【課題】 広い範囲で製品ガスの純度と回収率の安定性を確保するとともに、装置の能力をフルに利用しつつ、連続的な減量が可能で、運転コストの低減も可能なガス分離膜を用いたガス製造方法およびガス製造装置を提供すること。
【解決手段】 ガス分離膜Ｓ、原料ガス流路１、透過ガス流路２、残留ガス流路３、流量計測手段ＦＴ１などの計測手段、圧力調整手段ＰＣ１などの調整手段を有するガス製造装置であって、減量操作において、ガス分離膜Ｓの最大処理量における圧力から出発して、前記計測手段の計測値をもとに、前記調整手段などを制御し、製品ガスの純度および回収率を所望の範囲内に制御操作を行うことを特徴とする。特に、製品昇圧手段との組合せにより有効となる。 （もっと読む）

【課題】 低濃度のＸｅが含まれるプラズマエッチング等の半導体製造プロセス排ガス中より、水分、ＣＯ_２およびＦＣ等を機能的に除去して高純度なＸｅを回収することが可能な、簡便で捕集効率の高い回収方法および回収装置を提供すること。
【解決手段】 キセノンおよびフルオロカーボンを含む試料について、少なくとも、細孔径４Å以下の合成ゼオライトおよび酸化アルミニウムを直列に配して充填された第１吸着手段（Ａ１）、シリコーン製あるいはポリエチレン製の中空糸ガス分離膜モジュール４からなるガス分離手段（Ａ２）、活性炭、細孔径５Å以上の合成ゼオライト、細孔径５Å以上のモレキュラーシービングカーボン、あるいはこれらの組合せのいずれかが充填された第２吸着手段（Ａ３）、反応剤としてカルシウム化合物が充填された反応手段（Ａ４）、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 簡便で、効率よく、かつ選択的に不飽和ＦＣを除去する方法、処理ユニットおよび該処理ユニットを用いた試料処理システムを提供すること。
【解決手段】 カルシウム化合物を主剤とする反応剤と該フルオロカーボンとの選択的化学反応を利用することを特徴とし、前記反応剤として、水酸化カルシウム，炭酸カルシウム，リン酸三カルシウム，ソーダ石灰を主剤とする試剤あるいはこれらの組合せを用いることを特徴とする不飽和ＦＣを除去する方法、処理ユニットおよび該処理ユニットを用いた試料処理システム。 （もっと読む）

【課題】 ＣＨＦ_３を含む試料から、簡便で、効率よく、かつ選択的にＣＨＦ_３を処理する方法、処理ユニットおよび該処理ユニットを用いた試料処理システムを提供すること。
【解決手段】 酸化アルミニウムを主剤とする吸着剤の選択的吸着機能を利用することを特徴とする。また、２種類以上の吸着剤を用いて段階的に処理し、前段の１つに合成ゼオライトを主剤とする試剤を用い、後段に酸化アルミニウムを主剤とする試剤を用いることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 必要とされる膜の面積（モジュール数）が少なくでき、簡便な手法で透過ガスの純度と回収率の安定性を確保することが可能なガス分離膜を用いたガス製造方法およびガス製造装置を提供すること。
【解決手段】 ガス分離膜Ｓ、原料ガス流路１、透過ガス流路２、残留ガス流路３、バイパス流路Ｂ、製品ガス流路４、圧力計測手段ＰＴ１等の計測手段あるいは流量調整手段ＦＣｂなどの調整手段を有するガス製造装置であって、前記計測手段の計測値によって、流量調整手段ＦＣｂ等または／および圧力調整手段ＰＣ１等を制御し、製品ガス中の易透過性ガスの純度Ｃ４および易透過性ガスについての回収率を所望の範囲内に制御操作を行う機能を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 簡便な機能によって効率性が高く、酸素濃度の安定したＣＤＡを供給できる圧縮空気製造方法および製造装置を提供すること。
【解決手段】 ゼオライト系の吸着剤を全部もしくは一部に充填した２塔以上の吸着塔を切換えて原料空気を精製するとともに、該吸着塔の内の少なくとも１塔の吸着塔に充填された吸着剤を再生ガスによって順次再生させる圧縮空気製造方法において、再生工程にある吸着塔（Ｒ）が精製工程へ移行するに際し、精製された空気によって前記吸着剤のパージを行う工程を有するとともに、パージ工程にある吸着塔（Ｒ）の内部圧力を、精製工程にある吸着塔（Ｐ）の内部圧力との差圧を規定値以内に制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ＶＯＣの連続回収を図るとともに、吸着剤の効率のよい使用方法および効率のよい再生方法によって、簡便な機能を用い、保守を軽減しエネルギー効率が高くかつ信頼性の高いコンパクトなＶＯＣの回収プロセスを提供すること。
【解決手段】 吸着剤を充填した少なくとも３基の吸着塔および揮発性有機化合物を回収する冷却凝縮手段を有し、水分および揮発性有機化合物を含む空気から該揮発性有機化合物を回収するプロセスにおいて、少なくとも、所定の工程を含むとともに、前記吸着塔の内の少なくともある期間、少なくとも２基の吸着塔の再生工程を重畳的に実施し、残りの吸着塔を吸着工程に供し、これらの工程を順次切り換えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ＶＯＣの連続回収を図るとともに、吸着剤の効率のよい使用方法および効率のよい再生方法によって、簡便な機能を用い、保守を軽減しエネルギー効率が高くかつ信頼性の高いコンパクトなＶＯＣの回収プロセスを提供すること。
【解決手段】 吸着剤を充填した少なくとも３基の吸着塔および揮発性有機化合物を回収する冷却凝縮手段を有し、水分および揮発性有機化合物を含む空気から該揮発性有機化合物を回収するプロセスにおいて、少なくとも、所定の工程を含むとともに、前記吸着塔の内の少なくとも１基の吸着塔を再生工程に、別の少なくとも１基の吸着塔をガード工程に、少なくとも１基以上の残りの吸着塔を吸着工程に供し、これらの工程を順次切り換えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高純度アンモニアの連続供給を可能とし、簡便な機能を用いることによって、保守を軽減し高性能かつ信頼性の高いアンモニア精製システムおよび精製方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 粗アンモニアから高純度アンモニアを精製するシステムであって、原料となる粗液体アンモニアを収容する貯蔵手段４と、液状アンモニアから主にアンモニアより蒸気圧の低い重質不純物を除去する第一精留手段１と、気体状アンモニアから主にアンモニアより蒸気圧の高い軽質不純物を除去する第二精留手段２と、を含む複数の精留手段と、前記第一精留手段１と第二精留手段２の中間に、気体状アンモニアから微量残留分を除去する少なくとも１つの吸着手段３と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 窒素製造プロセスにおける排出流体および副生流体を利用するとともに、もとの窒素製造プロセスに影響を与えることなく、有圧の液化酸素および酸素ガスを効率的に製造する装置を提供すること。
【解決手段】 酸素製造装置であって、（１）窒素製造装置の酸素リッチ液化空気の一部を、窒素精留塔または窒素精留塔コンデンサから抜き出して、下部にリボイラ９を有するサブ精留塔８中間段に導入し、（２）圧縮空気を前記サブ精留塔８の下部リボイラ９に導入して該リボイラ９で液化空気を生成し、その一部を前記窒素精留塔に戻すとともに、残りを前記サブ精留塔８の搭頂部に還流液として供給し、（３）前記サブ精留塔８下部から酸素を製造する、ことを特徴とする。 （もっと読む）