【目的】 比較的長い共通搬送室を用いて多数の真空処理室を連結することができる集合処理装置を提供する。
【構成】 真空引き可能になされた比較的長い共通搬送室４の一側に複数の真空処理室６Ａ〜６Ｅを連結し、この長手方向に沿って移動する移動体２８に搬送アーム３０を設ける。この移動体を移動させ且つ搬送アームを伸縮するために共通搬送室の底壁の下方側に磁気的な移動体駆動手段３２を設ける。これにより、モータ等のパーティクル発生源を室内に収容することなく被処理体の搬送を可能にする。 （もっと読む）

【目的】 複数のリング状の保持部材が上下方向に配列された、例えば縦型熱処理装置に用いられるウエハボートと、収納具例えばウエハキャリアとの間で効率よく半導体ウエハを移載すること。
【構成】 独立して進退自在な複数例えば２枚のフォーク７Ａ、７Ｂを備えた移載機構を用い、キャリアＣ内に２枚のフォーク７Ａ、７Ｂを同時に進入させて２枚のウエハＷを同時にすくい上げる。そしてウエハボート４内に上側のフォーク７Ａを進入させ、突き上げ機構６によりフォーク７Ａ上のウエハを突き上げ、フォーク７Ａを後退させた後保持部材４４上に載置する。次いで下側のフォーク７Ｂを進入させ、同様にして、ウエハＷを保持部材４４上に受け渡す。ウエハボート４から移載機構５へウエハを受け渡すときには、下側のフォークから順番にウエハボート４内に進入させる。 （もっと読む）

【構成】 ヒータ部１４の開口端部に複数の吸気口３２を設けるとともに、上面に排気口３４を設け、この排気口３４に接続された排気手段３６でプロセスチューブ１２とヒータ部１４との間の空隙１６の空気を排気することによってこの空隙１６に空気を流通させ、これにより熱処理炉１０の冷却を行う。
【効果】 空隙１６を流れる空気の流れ抵抗を低減することができるので、空気の流量を増大させることができ、したがって、冷却速度を速くすることができる。また、空隙１６を流れる空気の偏りを低減させることができるので、熱処理炉１０全体を均一に冷却することができる。 （もっと読む）