【課題】試験室に外気を導入することによって常温曝し試験を行う場合でも、冷却器の蒸発器への着霜を低減することが可能な環境試験装置を提供する。
【解決手段】この環境試験装置は、乾燥した冷却ガスを試験室Ｓ１に供給可能な供給装置１４と、低温曝し試験を行うために低温ダンパ７ａ，７ｂに吸入口２ｐ及び吹出し口２ｑを開放させるのに先立って供給装置１４のガス供給部２０に試験室Ｓ１への乾燥した冷却ガスの供給を開始させるとともに、その後、試験室Ｓ１の温度が降下する過程においてもガス供給部２０に試験室Ｓ１への乾燥した冷却ガスの供給を行わせる制御装置１６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】シロキサンガスが混入された雰囲気中で行う試験方法を改良し、湿度についても安定して制御することができる試験方法及び試験装置を提供することを課題とする。
【解決手段】環境試験装置１は、ガス供給装置２と試験室７によって構成されている。ガス供給装置２はシロキサンガス供給部３と加湿空気供給部５とに分けることができる。シロキサンガス供給部３は、高濃度ガス流路１０と、無ガス空気通流路１２を有し、二つの流路１０，１２が合流されたものである。加湿空気供給部５は、水蒸気飽和空気生成装置８ａを通過させる高湿度流路１０ａと、乾燥空気流路１２ａを有し、二つの流路１０ａ，１２ａが合流されたものである。水蒸気飽和空気における水蒸気の含有量に関する情報に基づき、水蒸気飽和空気と乾燥空気とを混合した後の湿度が目標湿度となる様に水蒸気飽和空気と乾燥空気の混合割合Ｒ：（１−Ｒ）を決定する。 （もっと読む）

【課題】シロキサンガス雰囲気中で行う試験方法を改良し、ガス濃度の信頼性が高く、かつ安定した濃度で実験を行うことができる試験方法を提供することを課題とする。
【解決手段】環境試験装置１は、ガス供給装置２と試験室７によって構成されている。ガス供給装置２はシロキサンガス供給部３と加湿空気供給部５とに分けることができる。シロキサンガス供給部３は、有機ガス飽和空気生成装置８を通過させる高濃度ガス流路１０と、無ガス空気通流路１２を有し、二つの流路１０，１２が混合部１５で合流されたものである。加湿空気供給部５は、高湿度流路１０ａと、乾燥空気流路１２ａを有し、これが混合部１５ａで合流されたものである。各流路には流量調節装置１７，１８，１７ａ，１８ａが設けられている。有機ガス飽和空気内における有機ガスの含有量に関する情報に基づき、有機ガス飽和空気と無ガス空気の混合割合ｒ：（１−ｒ）を決定する。 （もっと読む）

【課題】 内槽と外装に挟まれた内部空間を除湿できる断熱壁、及び前記断熱壁を備えた環境試験装置の提供を目的とする。
【解決手段】 試験室１０で被試験物に対する試験又はワークに対する処理を行う断熱箱４の壁体を構成する断熱壁３であって、内壁５と、外壁６とを有し、内壁５及び外壁６に挟まれた内部空間７内に断熱材８が配された断熱壁３において、内部空間７の内外を連通する連通管２０が設けられ、連通管２０を介して内部空間７内の圧力が調節され、内部空間７内又は連通管２０に除湿室１５が設けられ、除湿室１５を除湿する。 （もっと読む）

【課題】製造装置に加工を施すことなく、半導体デバイス製造工程での汚染微粒子の発生度合いを評価できるようにする。
【解決手段】汚染評価方法には、半導体デバイス製造工程中の所定の工程の前の段階でワークの表面の汚染微粒子の形状及び分布に関する特性値を測定する第１測定ステップＳＴ２と、前記所定の工程を通されたワークの表面の汚染微粒子の形状及び分布に関する特性値を測定する第２測定ステップＳＴ３と、第１測定ステップＳＴ２及び第２測定ステップＳＴ３での測定結果に基づいて、前記所定の工程での汚染微粒子の発生度合いを評価する評価ステップＳＴ４と、が含まれている。 （もっと読む）

