【課題】形成したポリシリコン膜の状態を、客観的に、非接触で、精度良く、自動的に評価することができるポリシリコン膜評価装置の提供を目的としている。
【解決手段】 アモルファスシリコン膜をアニール処理することによって形成されたポリシリコン膜を評価するポリシリコン膜評価装置１である。ステージ上のポリシリコン膜が形成された基板Ｗに可視光を照射することによって基板Ｗ上のポリシリコン膜の表面画像を撮像してオーフォーカスする可視光観察光学系４や紫外光の照射による紫外光観察光学系６などを備える。そして、紫外光観察光学系によって得られたポリシリコン膜の表面画像からポリシリコン膜の膜表面の空間構造の直線性および周期性を評価し、この直線性および周期性の評価結果に基づき、ポリシリコン膜の状態を評価する。 （もっと読む）

【目的】 エンコーダからの信号をＡ／Ｄ変換器でディジタル信号に変換して内挿回路に供給するようになった内挿装置において、Ａ／Ｄ変換器の出力ディジタル信号の下位ビットのふらつきに因る精度の低下を防止すること。
【構成】 変位検出器から供給されるアナログ信号をアナログ・ディジタル変換器Ａ／Ｄでディジタル信号に変換し、このディジタル信号をディジタル・ローパス・フィルタＤＦに供給し、そこで信号中の高周波成分、即ち、下位ビットの変動を除去して、内挿回路ＩＰＬに供給する。また、上記ディジタル・ローパス・フィルタの後にヒステリシス回路を設けるとフィルタだけでは取り除けなかった雑音を除去することができる。 （もっと読む）