説明

トーカロ株式会社により出願された特許

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【課題】 本発明の目的は、半導体製造装置、とくにドライプロセスにおいて使用されている各種の半導体製造装置およびその構成部材のうち可動部部材が、ハロゲンやハロゲン化合物のガスによる腐食とエロージョン摩耗によって減肉した場合に、その表面を簡便に補修して復元させることにより、これらの耐摩耗性、耐久性を初期状態に戻すかさらに向上させるための方法を提案する。
【解決手段】 ハロゲン系ガス使用環境下にある半導体製造製装置用可動部材の摩耗腐食した損耗部に、Cr23およびAl23のいずれか一方、またはこれらの混合物からなる酸化物セラミックを溶射被覆する、半導体製造装置用可動部部材の補修方法。 (もっと読む)


【課題】環境温度の上昇、また昇温と降温の繰り返しなどの条件下において、被覆されたDLC膜の亀裂や剥離の発生を抑制する半導体加工装置用部材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、被覆層を1層以上有する金属製基材からなる半導体加工装置用部材であって、前記被覆層の最外層が水素含有量18〜40at%のダイヤモンドライクカーボン層である。また、本発明の半導体加工装置用部材の製造方法は、金属製基材表面又は被覆層を1層以上有する金属製基材の最外層に、炭化水素含有ガス雰囲気下で、パルス幅が1μS〜20mS、印加電圧が−1〜−50kV、パルス繰り返しが1000〜8000ppsのパルス電圧を印加することにより発生するプラズマによってアモルファスカーボンを析出させるものである。 (もっと読む)


【課題】 ブラスト加工後の被加工面に残留する粒状物質やその破片等の異物を低減することができるブラスト加工方法を提供する。
【解決手段】 ブラスト加工される被加工物1の被加工面1aを予め固体潤滑剤2としてのステアリン酸で被覆することにより、吹き付けられる粒状物質と被加工面1aとの間に滑りを生じやすくさせて粒状物質の被加工面1aへの食い込み量を減らすとともに、食い込んだ粒状物質と被加工面1aとの界面に固体潤滑剤の層を形成して、粒状物質が被加工面1aから離脱しやすくし、ブラスト加工後の被加工面1aに残留する粒状物質やその破片等の異物を低減できるようにした。 (もっと読む)


【課題】 高温耐食性と耐エロージョン性に優れた高温用部材およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 鋼製基材に電解ニッケルめっき処理を施し、表面にニッケルめっき被膜を形成し、ついで溶融塩浴中で硼化処理を施し、基材側に厚さ20〜50μmの鉄硼化物を主とする層を、その上層として厚さ10〜30μm のニッケル硼化物を主とする層からなる表面処理層を形成する。 (もっと読む)


【課題】加熱炉に装入される鋼板等のシート材料を搬送する内部水冷型ハースロールの改良。特に、ロール表面の耐ビルドアップ性を高めると共に、冷却水による炉外系持ち出し熱量を抑制し炉の総合的熱効率を高める。
【解決手段】このハースロールは、耐熱鋼製ロール基体(1)のまわりに、断熱材からなる中間層(2)を設け、最外層部材(3)として耐熱性・耐ビルドアップ性を有するスリーブを装着した構造を有する。スリーブ(3)は、Al,Al−SiO,SiC,Si等からなる焼結体である。中間層(2)は、セラミックス繊維の低密度充填層(例えば0.2g/cm)として形成される。その熱伝導率は0.5W/m・K以下であることが好ましい。スリーブ(3)は、所望により、その外周面に、Al,Al−SiO,ZrSiO等からなる溶射被膜層(4)が設けられる。 (もっと読む)


【課題】 ベルト搬送中にベルトがホイール軸方向に蛇行して位置ずれを起こし、このことによって派生する研削能力の低下、あるいは被研削、研磨面に生じる送りマークと呼ばれる研削状況の異なった条痕状領域の発生、さらには、平滑性などの研削面品質あるいは円筒度などの形状精度の低下を防ぐことのできる装置を提供すること。
【手段】 研削用ベルトがロール軸方向に位置ずれするのを防止するためのセンターリング用アライメントホイールを1個以上、被研磨ロールに面して平行に配設されるタッチホイールと、このタッチホイールから離間して平行に配設される駆動ホイールとの間のベルト移送経路上に配設したベルト式研磨装置。 (もっと読む)


【目的】 マンドレルスリーブの外周面に複合皮膜を設けることにより、めっき金属の凝着阻止に有効で耐摩耗性に優れたシームレス缶保持部材を提供し、もって、シームレス缶への装飾(印刷・塗装)精度を向上させること。
【構成】 円筒容器を回転可能に保持するために用いられるマンドレルのスリーブ外周面に、溶射皮膜である下層と黒色のダイヤモンドライクカーボン薄膜である上層とからなる複合皮膜を設けた被装飾円筒容器の保持部材。 (もっと読む)


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