【課題】Ｚ軸に平行な向きで振動する振動によるクリスタルインピーダンスの値が大きくなることを防ぎ生産性を向上させた音叉型屈曲水晶振動素子を提供する。
【解決手段】互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有し厚み方向がＺ軸に平行となっている平板状の基部の側面から二つ一対の振動腕部がＹ軸に平行な方向で同一方向に延設されており、それぞれの振動腕部のそれぞれの主面に溝部が形成され、両主面に形成されている溝部の底面が対向しないようにＹ軸に平行な方向に交互にずらした位置のうち、
溝部の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する前記振動腕部に最も近い辺の長さが前記溝部の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する前記振動腕部から最も遠い溝部の開口部の辺の長さと異なっていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電子デバイスの接続用端子と電子デバイス搭載部材の搭載パッドとが対向するように搭載することができ、電気的に接続させることができる生産性が向上されたモジュールを提供する。
【解決手段】一方の主面に凸部１１１ａを有する搭載パッド１１１が設けられ他方の主面に外部接続用端子Ｇが設けられ側面に鍔部収納空間１１２が形成されている電子デバイス搭載部材１１０と、搭載パッドの凸部に接触されている電子デバイス素子搭載部材接続用端子１２１が設けられている電子デバイス１２０と、電子デバイス収納空間１３１が形成され、一方の端部に鍔部１３３が設けられている脚部１３２が電子デバイス収納空間の形成されている面から延設されている蓋部材１３０と、を備え、電子デバイス収納空間内に電子デバイスが収納され、鍔部が鍔部収納空間内に収納されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】サーミスタ電極に外部からのノイズが重畳することを低減し、温度情報の差異を抑え、発振周波数の変動を低減させた圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電デバイスは、素子搭載部材１１０と、素子搭載部材１１０に搭載されており励振用電極１２２を有している圧電振動素子１２０と、素子搭載部材１１０の内部に設けられているサーミスタ電極１４０とを備えている。サーミスタ電極１４０の全体が、平面透視において圧電振動素子１２０の励振用電極１２２と重なっている。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、集積回路素子と素子搭載部材の基板部との間に充填部材が十分に設けられており、信頼性の向上された圧電デバイスを提供することを課題とする。
【解決手段】
本発明の圧電デバイスは、基板部の主面および集積回路素子の間に設けられた充填部材とを備えており、素子搭載部材は、壁部から集積回路素子の方向へ突出した凸部を有しており、凸部の基板部の主面からの高さが、集積回路素子の基板部の主面からの高さよりも高く形成されている。 （もっと読む）

【課題】 圧電デバイスが小型化された場合にも、圧電振動素子測定用端子に測定用プローブを当てることができ、安定して圧電振動素子を測定することができる圧電デバイスを提供することを課題とする。
【解決手段】 本発明の圧電デバイスは、第１および第２の主面を有している素子搭載部材と、素子搭載部材の前記第１の主面上に設けられた集積回路素子と、集積回路素子上に設けられた圧電振動素子と、集積回路素子および圧電振動素子を覆うように素子搭載部材に固定された蓋部材と、前記素子搭載部材の第２の主面に設けられた圧電振動素子測定用端子と、集積回路素子内に設けられており、圧電振動素子に電気的に接続されている第１の接続導体と、素子搭載部材内に設けられており、第１の接続導体および圧電振動素子測定用端子に電気的に接続されている第２の接続導体とを備えていることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】素子搭載部材に搭載されている電子部品素子を気密封止することができ、電子部品素子への外部からの電磁波の影響を抑えることができる電子デバイスを提供する。
