説明

エスペック株式会社により出願された特許

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【課題】加湿水収容部のメンテナンスにかかる作業負担を軽減することが可能な調温調湿装置を提供する。
【解決手段】この調温調湿装置では、加湿部6は、空調室2b内に着脱可能に配置され、加湿水を溜める加湿皿12と、処理室2aから空調室2bへ流れ込んだ空気が接触する位置で加湿皿12の内外に跨るように設けられ、内部に封入された作動流体が加湿皿12の外部に配置された部分の内部で蒸発するとともにその蒸発した作動流体が加湿皿12の内部に配置された部分の内部で凝縮するヒートパイプ現象を生じるように構成された熱交換促進部16とを有する。 (もっと読む)


【課題】内部の液体が外部へ供給されるに従って空気をタンク内に供給できるような弁構造を有し、且つ当該弁構造を介して液体が漏れないような液体タンクの構成を提供する。
【解決手段】給水タンクに備えられる弁構造9は、弁体22と、この弁体22を支持する支持孔31と、鋼球28と、を備える。弁体22は、弁座21に接離する傘部23と、この傘部23から突出される棒部24と、を備える。鋼球収容空間27は凹部30を備える。弁構造9が給水タンクの側部に位置し、弁座21が垂直向きで水面に没している選択図の状態では、鋼球28は棒部24に接触せず、弁体22は水圧により弁座21に接触して閉弁する。一方、給水タンクを選択図の状態から90°回転させて、給水タンクの上面側に弁構造9が来るようにすると、鋼球28が自重で凹部30に落ち込むとともに棒部24を傾動するので、傘部23が弁座21から離れて開弁する。 (もっと読む)


【課題】検査対象となる試料の結露箇所および結露量の観測および制御が可能な結露試験装置を提供する。
【解決手段】
チャンバ内にセットした試験対象となる試料に結露を生じさせる結露試験装置であって、上記試料にミストを噴射する少なくとも1つのミストノズルと、上記チャンバ内にセットされた上記試料の温度を変化させるクーラーおよびヒータと、上記チャンバ外から上記チャンバに設けられた開口を通して上記試料の温度変化を計測するサーモビューワーと、上記試料に風を送る送風機と、上記クーラー、上記ヒータ、上記送風機、上記ミストノズル、上記サーモビューワーを制御する制御装置を備え、上記チャンバの開口には、エアカーテンあるいは赤外線透過材料からなる閉鎖部材が設けられ、上記サーモビューワーによって、結露試験時の上記試料の温度分布および温度変化を計測し、得られた計測データを基に上記制御装置で上記試料の結露分布および結露量を求める。 (もっと読む)


【課題】ウェーハレベル信頼性試験において、長期にわたって良好な電気的接触を確保することが可能となる半導体評価装置を提供する。
【解決手段】プローブ5を定電流回路7に接続するか、プローブ5を電圧測定回路8に接続するかを切り替えるスイッチS1と、プローブ3を定電流回路7に接続するか、プローブ3を電圧測定回路8に接続するかを切り替えるスイッチS2と、プローブ4を定電流回路7に接続するか、プローブ4を電圧測定回路8に接続するかを切り替えるスイッチS3と、プローブ6を定電流回路7に接続するか、プローブ6を電圧測定回路8に接続するかを切り替えるスイッチS4と、電極F+、電極F−、電極S+及び電極S−の少なくとも1つの電極上において所定時間後に絶縁膜が成長する電極に接続されたプローブを定電流回路7に接続するようにスイッチS1〜スイッチS4を制御する切替制御回路15とを備えている。 (もっと読む)


