【課題】材料が多量に余っているにも関わらず早い時点でバルブが全開になる等して制御不能となるのを防ぐことができる材料ガス制御装置を提供する。
【解決手段】前記導出管Ｌ２に設けられた第１バルブ１と、前記混合ガスにおける材料ガスの濃度を測定する濃度測定機構ＣＳと、前記濃度測定機構ＣＳにより測定される材料ガスの測定濃度が、予め設定された設定濃度となるように前記第1バルブ１の開度を制御する第１バルブ制御部２４と、前記導入管Ｌ１に設けられた第２バルブ３２と、前記第１バルブ１の開度が全開の開度から第１所定値だけ小さい開度である閾値開度になった場合において、所定時間内に前記第２バルブ３２の開度を、前記第１バルブ１の開度が閾値開度になった時点での変更前開度から第２所定値だけ大きい変更後開度となるように制御する第２バルブ制御部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】調整バルブが全開又は全閉である場合の材料ガスの濃度値や流量値が、設定値と略一致する場合であっても、濃度や流量の制御状態が異常であるかを診断できる材料ガス制御システムを提供する。
【解決手段】収容室１０と、キャリアガスを導入する導入管２０と、材料ガス及びキャリアガスからなる混合ガスを導出する導出管３０と、第１調整バルブ４５と、材料ガスの濃度又は流量を測定する測定計と、測定計で測定した測定濃度値又は測定流量値が、予め定められた設定値となるように、第１調整バルブ４５に開度制御信号を出力する第１バルブ制御部４６と、収容室１０内の圧力を測定する圧力計４４と、開度制御信号の値の時間変化量及び圧力計４４で測定した測定圧力値の時間変化量が、所定条件を満たす場合に、前記材料ガスの濃度又は流量の制御状態が異常であると診断する診断部４７とを具備するようにした。 （もっと読む）

【課題】キャリアガスの流量に比べて収容室の容積が大きい場合のように、収容室の圧力が上昇又は低下しにくい場合であっても、濃度を低下又は上昇させるときの制御応答を向上できる材料ガス濃度制御システムを提供する。
【解決手段】収容室１０にキャリアガスを導入する導入管２０に流量制御器５０を設け、材料ガス及びキャリアガスからなる混合ガスを導出する導出管３０に濃度制御器４０を設け、流量制御器５０が、測定計４６で測定した測定濃度示唆値と設定値との偏差の絶対値が所定値以下である第１状態においては、流量計５１で測定した測定流量が予め定められた基準値となるように、第２調整バルブ５２の開度を調整する一方、偏差の絶対値が所定値よりも大きく、測定濃度示唆値が設定値よりも大きい第２状態においては、測定流量が基準値よりも増加するように第２調整バルブ５２の開度を調整する第２バルブ制御部５４を具備するようにした。 （もっと読む）

【課題】結合リングがフランジ部に対して斜めに傾いた状態で取り付けられることを防止する。
【解決手段】内周面に凹溝４３が設けられた結合リング４０を、対向するフランジ部２０に外嵌させ、該結合リング４０を内径が縮小するように締め付けて、凹溝４３の側面の傾斜面４３ａがフランジ部２０の裏面の傾斜面２２を押圧し、その際に生じる軸方向の分力によりフランジ部２０同士が圧着結合されるように構成したものであって、フランジ部２０に対し、結合リング４０を正規の取り付け姿勢よりも所定角度以上傾いた姿勢のまま取り付けて締め付けた場合にのみ、締め付け完了前に当該結合リング４０の一部４４ａに当接するとともに、前記一部４４ａのそれ以上の配管１０側への接近を禁止し、その後の締め付けに伴って当該結合リング４０の姿勢を正規の取り付け姿勢に近づける取り付け矯正面５１を、フランジ部２０又は配管１０に設けるようにした。 （もっと読む）

