説明

キヤノンマシナリー株式会社により出願された特許

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【課題】より自由度の高い粒子配列制御を可能とする単結晶育成方法および単結晶育成装置を提供する。
【解決手段】加熱源としてのレーザ源11,12,13と、被加熱部14、上結晶駆動軸に支持された原料棒、下結晶駆動軸に支持された種結晶棒、石英管22を有すると共に、被加熱部14の周囲に、複数の磁場付与手段23,24,25を円周方向等間隔、かつ、レーザ源11,12,13と交互に配置し、レーザ源11,12,13のレーザを被加熱部14に集中させて、被加熱部14の原料棒および種結晶棒を加熱溶融すると共に、複数の磁場付与手段23,24,25のコイル29,30,31に3相または多相交流電流を供給して、フローティングゾーンに位相差を有する回転磁場を付与して単結晶を育成する。 (もっと読む)


【課題】 ワイヤが極細ワイヤであっても、送りローラに対してスリップすることなく安定したワイヤ供給ができるワイヤ送給装置の提供。
【解決手段】 固定の第一支持体41にスプール52を回転させるパルスモータ53とワイヤガイド54を設置し、ワイヤ供給対象物であるリードフレーム1に対して相対移動する第二支持体42に送りローラ61を設置する。回転するスプール52から繰り出されたワイヤ2を自重で弛むテンションレス状態でワイヤガイド54に送り、ワイヤガイド54から真下の送りローラ61に送り、送りローラ61で挟持して下方に送りを掛け、リードフレーム1上に半田ワイヤ2を定量ずつ供給する。 (もっと読む)


【課題】 小形コンパクトであり、XYθテーブルを小ストロークで正確に移動させることのできるXYθテーブル駆動機構。
【解決手段】 テーブル1をXY平面のX方向とY方向に移動可能およびXY平面で回転可能に保持するスラスト軸受構造のテーブルガイド10と、テーブル側面をX方向に押圧するX軸押圧体30aおよびX軸押圧体30aをX方向に往復駆動させるX軸駆動ユニット40aと、テーブル側面をY方向に押圧するY軸押圧体30bおよびY軸押圧体30bをY方向に往復駆動させるY軸駆動ユニット40bと、テーブル側面をY方向に押圧してX軸駆動ユニット40aとY軸駆動ユニット40bとの協働でテーブル1をXY平面で回転させるθ軸押圧体30cおよびθ軸押圧体30cをY方向に往復駆動させるθ軸駆動ユニット40cとで構成する。 (もっと読む)


【課題】 ダイマウント工程のタクトタイム短縮を容易にしたダイボンダ。
【解決手段】 上下動するコレット4でダイ3を基板5上にマウントするダイボンダで、マウント位置にある下降前のコレット4と基板5の間のコレット通路Nの側方にミラー構造体10と、一対のダイ認識カメラ21a、21b、一対の基板認識カメラ22a、22bを設置する。ミラー構造体10は、透明板11の上下両面にミラー12の反射膜12p、12qを形成する。ダイ認識カメラ21a、21bでダイ3の下面をステレオ視で撮像し、基板認識カメラ22a、22bで基板5のアイランド位置をステレオ視で撮像する。各撮像された画像を処理することで、基板5とダイ3の相対位置関係を三次元で検出し、コレット4を位置補正して下降させてダイ3を基板5にマウントする。 (もっと読む)


【課題】 停止を伴う往復しゅう動特性、低速での回転しゅう動特性に優れる周期構造を有する低摩擦しゅう動面構造。
【解決手段】 しゅう動面10aは、格子状などの鏡面部分11aと、鏡面部分11aで区切られた離散的な複数の領域12aのそれぞれに形成した周期構造13aで構成される。グレーティング状凹凸の周期構造13aは、しゅう動面10aのしゅう動方向Xと平行または直交方向に揃えて形成される。隣接する周期構造13aが鏡面部分11aで区画され、周期構造13aの凹部15の両端開口が鏡面部分11aで堰き止められることから、周期構造13aの油膜保持能力が安定し、増大することで、往復しゅう動特性のみならず回転しゅう動特性を向上させる。 (もっと読む)