【課題】経時的絶縁膜破壊試験等のウェーハレベル信頼性試験において、長期にわたって良好な電気的接触を確保する手段の提供。
【解決手段】電流I1を発生する定電流回路11と、電流I2を発生する定電流回路12と、プローブ3が有し、プローブ3と定電流回路11とを接続するプローブ接続部3aと、プローブ4が有し、プローブ4と定電流回路12とを接続するプローブ接続部4aと、電極F+と接続されるプローブ13と、電極F−と接続されるプローブ14と、定電流回路11とプローブ13との間を開閉するスイッチS1と、定電流回路12とプローブ14との間を開閉するスイッチS2と、電極F+及び電極F−の何れか1つの電極上において絶縁膜が成長する所定時間が経過する前はスイッチS1及びスイッチS2を開き、上記所定時間の経過後に、スイッチS1及びスイッチS2を閉じる制御回路10とを備える。 (もっと読む)


【課題】小型化が可能であって測定対象の抵抗値を精度良く測定できる抵抗測定装置を実現する。
【解決手段】本発明の抵抗測定装置1は、試料Rtの抵抗値を測定するための抵抗測定装置であって、電圧源Vsと可変電圧源Vbと抵抗R1〜R3とを備え、抵抗R1と抵抗R2との間の電圧V1が、抵抗R3と試料Rtとの間の電圧V2と等しいとき、電圧源Vsの出力電圧V3と可変電圧源Vbの出力電圧V4は平衡状態になる。電圧V1(電圧V2)、電圧V3および電圧V4のいずれか2つの電圧を測定することにより、試料Rtの抵抗値を精度良く算出できる。 (もっと読む)


【課題】ガラス基板を熱処理する熱処理装置を改良するものであり、メンテナンスを容易に行うことができる熱処理装置を開発する。
【解決手段】熱処理室12の略中央部には、基板換装システム18が配されて、基板換装システム18に載置棚16が設けられている。載置棚16の全部の段部23には、中央部分の小梁31が欠落した欠落部37を有し、当該欠落部37によって吹き抜け部38が設けられている。吹き抜け部38に作業者が入ることができる。 (もっと読む)


【課題】本発明は、通気量を調整する部材の劣化が殆どなく、風量調整の際に通気流路近傍で粉塵を発生させない通気装置を提供することを目的とした。
【解決手段】気体が流通する開口部76を備えた通気装置61であって、シート66を有し、シート66の一端が開口部76の近傍に固定されている。シート66の他端は、開口部76を遮る方向に移動させることで、シート66の中間部が開口部76を通過し、その際に開口部76を通過する気体の圧力により開口部76に押圧される。そして、開口部76に押圧されるシート66を移動させることで開口部76の有効開口面積を変化させることができる。 (もっと読む)


【課題】基板等の被加熱物を熱風によって熱処理する熱処理装置を改良するものであり、開閉扉の開閉に伴う加熱室内の温度変動を抑制することができる熱処理装置の開発を課題とする。
【解決手段】熱処理室には排気ダクト30が設けられており、当該排気ダクト30の中途に送風機8が設けられており、基板を加熱する際に生じるガスを外部に排気するために、送風機8が常時運転されており、熱処理装置1内部の圧力が負圧傾向となるが、通気装置61を設けることで熱処理装置1の内外における圧力差が殆どない状態にすることができる。即ち熱処理装置1では、内部の圧力を検知する圧力センサーを有し、当該圧力センサーの信号をアクチュエータ73にフィードバックし、シート66を上方向に移動させて通気装置61の有効開度を調節し通気量を調整する。 (もっと読む)


【課題】硬化層が形成されたレジストを、基層にダメージを与えないように除去する。
【解決手段】レジスト除去方法は、イオンが注入されているレジストに、当該イオンの注入によって形成されたレジストの硬化層にアルカリ可溶性を生じさせる程度の紫外光を照射する照射工程と、前記レジストをアルカリ溶液に接触させて当該レジストをシリコン基板から剥離させる除去工程と、を含む。レジストには、1×1014〜5×1015個/cmのイオンが注入されており、前記照射工程における紫外光の照射量を少なくとも1800mJ/cmとし、前記除去工程では、60℃以上に加熱された前記アルカリ溶液を用いる。 (もっと読む)


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