あるいは内部に、アニオン重合に対して安定な官能基を導入し得る新規な化合物、該化合物を用いて得られた官能基化ポリマー及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 下記の一般式（Ｉ）［ＲはＨ、Ｃ₁〜Ｃ₆のアルキル基又は式（II）で表されるビニリデン基に対してｍ−位に結合したアジリジン誘導体残基、Ｒ¹〜Ｒ⁴はＨ又はＣ₁〜Ｃ₆のアルキル基、ｎは１〜８の整数］で表される１，１−ジフェニルエチレン誘導体、
【化１】


ポリマー鎖の末端及び／又は内部に、前記１，１−ジフェニルエチレン誘導体由来の前記式（II）で表されるアジリジン誘導体残基を有する官能基化ポリマー、及び３種のプロセスにより、該ポリマーを製造する方法である。 （もっと読む）

【課題】テープ基材の傷等の異常を検出し、当該異常箇所を除いて切り込みを入れダイシングテープを形成した半導体ウエハのマウント装置及び方法を提供する。
【解決手段】ダイカット装置１３の上流側に設けられたＣＣＤカメラ等の検査装置１４は、ガイドロール２５の直前位置に設けられ、この検査一回の撮像でダイシングテープＤＴの面積をカバーすることが好ましい。検査装置１４による検査データは制御装置に出力され、異常が検出されたときは、その位置データに基づいて、当該異常が存在する領域が切り込みＣの領域内に含まれないようにする。一枚のダイシングテープＤＴを形成する領域内に異常が検出された場合には、その異常箇所が素通りするまで前述したクリアランスＣＬを保ったままダイカット装置１３の駆動が停止されることとなる。 （もっと読む）