【課題】空気の温度及び湿度を低温・高湿状態に安定して高精度で調節できる環境調節方法及び恒温恒湿試験装置を提供する。
【解決手段】空気の温度を当初の状態の空気の温度より低い最終目標温度に調節し、かつ空気の湿度を目標湿度に調節する環境調節方法であり、先に空気の絶対湿度を目標絶対湿度に調節し、次に空気の温度を最終目標温度に調節する。恒温恒湿装置１は、二つの恒温恒湿装置Ａ，Ｂがダクト６，８によって接続された形状をしている。装置Ａ側は、目標絶対湿度の空気を作る装置であり、中間環境調節部２が内蔵されており、空気室１０と第一空気調節手段１１を有する。装置Ｂ側は、最終目標環境を作ると共に被試験物を設置する空間を有する装置であり、最終環境調節部３及び試験室５によって構成されている。 （もっと読む）

【課題】供試体に含まれた液体が過冷却される状態を作り出すとともに、その液体が過冷却状態から固体に相変化して急激に体積膨張する状況を再現可能な過冷却試験装置及び過冷却試験方法を提供する。
【解決手段】この過冷却試験装置は、供試体Ｗを収容可能な試験槽２と、試験槽２内に収容された供試体Ｗに含まれる液体を過冷却状態にさせることが可能な冷却パターンで試験槽２内を冷却する冷却部６と、試験槽２内に収容された供試体Ｗに含まれる過冷却状態の液体の固体への相変化を発生させるための相変化発生装置１１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】長期間の継続運転が可能であるとともに、省エネルギー化を図ることが可能な温湿度処理装置を提供する。
【解決手段】この温湿度処理装置２は、処理空間Ｓ１の温度を検出する空間温度センサ１２ａと、処理空間Ｓ１が外部空間よりも高温の場合に、ヒートパイプ現象を生じる湿度検出本体部１２ｂと、その湿度検出本体部１２ｂのうち作動流体が蒸発する部分の外面温度を検出する外面温度センサ１２ｃと、空間温度センサ１２ａの検出温度と外面温度センサ１２ｃの検出温度とに基づいて、処理空間Ｓ１の相対湿度を算出する演算部１２ｄと、空間温度センサ１２ａによって検出される処理空間Ｓ１の温度に基づいて処理槽４内の空気を加熱可能な加熱部８と、演算部１２ｄによって算出される処理空間Ｓ１の湿度に基づいて処理槽４内の空気を加湿可能な加湿部６とを備え、処理槽４には、その内外で換気を行うための換気口４ｗが設けられている。 （もっと読む）

【課題】電気的特性試験の信頼性が高く、短時間で試験可能な半導体試験装置および測定装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る半導体試験装置１は、プローバ２、測定装置３、電子制御装置４を備えており、半導体素子１０のゲート漏れ電流測定、ゲート・ドレイン間およびゲート・ソース間の逆耐圧測定、ゲート・ソース間の降伏電圧測定、およびゲート閾値電圧測定が可能である。測定装置３は、可変電圧源Ｅ１と、可変電圧源Ｅ２と、電流計Ｉ１と、電流計Ｉ２とを備えている。プローバ２の各プローブ電極２ａ〜２ｃは、半導体素子１０の各電極と１対１に接触している。 （もっと読む）

【課題】正確な湿度分布を得ることが可能な恒温恒湿器を提供する。
【解決手段】断熱材で覆われ、内部の１点の温湿度を測定するための温湿度測定手段を備えた内槽と、前記内槽の内部の温度および湿度を変化させる、加熱器、冷却器、加湿器、および送風機を備え、高温高湿状態の試験に用いる恒温恒湿器であって、前記内槽の内表面に複数の温度センサーを設け、さらに、前記内槽の内表面から所定の間隔を離して風速計を設けており、前記温湿度測定手段によって測定した前記内槽の内部の１点の温湿度、前記温度センサーによって測定した温度、および前記風速計によって測定した風速から、前記内槽の内部の湿度分布を算出する制御装置を備え、前記制御装置は、前記温度センサーによる測定温度を湿球温度とみなし、前記温湿度測定手段による測定温度を乾球温度とみなすことで湿度分布を算出する。 （もっと読む）