説明

CKD株式会社により出願された特許

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【課題】位相シフト法を利用した三次元計測を行うにあたり、より高精度な計測を実現することのできる三次元計測装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置1は、プリント基板2に対し縞状の光パターンを照射する照射装置4A,4Bと、これを撮像するカメラ5と、撮像された画像データを基に三次元計測を行う制御装置6とを備えている。制御装置6は、第1照射装置4Aから第1光パターンを照射して得られた画像データを基に第1計測値を取得し、第2照射装置4Bから第2光パターンを照射して得られた画像データを基に第2計測値を取得する。そして、両光パターンが照射される全照射領域に関しては、両計測値から特定される値を当該領域の高さデータとし、いずれか一方のみ照射される一部照射領域に関しては、前記全照射領域の高さデータから算出した補完データを基に当該領域に係る計測値の縞次数を特定し、当該領域に係る高さデータを取得する。 (もっと読む)


【課題】複数の蓄熱タンクおよび循環ポンプを備えた温調ユニットの並設と、タンク内の液体を循環させる循環路を形成した、より安定した温度制御が可能な温度制御システムを提供する。
【解決手段】第1温度の液体を貯蔵する低温温調ユニット74、第1温度より高い第2温度の液体を貯蔵する高温温調ユニット75、低温温調ユニットからの流体を流す低温流路76、高温温調ユニットからの流体を流す高温流路77、流体を循環させるバイパス流路73、合流部PAにて低温流路、高温流路及びバイパス流路の3流路から合流した流体を流す結合流路71、結合流路から流体を流し、半導体製造装置100に用いられる部材を冷却又は加熱する調温部70、合流部の上流側にて前記3流路に取り付けられた可変バルブ79の弁開度を制御し、前記3流路の流量分配比率を調整する制御装置90を有する温度制御システム1が提供される。 (もっと読む)


【課題】小型化したパイロット式電磁弁を提供する。
【解決手段】流路ブロック体は、ブロック本体5、吸気ポートが形成された吸気ブロック体10及び排気ポートが形成された排気ブロック体20を備えるものである。さらに、吸気ブロック体10はブロック本体5の一側面5Aに結合し、排気ブロック体20はブロック本体5の他側面5Bに結合し、第1弁体53乃至第4弁体58は、ブロック本体5と吸気ブロック体10の間、及びブロック本体5と排気ブロック体20の間に狭持される。 (もっと読む)


【課題】面に接した液体を所望の方向へ優先的に広げることのできる液体制御装置を提供する。
【解決手段】液体制御装置30は液体の広がり方を制御する。液体制御装置30は、液体の供給される上面31cを有する本体31と、網目状に編まれ、上面31cに接するように設けられたメッシュ47と、メッシュ47に対して本体31側と反対側で接するように設けられたメッシュバンド52と、を備える。メッシュバンド52は、網目状に編まれて形成されている。本体31には、その内部から上面31cへ液体を供給する供給口が設けられ、メッシュ47及びメッシュバンド52は、供給口を覆うように設けられている。 (もっと読む)


【課題】電磁弁を介して給排される圧力流体の流量の大流量化を図ることのできる電磁弁マニホールドを提供する。
【解決手段】弁ボディ32の第1側面32bをスプール弁体の軸方向一端側よりも軸方向他端側の方が弁孔から離間するように形成するとともに、弁ボディ32の第2側面32cをスプール弁体の軸方向他端側よりも軸方向一端側の方が弁孔から離間するように形成した。そして、マニホールドベース2の前面2bに開口する第1出力流路14に接続される第1出力ポート38の対向面32aでの開口部38aを、第1排気ポート36の対向面32aでの開口部36aよりも第1側面32b側に膨出した形状に形成した。 (もっと読む)


【課題】流量制御機器の流量精度を常時監視しつつ、必要な場合には、再検定又は流量監視ユニット自体の自己診断を含む、より信頼性の高い流量検定を行う。
【解決手段】ガスを流量制御機器を経由してから所定のプロセスチャンバに供給する複数のプロセスガスラインに配設し、流量制御機器の前後におけるガス圧の下降又は上昇を測定することで流量制御機器の流量監視を行うガス流量監視システムにおいて、プロセスガスラインの内、選択した任意のプロセスガスラインの流量制御機器の上流側流路に備える第1流量監視ユニットと、プロセスチャンバの上流側流路から分岐する排出流路に備える第2流量監視ユニットと、第1流量監視ユニットによって流量制御機器の流量を常時監視するとともに、第1流量監視ユニットが複数回流量異常と検知した時に第2流量監視ユニットによって流量制御機器の流量異常の有無を再検定するよう指令する制御部とを有する。 (もっと読む)


【課題】シリンダ内径に制約されることがなく、ピストンロッドを配置できる流体圧シリンダを提供すること。
【解決手段】ピストン27,28の往復方向においてピストン27,28の外周側面には、径方向外側へ突出する突出部42,43が設けられ、当該突出部42,43にピストンロッド29,30の基端が固定される。そして、当該ピストン27,28及び突出部42,43の移動に応じてピストンロッド29,30が移動するように構成した。これによれば、貫通孔13,14の内径(すなわち、シリンダ内径又はピストン27,28の外径)にかかわらず、ピストン27,28の外径よりも外側の位置であれば、ピストンロッド29,30の位置を任意に設定することができる。 (もっと読む)


【課題】面に接した液体を所望の方向へ優先的に広げることのできる液体制御装置を提供する。
【解決手段】液体制御装置30は液体の広がり方を制御する。液体制御装置30は、液体の供給される上面31cを有する本体31と、網目状に編まれ、上面31cに接するように設けられたメッシュ47と、を備える。本体31の内部には、上面31cを加熱するヒータが設けられている。本体31には、その内部から上面31cへ液体を供給する供給口が設けられている。上面31cには、供給口からヒータと反対側への液体の広がりを抑制する溝41が設けられている。 (もっと読む)


【課題】ネジ軸の軸方向の小型化を図ることのできる電動アクチュエータを提供する。
【解決手段】電動アクチュエータ1の送りネジ機構4は、モータ3の出力軸21に軸継手22を介して一体回転可能に連結されるとともにケース2内に設けられた転がり軸受15により回転可能に支持されるネジ軸23、及びネジ軸23の送りネジ部23cに螺合する送りナット24を備えた。また、ネジ軸23における送りナット24が螺合する送りネジ部23cを、軸方向において転がり軸受15と対向するように形成した。そして、軸継手22を構成するネジ軸側カップリング32を、送りネジ部23cとの間で転がり軸受15を挟み込むようにネジ軸23に連結した。 (もっと読む)


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