【課題】温度情報の差異を低減し、発振周波数が変動することを防ぐ圧電デバイスを提供することを課題とする。
【解決手段】基板部と、この基板部の一方の主面に設けられる第１の枠部と、基板部の他方の主面に設けられる第２の枠部とからなる素子搭載部材と、第１の凹部空間内に設けられた圧電振動素子搭載パッドに搭載されている圧電振動素子と、第２の凹部空間内に設けられたサーミスタ素子搭載パッドに搭載されているサーミスタ素子と、第１の凹部空間を気密封止する蓋体と、第２の枠部の基板部の他方の主面と同一方向を向く面の４角に２個一対の圧電振動素子用電極端子と２個一対のサーミスタ素子用電極端子とから構成される外部接続用電極端子と、を備え、圧電振動素子用電極端子が、第２の枠部短辺側の隣り合う２つの角部に設けられ、前記サーミスタ素子用電極端子が、第２の枠部短辺側の異なる他の２つの角部に設けられていることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 レーザ装置の小型化に貢献する。
【解決手段】 レーザ光を２系統に分割するビームスプリッタと、第二の透明部材と、ビームスプリッタと第二の透明部材との間に設けられる中空部材と、を備え、ビームスプリッタが、中空部材と対向する面に反射膜を備えつつ反射膜上に第一接合膜を備え、第二の透明部材が、中空部材と対向する面に反射膜を備えつつ反射膜上に第二接合膜を備え、中空部材が、中空部分の開口周囲であってビームスプリッタと対向する面及び第二の透明部材と対向する面に第三接合膜を備え、ビームスプリッタの第一接合膜と中空部材の第三接合膜とが原子拡散接合法により接合され、第二の透明部材の第二接合膜と中空部材の第三接合膜とが原子拡散接合法により接合されて構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 レーザ発振波長のモニターの精度を向上させる。
【解決手段】 ガラス又は水晶からなる第一の透明部材及び第二の透明部材と、第一の透明部材と第二の透明部材との間に設けられる中空部材とを備え、第一の透明部材が中空部材と対向する面及びこの面と平行となる反対側の面に反射膜を備えつつ反射膜に第一接合膜を備え、第二の透明部材が中空部材と対向する面及びこの面と平行となる反対側の面に反射膜を備えつつ中空部材を向く側の反射膜に第二接合膜を備え、中空部材が第一の透明部材と対向する面及び第二の透明部材と対向する面に第三接合膜を備え、第一接合膜と第三接合膜とが接合され、第二接合膜と第三接合膜とが接合され、中空部材の中空の内部が真空又は大気圧の状態を維持する気密状態となって構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】サーミスタ素子へのノイズ重畳を低減し、温度情報の差異を抑え、発振周波数変動を防ぐ圧電デバイスの提供。
【解決手段】基板部１１０ａと、この基板部の一方の主面に設けられる第１の枠部１１０ｂと、基板部の他方の主面に設けられる第２の枠部１１０ｃとからなる素子搭載部材１１０と、第１の凹部空間内に設けられた圧電振動素子搭載パッド１１１に搭載されている圧電振動素子１２０と、第２の凹部空間内に設けられたサーミスタ素子搭載パッド１１２に搭載されているサーミスタ素子１４０と、第１の凹部空間を気密封止する蓋体１３０と、第２の枠部の４角に２個一対の圧電振動素子用電極端子と２個一対のサーミスタ素子用電極端子とから構成される外部接続用電極端子Ｇと、を備え、素子搭載部材に圧電振動素子とサーミスタ素子とを搭載した状態で、平面視で圧電振動素子に設けられる励振用電極の平面内にサーミスタ素子を位置させた構成。 （もっと読む）

【課題】 レーザ装置の小型化に貢献する。
【解決手段】 レーザ光を２系統に分割するビームスプリッタと、第二の透明部材と、ビームスプリッタと第二の透明部材との間に設けられる中空部材と、を備え、ビームスプリッタが、中空部材と対向する面に反射膜を備え、第二の透明部材が、中空部材と対向する面に反射膜を備え、ビームスプリッタの反射膜と中空部材とがオプティカルコンタクトにより接合され、第二の透明部材の反射膜と中空部材とがオプティカルコンタクトにより接合されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 レーザ発振波長のモニターの精度を向上させる。