【課題】 長尺なシートを前後一対のグリッパーで保持して弛みや皺を発生させることなく張設した状態で間欠搬送するシート搬送装置、方法を提供する。
【解決手段】 作業ステーションSに設置された作業機Tに付属のシート保持手段21と、作業ステーションSの上流側と下流側に配置された前後一対のグリッパー22、23と、各グリッパー22、23をばね材25を介して連結する連結部材24と、一方のグリッパー23をシート搬送方向Xに平行な方向に往復駆動する駆動源26のサーボモータ27と送りねじ28を備える。シート保持手段21で保持されたシート2の上流側と下流側を各グリッパー22、23で順に保持し、この保持時にばね材25を圧縮し、シート保持手段21を開放させてシート2をばね材25の伸展で張設する。 (もっと読む)


【課題】 長尺なシートを折り返すことなく蛇行補正して、構造を簡略化する。
【解決手段】 シート2の幅方向両端部に補正ユニット21a、21bと変位センサ41a、41bを配置し、補正ユニットそれぞれに補正ローラ20a、20bをシート2に対して接近離反可能に配置する。左右一対の補正ローラ20a、21bの向きを、シート搬送方向Xに対して左右逆のθ1とθ2の斜め方向に設定し、シート2が左右いずれかに蛇行すると、左右一対の各補正ローラ20a、21bのいずれか一方をシート2に接触させ、従動回転させてシート2を蛇行した方向と逆方向に移動させて、蛇行を補正する。 (もっと読む)


【課題】 適切な口径の固体電解質筒状体にて実質的有効に処理できるガス流量を増大させたガスポンプの提供。
【解決手段】 直径が大小異なる複数本の円形固体電解質筒状体10a、10bを同心に組み付けてユニット化した固体電解質筒状体ユニット10’の複数ユニットを、各々の中心軸を鉛直にして等間隔で同心円上に設置する。複数の固体電解質筒状体ユニット10’で囲まれる空間に蓄熱部材のダミーパイプ15を設置する。複数の各固体電解質筒状体ユニット10’の回りにリング状加熱装置のヒーター40を同心に配設する。各ユニット10’内に被処理ガスG1を軸方向に流す。 (もっと読む)


【課題】 半導体チップなどのワークに掛かる過負荷を簡単な手段で信頼性よく検出する機能を備えた回転テーブル搬送設備の提供。
【解決手段】 回転テーブル1に設けた複数の各作業ヘッド2にスイッチ部材11aと発光ダイオード11bを直列接続した変位表示手段11を設置し、これらを回転テーブル上の直流電源12に並列接続する。各作業ヘッド2に設けた変位部材である吸着部材3で半導体チップ10を吸着して各種の作業を行う際に、吸着部材3から半導体チップ10に掛かる負荷に応じて吸着部材3を変位させ、その変位量が既定値を超えると半導体チップ10に過負荷が掛かったとしてこれを変位表示手段11で検出し点灯表示させる。所定の作業ポジションPに設置した変位検知手段13で点灯表示を検出して、過負荷検出信号を得る。 (もっと読む)


【課題】 適切な口径の固体電解質筒状体にて実質的有効に処理できるガス流量を増大させたガスポンプの提供。
【解決手段】 直径が大小異なる複数本の円形固体電解質筒状体10a、10bを、それぞれの中心線を略水平にして同心に組み付けて二重筒構造体を構成し、それぞれの両端部に中空のキャップを被嵌する。大径の固体電解質筒状体10bの回りにリング状ヒーター40を同心に配設する。内外2本の固体電解質筒状体10a、10bは、それぞれに内外両面に電極を有する。各固体電解質筒状体10a、10bの間の一次流路Maに被処理ガスG1を軸方向に流す。内側固体電解質筒状体10aの内部空間と外側固体電解質筒状体10bの外部空間の二次空間Na、Nbに被処理ガスG1の処理に基づく二次ガスG2を軸方向に流す。 (もっと読む)


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