【課題】流量計測機器及び制御機器を有する流量計測システムにおいて、そのメンテナンス性を向上させる。
【解決手段】ＭＦＣ２及びこのＭＦＣ２を管理する制御機器３を有する流量計測システム１００であって、前記ＭＦＣ２が、流量センサ２１と、この流量センサ２１により得られる計測データを用いた流量算出に用いる流量算出関連データを格納する関連データ格納部Ｄ１とを備え、前記制御機器３が、前記関連データ格納部Ｄ１から前記流量算出関連データを取得し、前記流量センサ２１の計測データ及び前記流量算出関連データを用いて流量算出を行うものである。 （もっと読む）

【課題】マスフローコントローラの流量制御バルブのより長期間の使用を可能にするとともに、流量設定値を減少させた場合に実流量をより正確に制御可能にする。
【解決手段】流量センサ部２と、その流量センサ部２の上流側または下流側に設けた流量制御バルブ３と、流量測定値と流量設定値との偏差に少なくとも比例演算を施して流量制御バルブ３へのフィードバック制御値を算出する算出部６と、フィードバック制御値に基づいて開度制御信号を生成し、流量制御バルブ３に出力する開度制御信号出力部７とを備えており、前記比例演算における偏差に乗算するゲイン値を、流量設定値を所定量以上減少させた時点から所定期間である減少変化期間において、減少前の設定流量値と減少後の設定流量値との変化分を用いて得られる演算値が小さくなれば大きな値が算出される関数を用いて算出している。 （もっと読む）

【課題】熱式流量センサを用いている場合において、メイン流路又はセンサ流路のどちらで詰まりが発生しているかを診断できる診断機構を提供する。
【解決手段】流路７、８を流れる流体の流量を測定する流量センサ２に関する異常を診断する診断機構２００であって、前記流量センサ２の出力する測定流量値が目標流量値となるように前記流路に設けられた流量制御バルブの開度を制御する流量制御部と、前記流量センサ２よりも上流において前記流路７、８が閉止されてから、前記測定流量値と前記目標流量値とが実質的に略等しい状態が終了するまでの少なくとも一部の期間を診断期間として、前記診断期間における前記測定流量値の時間積分に関連する値である検定値を出力する検定値出力部と、前記検定値と予め定めた規定値とを比較して、前記流量センサ２に関する異常の有無を診断する診断部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】共通の中間支持体を用いながらも、中間支持体の部品点数の増加を招かず、構成を簡単化できる流体システムを提供する。
【解決手段】流体の状態を制御又は測定するための複数の流体機器４０を配管５０及び管継ぎ手２４を用いて接続することにより構成した流体回路装置１０１と、前記流体回路装置１０１を保持する保持機構１０２とを具備した流体システム１００であって、前記保持機構１０２が、ベース部材３０と、前記流体回路装置１０１及び前記ベース部材３０間に介在してこれらを結合する中間支持体１０とを具備したものであり、前記中間支持体１０が、その一端部を前記管継ぎ手２４に、その他端部を前記ベース部材３０に取り付けられて、前記管継ぎ手２４を前記ベース部材３０に接続するものである流体システム１００。 （もっと読む）

【課題】液体試料の温度制御の応答性及び精度を向上させる。
【解決手段】液体試料を貯留する気化タンク２１と、気化タンク２１内に設けられ、液体試料に接触して加熱する加熱部２２ｈを有する１又は複数のヒータ２２と、ヒータ２２の加熱部２２ｈを含む外表面に接触して設けられ、当該外表面の温度を検出する温度検出部と、温度検出部からの温度検出信号を受け付けて、前記ヒータ２２に供給する電力を制御する制御部２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】固定電極や封止ガラスなどの集合体であるセンサ本体の熱膨張率及びフランジ部などの固定用部材の熱膨張率により生じる熱応力によって、ダイアフラムが変形することを防止する。
【解決手段】固定電極２１が固定されたセンサ本体２と、センサ本体２との間で密閉空間を形成するダイアフラム構造体３と、ダイアフラム構造体３の受圧部を囲むように接合されて受圧部に流体を導く固定用部材４とを備え、ダイアフラム構造体３が、平板状のダイアフラム本体３１と、ダイアフラム本体３１の周縁部両側に設けられた熱膨張率が既知である第１のリング部材３２及び第２のリング部材３３とを有する。 （もっと読む）