【解決手段】 第一の透明部材と、第二の透明部材と、第一の透明部材と第二の透明部材との間に設けられる中空部材と、を備え、第一の透明部材が中空部材と対向する面に反射膜を備え、第二の透明部材が中空部材と対向する面に反射膜を備え、第一の透明部材の反射膜と中空部材とがオプティカルコンタクトにより接合され、第二の透明部材の反射膜と中空部材とがオプティカルコンタクトにより接合され、中空部材の中空の内部が真空又は大気圧の状態を維持する気密状態となって構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】素子搭載部材の側面からはみ出るように露出されている電解めっき用配線パターンが搬送治具に接触することを低減し、圧電デバイスの生産性を向上させることができる圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電デバイスの製造方法は、素子搭載部材１１０の側面からはみ出るように露出されている電解めっき用配線パターン１１３をレーザにより除去する電解めっき用配線パターン除去工程と、導電性接着剤ＤＳによって、素子搭載部材１１０に圧電振動素子１２０を搭載する圧電振動素子搭載工程と、導電性接着剤ＤＳを加熱硬化させ、圧電振動素子搭載パッド１１１と前記圧電振動素子１２０とを導通固着する圧電振動素子固着工程と、蓋部材１３０と素子搭載部材１１０とを接合するための蓋部材接合工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】 バリを無くし、ＣＩ値を向上させる。
【解決手段】 ウェットエッチングを用いて水晶ウェハに複数の水晶振動片を設ける水晶振動片の製造方法であって、ウェットエッチングで用いられるエッチャントに前記水晶ウェハを浸す時間を、前記水晶ウェハの厚みが貫通するまでにかかる時間の３．５倍以上とし、ウェットエッチングで用いられるエッチャントに前記水晶ウェハを浸す時間をＴｐ、水晶ウェハの厚みをｔ１、単位時間当たりにウェットエッチングにて削れる水晶の厚みをｔ２、としたとき、前記水晶ウェハをエッチャントに浸す時間をＴｐ≧３．５×ｔ１／ｔ２としたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】誘電体膜を備えることなく、円偏光をアジマス偏光に変換することができる偏光変換素子及び生産性のよい偏光変換素子の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】右回転の円偏光をアジマス偏光に変換する偏光変換素子であって、両主面が二等辺三角形となっている三角柱形状となっている複数の１／４波長板から主に構成され、１／４波長板の一方の主面であって等しい二辺が成す角を頂角とし、１／４波長板の一方の主面であって等しい二辺が接する点を頂点とし、１／４波長板の一方の主面であって等しい二辺を結ぶ辺を底辺としたとき、出射側から見た場合、
１／４波長板の光学軸が頂点から底辺に引いた垂線を反時計回りに４５°面内回転された位置に設けられており、１／４波長板の頂角が合わされて３６０°となるように１／４波長板の側面同士が接合され、両主面が正多角形となっている正多角柱形状に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】誘電体膜又は１／２波長板を備えることなく、直線偏光をラジアル偏光に変換することができる偏光変換素子と生産性のよい偏光変換素子の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】直線偏光をラジアル偏光に変換する偏光変換素子であって、両主面が二等辺三角形の三角柱形状となっている複数の旋光板から構成され、旋光板の一方の主面の等しい二辺が成す角を頂角とし、旋光板の一方の主面の等しい二辺が接する点を頂点とし、旋光板の一方の主面の等しい二辺を結ぶ辺を底辺とし、旋光板の一方の主面の頂点から底辺に垂直に引いた直線を垂線としたとき、旋光板の頂角が合わされて３６０°となるように複数の旋光板の側面が接合され、正多角柱形状に形成されており、それぞれの旋光板に直線偏光が入射されるとき、それぞれの旋光板の垂線に垂直となっている電気ベクトルを備えた直線偏光が出射されることを特徴とする。 （もっと読む）