【構成】
ガスセンサは、半導体チップと、通気性のあるセラミックもしくはガラスのパッケージとから成る。半導体チップは、半導体チップの一面に設けられた絶縁膜と、絶縁膜と半導体チップとを貫通するキャビティと、絶縁膜に設けられた感ガス部と、感ガス部に接続されたパッド、とを備えている。パッケージは、半導体チップのパッドとバンプを介してフリップチップ接続されたパッドと、パッケージのパッドからパッケージの他の面まで引き出された配線、とを備えている。
【効果】 雰囲気は感ガス部側から半導体チップ内を貫通でき、チップをフリップチップ接続するとパッケージに組み付けることができ、パッケージ以外のカバーが不要である。 （もっと読む）

【課題】薄膜ヒータのオンオフに伴いベースに働く熱応力を、緩和する。
【解決手段】半導体基板のキャビティ８に、中心に孔１１を備えかつ薄膜ヒータを有する絶縁膜７を配置する。孔１１から見た絶縁膜７の一端とその反対側の端部との間に、孔１１の周囲を取り巻きかつ折り返すように薄膜ヒータが配置され、薄膜ヒータの各部は互いに直列に接続されている。孔の一方で他方に比べて薄膜ヒータの配線１２が１本少なく、孔の一方に薄膜ヒータと同材質でかつヒータ電流が流れないダミーの配線１６，１７が１本設けられている。
【効果】薄膜ヒータのオンオフに伴う熱応力を緩和できる。 （もっと読む）

【構成】
半導体チップの中空部に感ガス部を設けると共に、感ガス部に接続された複数のパッドを設ける。通気性のあるセラミックパッケージもしくはガラスパッケージの、半導体チップ側の面とその反対面とに配線を設けて、互いに接続する。パッケージのチップ側の面の配線に複数のパッドをフリップチップ接続する。
【効果】
ダイボンドもワイヤボンドも無しに、MEMS型ガスセンサをプリント基板へ組み付けることができる。 （もっと読む）

【構成】
半導体チップの一面に感ガス部を有する絶縁膜が設けられ、感ガス部の裏面で半導体チップにキャビティが設けられている。半導体チップは、一面から反対面へと貫通し、感ガス部に電気的に接続される導電性のビアと、反対面に設けられかつビアに接続される配線とを備え、感ガス部は半導体チップに固着された通気性のカバーで覆われている。
【効果】
パッケージへのダイボンドもワイヤボンドも無しに、ガスセンサをプリント基板に実装できる。 （もっと読む）

【構成】
半導体基板の空洞に、薄膜ヒータをメタンの燃焼触媒で被覆した検知片と、薄膜ヒータを補償用材料で被覆した補償片とを設け、ブリッジ回路に組み込む。検知片がメタンの着火点以上に昇温しないように、駆動回路により電力を加えた際のブリッジ回路の出力を０点出力とし、複数の０点出力を基に基準値を発生させて記憶する。検知片がメタンの着火点以上の温度でのブリッジ回路の出力を、基準値により補正してメタンを検出する。
【効果】
半導体基板の空洞にヒータ薄膜を設けた接触燃焼式メタンセンサに対して、ヒータ抵抗のドリフトを補正する。 （もっと読む）

【構成】 ガス流路となる間隙を備えた導電体からなる通気制御デバイスであって、ガス流路付近の導電体表面に、疎水性でかつ導電体表面に垂直な方向への導電性を備えた高分子薄膜がコーティングされている。
【効果】 拡散制御孔が結露で目詰まりすることがない。かつ導電性が失われない。 （もっと読む）

【課題】ダイオード型ガスセンサまたはFET型ガスセンサにおいて、ガス感度を増加させることを目的とする。
【解決手段】Ti基体の表面にTiO₂膜とPd系電極とをこの順に積層し、ダイオード型ガスセンサとする。Pd系電極を芳香族ビニル／オレフィンエラストマーで被覆する。
【効果】湿潤雰囲気での水素への感度が向上する。 （もっと読む）

【構成】
フィルタを、各々ガスが通過する孔を備え、検知極側の金属板と反対側の金属板とから成り、周縁部で互いに固着された２枚の金属板と、記２枚の金属板の間のスペースに収納し、一定の形状に成型されたフィルタ材と、記フィルタ材を検知極側の金属板の孔に密着するように押圧する弾性スペーサ、とを備えている。
【効果】 フィルタを通過する雰囲気は必ずフィルタ材を通過させると共に、曝露するガス量を低減し、フィルタ寿命を延長する。 （もっと読む）

【構成】
内周側金属板を取り巻くように外周側金属板が配置され、金属板の間に熱可塑性樹脂のエラストマーもしくは合成ゴムからなるガスケットが配置されている。外周側金属板は内周側金属板へカシメ付けられ、ガスケットは変形して、内周側金属板と外周側金属板とを固定すると共に、金属板間を電気的に絶縁しながら気密かつ液密にシールする。
【効果】 高温を経験しても、ガスケットにクラック等が生じるおそれがない。また水タンクからの水の蒸散を防止する。 （もっと読む）

【課題】拡散制御孔を有する拡散制御板を備えた電気化学式センサにおいて、拡散性が低下している異常状態を簡単且つ確実に診断することが可能な診断方法を確立する。
【解決手段】検知極及び対極を電解質層の両側に接続したセンサ手段と、検知対象ガスが検知極に拡散律速で接触するように外気の流入量を制御する拡散制御孔を有する拡散制御手段とを備えた電気化学式センサの診断方法にて、検知極と対極との間が適切な湿潤状態にあり検知対象ガスの濃度検知を行える状態を正常湿潤状態として、検知極と対極との間の電気的特性を検出し、これを正常湿潤状態にある場合の検知極と対極との間における基準電気的特性と比較し、当該電気的特性が正常湿潤状態における基準電気的特性から変動している場合に、拡散性が低下していると判断して、異常状態であると診断する。 （もっと読む）