【課題】トッププレートの表面抵抗を低下させて安定した測定結果を得ることができると共に製造コストを低減することができ、更に、トッププレートに高電圧を印加してもトッププレートを下側の部材から電気的に確実に絶縁し、トッププレートからのリーク電流を確実に防止することができる載置台を提供する。
【解決手段】載置台２０は、半導体ウエハの載置面を有する無酸素銅からなるトッププレート２１と、このトッププレート２１の下面２１Ａ及び側面２１Ｂの下部を連続的に被覆するアルミナからなる絶縁皮膜２２と、この絶縁皮膜２２と接触するように配置され且つ無酸素銅からなる冷却ジャケット（下部板状体）２３と、を備え、アルミナは、純度が９９．９９重量％以上で、トッププレート２１の下面２１Ａでは０．４ｍｍ以上で１．０ｍｍ未満の厚さに形成されている。 （もっと読む）

【課題】シリコンウエハ研磨用のキャリア本体の大型化に伴う問題点を克服し、キャリア表面に形成したＤＬＣ薄膜の局部的クラックや早期剥離を防止し、研磨効率の向上と寿命の延長を目指す。
【解決手段】強化プラスチック製キャリア本体の表面を加工ブラスト処理によって、表面粗さをＲａ：０．５〜１．９０μｍ、Ｒｚ５．０〜１８．０μｍの範囲に調整し、その表面に、ＤＬＣ薄膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】シリコンウエハ研磨用のキャリア本体の大型化に伴う問題点を克服し、キャリア表面に形成したＤＬＣ薄膜の局部的クラックや早期剥離を防止し、研磨効率の向上を目指す。
【解決手段】金属製キャリア本体の表面を加工ブラスト処理によって、その表面に圧縮残留応力と表面硬化による剛性を付与するとともに、表面粗さをＲａ：０．０５〜０．８５μｍ、Ｒｚ０．０９〜１．９９μｍの範囲に調整し、その表面に、ＤＬＣ薄膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】シリコンウエハ研磨用のキャリア本体の大型化に伴う問題点を克服し、キャリア表面に形成したＤＬＣ薄膜の局部的クラックや早期剥離を防止し、研磨効率の向上を目指す。
【解決手段】金属製キャリア本体の表面を加工ブラスト処理によって、その表面に圧縮残留応力と表面硬化による剛性を付与するとともに、表面粗さをＲａ：０．０５〜０．８５μｍ、Ｒｚ０．０９〜１．９９μｍの範囲に調整し、その表面に、ＤＬＣ薄膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】シリコンウエハ研磨用のキャリア本体の大型化に伴う問題点を克服し、キャリア表面に形成したＤＬＣ薄膜の局部的クラックや早期剥離を防止し、研磨効率の向上を目指す。
【解決手段】金属製キャリア本体の表面をまずショットピーニング加工処理によって、円形窪みによる凹凸層の形成と同時に圧縮残留応力や表面硬化が発現した凹凸層を形成して基材に剛性を付与するとともに、こうした基材の表面に、水素含有量が１３〜３０原子％で残部が炭素からなるＤＬＣ薄膜を被覆形成してなる被研磨物保持用キャリアの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】シリコンウエハ研磨用のキャリア本体の大型化に伴う問題点を克服し、キャリア表面に形成したＤＬＣ薄膜の局部的クラックや早期剥離を防止し、研磨効率の向上を目指す。
【解決手段】金属製キャリア本体の表面を加工ブラスト処理によって、その表面に圧縮残留応力と表面硬化による剛性を付与するとともに、表面粗さをＲａ：０．０５〜０．８５μｍ、Ｒｚ０．０９〜１．９９μｍの範囲に調整し、その表面に、金属酸化物微粒子を含むＤＬＣ薄膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】皺の発生を招くことなく広幅化や高速化に対応させることができる他、操業性に優れると共に、安全性や保守性（メンテナンス性）にも優れる製紙機械用ロールを提案する。
【解決手段】炭素繊維複合材（ＣＦＲＰ）を主体としてなるロールセルと、このロールセル外側に嵌着した空気逃げ溝つき金属スリーブと、かかる金属スリーブ外周面に被覆形成した炭化物系サーメットの溶射皮膜とからなるワインダー等のロール。 （もっと読む）

【課題】合金元素として多量のマンガン（Ｍｎ）を含有する高張力鋼板を搬送する場合であっても、ハースロールのロール周面に形成されたジルコニア皮膜が破壊されないようにする。
【解決手段】主成分である安定化ジルコニアまたは部分安定化ジルコニアからなるジルコニア（ＺｒＯ₂ ）粉末と、添加剤である酸化マンガン（ＭｎＯ₂ ）粉末と、の混合粉末を、ロール周面に溶射することで、ハースロールを得る。混合粉末の酸化マンガン含有率は２質量％以上１０質量％以下とする。 （もっと読む）

【課題】合金元素として多量のマンガン（Ｍｎ）を含有する高張力鋼板を搬送する場合であっても、ハースロールのロール周面に形成されたジルコニア皮膜が破壊されないようにする。
【解決手段】酸化イットリウム（Ｙ₂ Ｏ₃ ）で安定化された又は部分安定化されたジルコニア（ＺｒＯ₂ ）粉末を溶射することにより、酸素含有率〔Ｏ〕（単位：質量％）とイットリウム含有率〔Ｙ〕（単位：質量％）との関係が下記の（１）式を満たす皮膜を形成する。
〔Ｏ〕≧−０．０６〔Ｙ〕＋２６‥‥（１） （もっと読む）

【要 約】
【課 題】 曲面部材の研削に好適な、優れた屈曲性と作業性を有するとともに長寿命かつ安価なヤスリおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 屈曲性を有するメッシュ基材の格子状に編まれた金属ワイヤの表面に溶射皮膜を有し、溶射皮膜のビッカース硬さがHv800以上でありかつ膜厚が10〜100μｍのヤスリ。 （もっと読む）