【課題】 比較的簡便な構成で、効率よく有機金属化合物を処理し、その金属成分の回収が可能で、安全かつ操作性のよい有機金属化合物を含む排ガスの処理装置および処理方法を提供することにある。
【解決手段】 排ガスが導入される排ガス導入口１と、導入された排ガスが酸素を含む処理用ガスと混合され加熱状態で１次酸化処理される１次酸化部３と、１次酸化処理により生成した金属酸化物を含む粉状物をトラップする１次トラップ部４ａと、１次トラップ処理された被処理ガスが酸化触媒層に導入され２次酸化処理される２次酸化部５と、２次酸化処理により生成した金属酸化物を含む粉状物をトラップする２次トラップ部４ｂと、を有するとともに、１次酸化処理および２次酸化処理によって生成された粉状の金属酸化物を清浄流体により逆洗する機能を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 貯留槽内の粉体または液体のレベルを、非接触で連続的にかつ正確に測定することができるレベル測定装置を提供することにある。
【解決手段】 貯留槽１の深さ方向に複数配設された発光部３ａ〜３ｃおよび受光部４ａ〜４ｃを有するセンサと、発光部３ａ〜３ｃの発光面および受光部４ａ〜４ｃの受光面をパージする流体を供給するパージ用の流体供給部と、を有し、センサのいずれの発光面および受光面にも、保護用のパージ用の流体を供給するとともに、貯留槽１の上部から深さ方向に順に、発光面または／および受光面に供給されるパージ用の流体の流量を増大させ、発光面または／および受光面の近傍に飛散していた粉体または液体がパージされることによって光量の変化が生じた発光部３ａ〜３ｃまたは／および受光部４ａ〜４ｃに係る受光部の出力から貯留槽１のレベルＬを測定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 比較的単純な構成で、高圧ガスを迅速にかつ安全に高圧ガス使用設備に充填することが可能な高圧ガス充填用装置に用いる熱交換器、これを用いた高圧ガス充填用装置および高圧ガスの充填方法を提供することにある。また、熱交換効率の向上を図り、熱交換器の小型化、これを用いた高圧ガス充填用装置の小型化を図ることにある。
【解決手段】 内部に高圧ガスが流通する高圧ガス流路１と、これに近接し内部に第１伝熱媒体が流通する伝熱媒体流路２と、高圧ガス流路１および伝熱媒体流路２を収容し金属粉粒体と第２伝熱媒体が充填された充填層３と、充填層３の上部に設けられた熱伝導性の高いシール板４と、シール板４の上部に設けられ第２伝熱媒体が流通する空間部５と、これらと外部との熱の移動を防止する断熱層６が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成によって、充填容器から安全かつ効率よく供給するとともに、簡便な処理と優れた操作性を有する水素化スズの供給方法および供給装置を提供すること。
【解決手段】 水素化スズが充填された所定容器１、所定容器１から水素化スズガスの供給を受けるプロセス装置２と、プロセス装置２と所定容器１を接続する配管部３と、配管部３に設けられた圧力調整器Ｒ・圧力検出器Ｐ１〜Ｐ３・マスフローコントローラＭのいずれかまたはそのいくつかと、配管部３にパージガスを供給するパージガス供給装置５と、パージガス供給装置５からのパージガス流路６ａ〜６ｃおよび配管部３との接続部を有するパージガス配管部６と、前記各部の動作を制御管理する制御部４からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成と簡便な処理によって、安全かつ除去効率の高い水素化スズの除害方法および除害装置を提供すること。
【解決手段】 プロセス装置１からの配管部２と、除害筒３と、排ガス流路４と、流量計５と、流量調整器６と、吸引ポンプ７とから構成される除害装置１０において、予め基材の表面に形成させた金属スズあるいはスズ化合物の表層Ａを有し、該表層Ａとの反応によって水素化スズを分解させるとともに、分解して生成した金属スズあるいはスズ化合物によって形成された新たな表層Ｂによって、さらに水素化スズを分解させる機能を有する除害剤を用いることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 安全かつ効率よく製造するとともに、簡易な構成によって、簡便な処理と優れた操作性を有する水素化スズの製造方法及び製造装置を提供すること。
【解決手段】 スズ化合物と水素化合物との反応により生成した反応部１からの水素化スズを精製処理しつつ捕集し、捕集された水素化スズを所定容器４に充填する水素化スズの製造方法において、前記反応を形成する温度以下かつ水素化スズの沸点（−５０℃）以上の温度でトラップした後、水素化スズの融点（−１５０℃）以下の温度で捕集することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 配管部等の取り付け・取り外し操作に伴う不純物の混入を排除するとともに、簡易な構成によって、高純度ガスの充填容器を迅速な操作で安全に保守管理を行うことができるガス供給システムを提供すること。
【解決手段】 パージガス流路Ｌｓと配管部Ｌの接続部Ｓを有し、該配管部Ｌの一部として、容器バルブ１ａとの接合部Ｓｏと、接合部Ｓｏと容器バルブ１ａの中間に設けられた第１バイパス流路Ｂ１と、接続部Ｓとプロセス装置２の中間に設けられた第２バイパス流路Ｂ２を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 操作性がよくかつコンパクトな構造を有するとともに、液体材料を汚染することなく、またセンサ自体の汚染もなく、液体材料の残量あるいは空状態の有無を正確に検出することが可能な、充填容器内の液体材料の残量検知装置、これを用いた液体材料の残量検知方法およびこれらを用いた液体材料の供給装置を提供すること。
【解決手段】 供出用配管１５の中間に配設された所定の容積の空間部２と、空間部２の外周部２ａに配された超音波センサ３と、空間部２の下部２ｂに配設され充填容器１１からの供出用配管１５と接続された１の配管Ａと、空間部２の下部２ｂに配設され消費設備への供出用配管１５と接続された他の１の配管Ｂと、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ガス消費設備へのガス供給操作等において発生する危険性のある液化ガスの突沸を防止し、パージによって排気される供給用ガスの量を最小限にするとともに、簡易な構成によって迅速かつ安全な操作で保守管理を行うことができる液化ガス供給システムを提供すること。
【解決手段】 配管部を構成する開閉弁Ｖａの開閉操作をプロセス制御部６によって制御し、瞬時の開時間とその数倍の閉時間を組合せた開閉操作を繰返し可能なフラッシング操作機能を付加して、減圧状態にある配管Ｌｂへの供給用ガスの給送開始時において、開閉弁Ｖａをフラッシング操作させて配管Ｌｂに供給用ガスを供給することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 充填容器の交換時や配管部の保守点検時などにおいて、取り付け・取り外し操作に伴い清浄化のためのパージを必要とする配管内容積を低減し、パージによって排気される供給用ガスの量を最小限にするとともに、簡易な構成によって、供給用ガスの充填容器を迅速な操作で安全に保守管理を行うことができるガス供給システムを提供すること。
【解決手段】 容器バルブ１ａに近接する位置に設けられた開閉弁Ｖａと圧力調整部３の１次側の近接する位置に設けられた開閉弁Ｖｂを両端部に有する配管Ｌｏを配設するとともに、容器バルブ１ａと開閉弁Ｖａを接続する配管Ｌａに、開閉弁Ｖｃを介して減圧処理部および不活性ガス供給部を有するパージ操作部５を接続することを特徴とする。 （もっと読む）