【課題】基板やＣＮＴ（カーボンナノチューブ）が損傷しない、不純物の混入などの不具合が無い、周囲への環境汚染が無い、などでＣＮＴを基板から剥離できる方法を提供する。
【解決手段】所定密閉空間１１内にＣＮＴ７付きの基板１を設置する第１ステップと、上記空間１１内の圧力を１０５ｋＰａ以上、２００ｋＰａ以下に設定する第２ステップと、上記空間１１内の基板１に対して温度１１０℃以上、１２０℃以下の高温水を噴射する第３ステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】短時間かつ低コストな高アスペクト比凹凸形状の薄膜形成方法を提供すること。
【解決手段】基板表面に成膜する過程で当該基板を加熱することでマイグレーション現象により複数の成膜粒子を移動集合させて薄膜単位を形成し、これら複数の薄膜単位により基板表面に高アスペクト比凹凸形状の薄膜パターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】ＣＮＴ剥離工程後の基板を少ない時間と安い費用でＣＮＴ成長用基板として再利用可能にすること。
【解決手段】基板表面に熱シリコン酸化膜が形成され、かつ、この熱シリコン酸化膜上の触媒金属微粒子に炭素含有ガスが接触反応してカーボンナノチューブを成長させる工程と、剥離具等により基板表面からカーボンナノチューブが剥離される工程と、を経たシリコン基板を再利用する方法であって、高温炉内に上記工程後のシリコン基板を搬入する工程と、この高温炉内に水分と、酸素とを導入する工程と、高温炉内温度を上記基板表面での剥離残渣の熱分解と熱シリコン酸化膜形成とを同時に行える温度に設定する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】相対的に回転する２つの部材間で、不安定な接点による通電異常を発生させずに導通を維持することができ、更に、ケーブルを省スペースに収容することによって他の部材との干渉を防ぐことができる電力中継回転継手を提供する。
【解決手段】電力中継スイベルジョイント１は、固定部１０と、固定部１０に対して相対的に回転運動する回転部１１と、固定部１０と回転部１１との間で電気を伝達する第１のケーブル３２ａ及び第２のケーブル３２ｂとを備える。第１のケーブル３２ａ及び第２のケーブル３２ｂは、回転運動の中心をとりまく渦巻き状に配設されている。軸部３０が順回転及び逆回転すると、第１のケーブル３２ａ及び第２のケーブル３２ｂは、軸部３０にきつく巻きつく方向、及び、軸部３０への巻きつきが緩くなる方向に変位する。 （もっと読む）

【課題】蒸発粒子を量的に安定発生させつつ、被成膜対象に低成膜レートで成膜する成膜レート制御方法、成膜レート制御機構、およびＥＢ−ＰＶＤ装置を提供する。
【解決手段】蒸発源５と被成膜対象との間の経路内に複数の蒸発粒子通過口１３ａを有しかつその通過口のサイズが大小に可変制御することが可能となっている制御プレートを配置するステップと、この制御プレートにおける上記通過口のサイズ制御により蒸発源から被成膜対象への単位時間当たりの蒸発粒子通過量を制御して、被成膜対象に対する成膜レートを制御するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】要求ないし用途に応じた電気抵抗値を有するＣＮＴ導電材料を提供可能とすること。
【解決手段】本ＣＮＴ導電材料１は、母材中に複数のＣＮＴを高濃度で含むと共に、上記複数のＣＮＴそれぞれの表面にアモルファスカーボン層や高分子材層等からなる抵抗付加材を設けた構造。 （もっと読む）

【課題】ＣＮＴがシート厚方向任意箇所に膜状に偏在したＣＮＴ内蔵シートを提供し、また、ＣＮＴ内蔵シートの製造において、ＣＮＴの過量添加を回避してコストダウンを図ること。
【解決手段】本ＣＮＴ内蔵シート１は、１枚構造でかつシート状をなし、かつ、母材２が電気的絶縁性を有すると共に当該母材２内に局所的に複数のＣＮＴ３からなるＣＮＴ層４が偏在している。 （もっと読む）

【課題】 厚み、材料による制約が少なく、吸収特性の制御が容易で薄型化も可能な電磁波吸収体を提供する。また、特定の周波数の電磁波を吸収するが、赤外線および可視光は透過する電磁波吸収体、パーティション、電波暗箱、建材、無線通信システムおよび無線通信方法を提供する。
【解決手段】 電磁波吸収体１は、パターン層２と、反射層３と、パターン層２と反射層３との間に介在して設けられる絶縁体層４とを含む。パターン層２は、導電性材料から成る複数の導電性パターン体５を含んで構成され、これら複数の導電性パターン体５は、相互に離間して形成される。反射層３は、導電性材料から成り、メッシュ状に形成される。絶縁体層４は、透明部材で構成される。電磁波吸収体１は、これを構成する各層が全て可視光および赤外線に対する透光性を有しているので、特定の周波数の電磁波を吸収することができ、赤外線および可視光は透過する電磁波吸収体１が得られる。 （もっと読む）

【課題】エレクトロスピニング法により、機能性に富んだ新規な構造（ケージ状構造物）を有する三次元構造体を提供すること。
【解決手段】ナイロン溶液に、ナイロンに対し非溶解性の溶媒を添加した溶液を、エレクトロスピニングすることにより、ナイロンの微小塊状体からナノファイバーが放射状に延伸し、これらのナノファイバーが互いに絡み合い、ナノファイバーが疎に存在する多数のケージ状の空間が形成されたケージ状構造体を提供する。 （もっと読む）

【課題】熱ＣＶＤ成膜装置用チャンバ内に多数枚の外径サイズが相違する基板を縦置き姿勢で支持して両面成膜できるようにする。
【解決手段】本基板ホルダー１は、耐熱性素材から板状体に作られ、かつ、その基板保持面３に、基板７の端部７ａを縦方向から差込みすることが可能でかつその縦方向から差し込んだ姿勢で基板７を保持できる基板縦置き用溝９を備える。 （もっと読む）