説明

株式会社カイジョーにより出願された特許

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【課題】サーチ動作又はボンディング前のボンディング点の高さ測定を行うことなしに、高速でボンディングが可能なボンディング装置を提供すること。
【解決手段】上下方向に揺動可能なボンディングアームに搭載されて、被ボンディング部品の表面に位置するボンディング点の合焦点の検出を行う共焦点光学系と、前記ボンディングアームと一体に可動してボンディングを行うボンディングツールと、前記ボンディングツールの位置を検出する位置検出手段と、を有し、ボンディングツールのボンディング点への下降中に、共焦点光学系による合焦点検出により位置検出手段で検出したボンディングツールの位置から、前もって設定したボンディング点までの所定の距離(合焦点基準下降量)をボンディングツールが下降して、ボンディング点上で停止するように制御する。 (もっと読む)


【課題】被洗浄基板へのダメージの発生を抑えることができ、また、エレクトロニクス産業等で使用される高精密度の基板等に対して高清浄度の洗浄を行うことが可能な超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法を提供すること。
【解決手段】被洗浄物を超音波振動子の振動面から延びた垂線の液面までの成す領域(超音波照射領域)外の洗浄液の液面下の近傍に位置するように保持して、超音波によって洗浄液の表面に表面張力波を励起させ、被洗浄物に超音波を直接照射することなしに、表面張力波による音圧によって被洗浄物の微粒子汚染物を剥離するようにして、被洗浄基板へのダメージの発生を抑える。 (もっと読む)


【課題】振動面の振動モードを均一化させて洗浄力を向上させる超音波振動子ユニットを提供する。
【解決手段】本発明の超音波振動子ユニットは、振動面1aと、互いに隣り合い且つ振動面1aに超音波振動を加える第1乃至第3の振動子5aとを具備し、板状振動体10の他方面は、第1乃至第3の第1領域3と、第1領域3それぞれを覆う第2領域4とを有し、第1乃至第3の振動子それぞれは第1領域3に配置され、第1乃至第3の振動子によって他方面内に作られる三角形の内側に位置し且つ第2領域4に位置する板状振動体10の厚さは、第1乃至第3の第1領域3に位置する板状振動体の厚さより厚く形成され、第1乃至第3の振動子の相互の間隔はλ/2以上であり、第1領域3それぞれの外周は第1乃至第3の振動子それぞれからλ/4以上離れている。λは板状振動体の横波の波長である。 (もっと読む)


【課題】長ストローク化、小型化及び振動を抑制することが可能な半導体製造装置用のXYステージを提供する。
【解決手段】X軸リニアモータとY軸リニアモータとを有し、X軸リニアモータ及びY軸リニアモータは、移動部としての3相のコイルからなるコイル部及び固定部としてのヨーク部を有し、ヨーク部は、長手方向の中心線に対してその上部及び下部に開口部が設けられており、上部の開口部の上面及び下部の開口部の下面には複数の永久磁石の表面がN極、S極となるように交互に配列され、ヨーク上部の開口部の永久磁石と垂直方向におけるヨーク部下部の開口部の永久磁石は、同じ極となるように配列され、中心付近のヨークに3相のコイルが挿入された構成を成し、ヨーク部をコイル部と同一軸方向に移動可能なヨーク部ガイドを介してベース上に固定し、コイル部の移動時の反力を吸収するように構成し、移動テーブルの下部にX軸リニアモータを配する。 (もっと読む)


【課題】スライドウィンドウを用いなくてもボンディングエリアの酸化を十分に抑制することができるワーククランプを提供する。
【解決手段】ワーククランプは、ボンディング作業を行う空間である内部中空部14bと、内部中空部の下に設けられ、内部中空部に複数のワークのボンディングエリアを入れ、下方から上方に向けて第1の酸化防止ガスを導入するための下部開口部14aと、前記内部中空部の上に設けられ、前記ボンディングエリアを露出させる上部開口部14cと、前記内部中空部の側方全体を覆う内壁14eと、前記内壁の上部に設けられ、前記内部中空部に第2の酸化防止ガスを導入するための第1のガス導入口と、前記内壁の上部に設けられ、前記第1のガス導入口と対向する位置に設けられ、前記内部中空部に第3の酸化防止ガスを導入するための第2のガス導入口とを具備する。 (もっと読む)


