【課題】強い腐食性環境下で、プラズマエッチング加工が行われる半導体加工用装置内に配設される静電チャックの耐久性を向上させること。
【解決手段】電極層と電気絶縁層とからなる静電チャック部材において、この部材最外層に、周期律表の３Ａ族元素の酸化物の溶射被覆層を設けてなり、かつこの溶射被覆層の表面を、平均粗さ（Ｒａ）が０．８〜３．０μｍの緻密化再溶融層とした静電チャック部材。 （もっと読む）

【課題】半導体加工処理容器部材は、ハロゲンガスを含む環境でプラズマエッチング加工されると、早期に腐食損傷を受けるとともに、微小な環境汚染パーティクルを発生して、半導体の加工生産能力を甚しく低下させる問題がある。
【解決手段】基材と、その表面に形成された１５〜４０ａｔ％の水素を含有する化学的に安定なアモルファス状炭素・水素固形物の気相析出蒸着膜と、そのアモルファス状炭素・水素固形物の気相析出蒸着膜中には金属酸化物の超微粒子を分散含有させることによって、耐食性と耐プラズマエロージョン性を兼備した半導体加工装置用部材をつくる。 （もっと読む）

【課題】半導体加工装置に配設されている静電チャック自体が環境汚染物の発生源とならず、耐食性と耐プラズマ・エロージョン性に優れた静電チャックを提供する。
【解決手段】電極層と電気絶縁層とからなる静電チャック部材の外表面に、金属酸化物の超微粒子を含み、水素含有量が１５〜４０ａｔ％であるアモルファ状炭素・水素固形物の気相析出蒸着膜を有する静電チャック部材。 （もっと読む）

【課題】温度変化による伸縮が十分に抑えられて歩留まり良く圧電基板を得ることができる圧電基板の製造方法を提供する。
【解決手段】タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、水晶、四ホウ酸リチウム、酸化亜鉛などの圧電基板１１の一方の主面１１ａ上に保護基材１２を設け、基板１１の他方の主面１１ｂに溝加工を施して周縁部にリブ１１ｃを形成し、溝加工により形成された溝部１５に、基板１１の線膨張係数よりも小さい材料１６を溶射により埋め込み、保護基材１２を除去する。 （もっと読む）

【課題】温度変化による伸縮が十分に抑えられる圧電素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電基板１は、基材１１と、基材１１の一方の主面上に形成された膜１２とから主に構成されている。基材１１において、膜１２を形成する主面は、粗面化された主面１１ａである。この圧電基板１は、基材１１の線膨張係数よりも小さい線膨張係数を有する材料で構成された膜１２を、粗面化された主面１１ａ上に溶射法により形成することにより得られる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、炭素質の成形体に関し、その表面に被覆される皮膜により、高温酸化性雰囲気において優れた耐食性を発揮する高温耐酸化性炭素質成形体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】炭素を含有する母材(A)と、母材(A)を被覆するとともに耐酸化性を有するベース層(B)と、外気に接する表面層(D)と、を備える高温耐酸化性炭素質成形体(10)であって、ベース層(B)と表面層(D)との間に設けられベース層の側が緻密質(C1)に形成され前記表面層の側が孔隙(C3)を含む多孔質(C2)に形成されている中間層(C)と、を備え、孔隙(C3)には表面層(D)の一部が浸透していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ハースロール用途により適した溶射皮膜を形成可能な溶射用粉末を提供すること、並びにその溶射用粉末から得られる溶射皮膜及びその溶射皮膜を備えるハースロールを提供する。
【解決手段】本発明の溶射用粉末は３０〜５０質量％のクロム炭化物を含有し、残部がコバルト及びニッケルの少なくともいずれか一種、クロム、アルミニウム及びイットリウムを含む合金からなり、溶射用粉末の平均粒子径は２０〜６０μｍである。 （もっと読む）

【課題】金属部材と非金属部材（部品）とが混在しているような被処理体（製品）の表面に、とくに金属部材表面にアモルファス状炭素水素固形物皮膜を均等かつ均質に、高い密着力で被成し、部材の耐食性を向上させる技術を提案する。
【解決手段】少なくとも表面に金属部材と非金属部材とが混在した状態の被処理体に、アモルファス状炭素水素固形物皮膜を被覆してなる部材であって、この部材の金属部材部分は、その表面が、変質層が除去されると共に、Ｒａ：０．２μｍ、Ｒｚ：１．０μｍ以下の表面粗さに仕上げられ、かつこの部分には、前記アモルファス状炭素水素固形物皮膜下に部材金属の不動態薄膜が形成されていること。 （もっと読む）

【課題】ロール間のスペースを有効に利用することにより、抄紙速度の高速化に伴うフラッタリングの有効な防止を図ることのできる抄紙機用ロールを提案する。
【解決手段】炭素繊維複合材を用いてなるロールセル部の表面が、サーメットとアルミナとの混合物からなる溶射皮膜にて被覆されている抄紙機用ロールと、このロールを抄紙機のドライヤパートに設置して、フラッタリングの防止を図りながら抄紙するという紙の製造方法。 （もっと読む）

【課題】鉄または鉄合金からなる部材の表面にCrを含有する複合炭化物層を形成した表面被覆部材、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】下記の(a)群，(b)群および(c)群の粉体からなる溶融塩浴中に、所定の形状を有する部材を浸漬して、部材の表面にクロムを含有する複合炭化物層を形成する。(a)Ti，Ｖ，NbおよびTaの中から選ばれる２種以上の金属元素を含む金属粉末，(b)Crを含むクロム粉末，(c)硼砂 （もっと読む）