【課題】発塵によるパーティクルの問題を解消し、一般的に知られている自動機ではなく、全て容易な手動操作によって行う安価で、かつ手軽に使用できるＦＯＵＰオプナーを提供する。
【解決手段】レバー操作により作動させる吸着パッド６と、ＦＯＵＰ１の蓋２のロックを外すラッチキー７とをドアプレート８に取り付け、吸着パッド６とラッチキー７をドアプレート８の回転によりＦＯＵＰドア２をＦＯＵＰ１の手前に引き出せるように構成し、かつ前記の機構の全てを前後に移動できるようにした。 （もっと読む）

【課題】 ＳＭＩＦポッド本体及びウエハーカセットを汚染させることなく、ウエハーカセットをＳＭＩＦポッド本体に出し入れし、ＳＭＩＦ蓋をロックおよびロック解除できる手動式ＳＭＩＦオプナーを安価で提供する。
【解決手段】上下昇降ハンドル７によって操作する昇降ユニット１０により駆動するＳＭＩＦポッド本体２を積載する上下昇降ベースプレート５とウエハーカセットを積載する固定台とＳＭＩＦ蓋３をＳＭＩＦポッド本体２にロック及びロック解除するロック開閉レバーを有し、昇降ユニット１０の上昇駆動に重量バランサー８を設けた。 （もっと読む）