【解決手段】電子部品素子１４０が素子搭載部材１１０に搭載され、電子部品素子が搭載されている素子搭載部材が蓋部材１２０と接合され素子搭載部材と蓋部材とで形成される空間内に電子部品素子が気密封止されている電子デバイスであって、素子搭載部材と蓋部材とで形成される空間内を向く蓋部材の面と素子搭載部材に接合される蓋部材の面に蓋部材用金属膜１２１が形成され、蓋部材に接合される素子搭載部材の面と素子搭載部材と蓋部材とで形成される空間内を向く素子搭載部材の面であって搭載パッドに接触しない位置に素子搭載部材用金属膜１１１が形成され、蓋部材用金属膜と素子搭載部材用金属膜とで素子搭載部材と前記蓋部材とが接合されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 振動特性の向上された圧電振動素子を提供すること。
【解決手段】 第１端部２１ａおよび第２端部２１ｂを有している圧電基板２１と、圧電基板２１の下面に設けられている励振電極２３ａと、圧電基板２１の第１端部２１ａに設けられており、かつ、励振電極２３ａに電気的に接続された端子電極２４ａと、圧電基板２１の第２端部２１ｂに設けられており励振電極２３ａよりも下方に伸びている脚部２２とを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】各々出力される信号に対して間欠動作を行い、消費電力を抑えた水晶発振器を提供する。
【解決手段】電源電圧が印加される電源電圧印加端子１１１と、電源電圧印加端子に接続される温度補償型水晶発振回路部１１０と、温度補償型水晶発振回路部及び電源電圧印加端子に接続される第一の緩衝増幅部１２０と、第一の緩衝部に接続され第一の緩衝部から信号が入力される第一の信号出力端子１２１と、第一の緩衝増幅部に接続され、第一の緩衝増幅部が動作又は停止する様に制御できる信号が入力される第一のＥ／Ｄ端子１２２と、温度補償型水晶発振回路部及び第一の緩衝増幅部に接続されている第二の緩衝増幅部１３０と、第二の緩衝増幅部に接続され第二の緩衝増幅部から信号が入力される第二の出力端子１３１と、第二の緩衝増幅部に接続され第二の緩衝増幅部が動作又は停止する様に制御できる信号が入力される第二のＥ／Ｄ端子１３２と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ウエハの貼り合せずれがなくウエハの間に異物が混入することなく接合することができる生産性が向上されたウエハの接合方法を提供する。
【解決手段】ウエハの主面同士を接合するウエハの接合方法であって、貫通孔が形成されている平板部と平板部の一婦の主面の縁に沿って平板部との接触面がＬ字形状となるように設けられているＬ字壁部とからなる接合用ジグにウエハを搭載するウエハ搭載工程と
、接合用ジグに搭載されているウエハにエキシマ照射ランプから放射された光を照射する照射工程と、貫通孔から吸引してウエハを接合用ジグに保持したまま一方の接合用ジグのＬ字壁部の面と他方の接合用ジグの平板部の側面とが接するように配置する接合用ジグ配置工程と、ウエハの面を接触させウエハを貼り合わせる貼り合わせ工程と、接合用ジグから貼り合わせた前記ウエハを取り外す取り外し工程と、を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】水晶振動素子の一方の励振電極のみに感応膜を容易に形成することができる感応膜形成用ジグと、感応膜が形成され所定の物質を検出するＱＣＭセンサ素子の検出精度を向上させることができる感応膜形成方法を提供する。
【解決手段】基部と脚部と固定部とからなる保持具に搭載されている水晶振動素子の一方の励振電極に感応膜を形成するときに用いる感応膜形成用ジグであって、第一のジグと第一のＯリングと第二のＯリングと第二のジグとから構成されており、第一のＯリングが第一のジグと水晶振動素子の水晶片とで挟まるように第一のジグに搭載され、第二のＯリングが第一のジグと第二のジグとで挟まれるように水晶振動素子が搭載されている第二のジグに搭載され固定することができ、水晶振動素子を搭載したときに、第一のＯリングに形成されている
貫通溝によって水晶振動素子の一方の励振電極のみが露出する構造となっていることを特徴とする。 （もっと読む）