【課題】カセットに収容される基板の入れ替え処理を行うと共に、カセットを適時に搬入出することができる自動倉庫を提案する。
【解決手段】基板保管庫１は、複数の基板Ｗを収容する気密蓋付カセット８０を複数載置可能な多段棚５と、多段棚５の正面５ａ側に移動可能に配置されて多段棚５に載置された気密蓋付カセット８０の気密蓋を開閉すると共に気密蓋付カセット８０同士間において基板Ｗを搬送する基板搬送部２０と、多段棚５の背面５ｂ側に移動可能に配置されて多段棚５の全てのカセット載置位置５ｃに対して気密蓋付カセット８０を搬入出するカセット搬送部３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】次処理工程に応じて基板を仕分けるのに要する作業時間を短縮する。
【解決手段】複数の基板Ｗを収容するカセット８０が多段に配置される多段棚５，５と、上記基板Ｗを複数載置可能な入出部６と、上記多段棚５，５及び上記入出部６の正面５ａ側に移動可能に配置されるとともに上記多段棚５，５と上記入出部６との間において上記基板Ｗの受け渡しを行う移載装置２０とを備え、上記基板Ｗをクリーン環境下において移動する基板保管庫であって、上記移載装置２０は、複数の上記基板Ｗを一時的に留め置くことが可能なバッファ領域２８と、上記バッファ領域２８と上記多段棚５，５との間において任意の基板Ｗを枚葉搬送する枚葉搬送手段２６とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板の汚染リスクを高めることなくクリーン環境の形成を容易化する。
【解決手段】複数の基板Ｗが収容可能であるとともに上記基板Ｗを出し入れするための扉を有するカセット８０が多段に配置される多段棚５，５と、上記基板Ｗを載置可能な入出部６と、上記多段棚５，５及び上記入出部６の正面５ａ側に移動可能に配置されるとともに上記多段棚５，５と上記入出部６との間において上記基板Ｗの受け渡しを行う移載装置２０とを備える基板保管庫であって、上記移載装置２０は、上記基板Ｗを直接支持可能なハンド２６と、該ハンド２６の移動領域に外部よりもクリーン度が高いクリーン環境を形成するクリーン環境形成部２８とを備える。 （もっと読む）

複数個の光源（２ａ）〜（２ｃ）を支持する光源支持部（１３）が設けられたトーチ部（１１）を各光源（２ａ）〜（２ｃ）の発光状態を個別に変化させる制御回路部（２２）を内蔵した基台部に立設した照明スタンド（３）と、光透過性を有する半透明な樹脂材により略ロウソクの炎状を呈するキャップ状に成形されるとともに光源支持部（１３）に装着されて各光源（２ａ）〜（２ｃ）から出射された照明光を拡散させて全体が光輝する散光部材（４）と、透明樹脂材によって成形され照明スタンド（３）の外周部に設置されるシェード部材（５）と、筒状に丸められてシェード部材（５）の内部に組み付けられて各光源（２ａ）〜（２ｃ）から出射された照明光を拡散させる遮蔽拡散部材（６）とを備える。このことにより、複数個の光源から出射される照明光を、よりロウソクの炎に擬態化された揺れ変化を生じさせて照明を行うことができる。 （もっと読む）