【課題】被洗浄物を超音波洗浄した後の洗浄ムラの発生を抑制できる超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法を提供する。
【解決手段】本発明の一態様は、洗浄液23が入れられる洗浄槽21と、前記洗浄槽内の洗浄液に浸漬された被洗浄物22に超音波振動を与える第1及び第2の超音波振動子34a,34bと、前記第1の超音波振動子に高周波出力を印加する第1の超音波発振器36と、前記第2の超音波振動子に高周波出力を印加する第2の超音波発振器37と、前記第1及び第2の超音波発振器の少なくとも一方の出力を変動させて制御するコントローラ38と、を具備し、前記第1の超音波振動子から発振された第1の超音波を、前記第2の超音波振動子から発振された第2の超音波に干渉させることを特徴とする超音波洗浄装置である。 (もっと読む)


【課題】圧電素子の変位に伴う振動の影響を受けることなしに、対象物の把持を行うことが可能であり、安定した動作が可能なクランプ機構を提供すること。
【解決手段】対象物を把持する一対のクランプ部30、31と、該クランプ部に駆動力を付与する変位拡大部13と、押圧して前記変位拡大部に変位を発生させる変位手段としての圧電素子33とを備え、前記変位拡大部は、左右対称に一体で形成され、クランプ機構を固定するための第1の固定部19を有し前記変位手段からの変位を拡大する第1の変位拡大部15と、クランプ機構を固定するための第2の固定部32を有し前記第1の変位拡大部からの変位を拡大する第2の変位拡大部25と、前記第1の変位拡大部の変位を前記第2の変位拡大部に伝達する結合部23、24とからなり、前記変位手段は、前記第1の固定部と前記第2の固定部との間に配置する。 (もっと読む)


【課題】不活性ガス雰囲気中でFABを形成する際に、FABの酸化を抑制しつつFABの安定化を図り、キャピラリとスパークロッドとの放電ギャップ長、不活性ガス雰囲気の大きさを容易に設定可能としたワイヤボンディング装置を提供すること。
【解決手段】キャピラリ3の先端を介して開口部13、21が対向し、各々の開口部はキャピラリの先端の貫通可能な切り欠き部13a、21aを有し、該切り欠き部に不活性ガスを排出する一対のガス排出チューブ11、20と、該ガス排出チューブ内に前記キャピラリから繰り出されたワイヤにスパーク放電させてボールを形成することができるよう位置決めされているスパークロッド5と、前記一対のガス排出チューブの各々の開口部間の距離を変更する位置調整手段を備え、一対のガス排出チューブの開口部間の空間の大きさを可変して、不活性ガスにより形成される不活性ガス雰囲気の空間の大きさを可変するようにする。 (もっと読む)


【課題】スライドウィンドウを用いなくてもボンディングエリアの酸化を十分に抑制することができるワーククランプを提供する。
【解決手段】ワーククランプは、ボンディング作業を行う空間である内部中空部14bと、内部中空部の下に設けられ、内部中空部に複数のワークのボンディングエリアを入れ、下方から上方に向けて第1の酸化防止ガスを導入するための下部開口部14aと、前記内部中空部の上に設けられ、前記ボンディングエリアを露出させる上部開口部14cと、前記内部中空部の側方全体を覆う内壁14eと、前記内壁の上部に設けられ、前記内部中空部に第2の酸化防止ガスを導入するための第1のガス導入口と、前記内壁の上部に設けられ、前記第1のガス導入口と対向する位置に設けられ、前記内部中空部に第3の酸化防止ガスを導入するための第2のガス導入口とを具備する。 (もっと読む)


【課題】水負荷の無い空焚き状態、振動素子の異常又は洗浄槽の異常のいずれかを検出することができる超音波発振器を提供する。
【解決手段】本発明に係る超音波発振器は、f1、f2及びf3の少なくとも一つの周波数の信号を発生させる信号源9と、前記信号源から発生させた前記信号を整合させる整合回路17と、整合回路によって整合された信号が入力される振動素子2と、振動素子に入力される信号の電圧値及び電流値を検出する検出回路10と、検出回路によって検出された電圧値及び電流値を用いて前記信号に対するインピーダンスが演算されるインピーダンス演算器11と、予め設定されているインピーダンスの異常検出用閾値とインピーダンス演算器によって演算された前記信号に対するインピーダンスを比較することによって洗浄槽又は振動素子の異常を判定する判定部13と、を具備することを特徴とする。 (もっと読む)


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