説明

スピードファムクリーンシステム株式会社により出願された特許

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【課題】温水引き上げ乾燥や、マランゴニー乾燥といった、液面より被乾燥基板を引き上げ乾燥を行なう際に発生する水滴残渣をなくし、安定した品質で乾燥を可能とさせる乾燥ジグを提供する。
【解決手段】乾燥ジグ1は、磁気記録媒体の基板洗浄後の温水引き上げ乾燥方式又は、マランゴニー乾燥方式において、縦置きに配列された複数枚の被乾燥基板の外形を支持し、支持部を剣先形状にすることにより基板との接点を小さくし、且つ支持部に液滴を吸引する開口を有する。 (もっと読む)


【課題】中央孔を有する円環形のワークの表面の汚れ、特に中央孔の孔縁に付着した落ちにくい汚れを、螺旋状の突条を外周面に備えたロールブラシを使用して効率的かつ確実に除去できるようにする。
【解決手段】洗浄液3中で回転するワーク1の両面の中央孔1aの下端部に近接する位置に、突条22を外周面に有する一対のロールブラシ4a,4bを当接させ、上記突条22は、ブラシの軸線方向に真っ直ぐ延びる直線部22aと、該直線部22aの両端からそれぞれ螺旋状に延出して螺旋の巻き方向が互いに逆向きである螺旋部22b,22cとで形成し、上記直線部22aをワーク1の中央孔1aの孔縁に接線状に摺接させて該孔縁に付着した汚れを除去し、上記螺旋部22b,22cをワーク1の環状面1bに摺接させて該環状面1bの汚れを除去する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、洗浄漕部の下流側から洗浄液を排出するに当たり、泡の発生を防止し、従来のように排液漕部から洗浄漕部に逆流した泡が洗浄能力を低下させることがないだけでなく、洗浄漕部内の洗浄水の流れ分布の調整をより容易に行うことができる流水式洗浄装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明の流水式洗浄装置1においては、洗浄漕部3の最下流側に設けられている排水プレート41には一方が洗浄漕部3に向かって開口する複数の排水パイプ45が取り付けられている。排水パイプ45のそれぞれは各流量調整弁51を備えた流量調整装置5を通った後、まとめられてポンプPの吸入口に接続されている。ポンプPの吐出口側には、ポンプPから吐出された洗浄液の汚染物を取り除いて給液漕部へ循環供給するために洗浄液フィルターFが設けられている。 (もっと読む)


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